KR970076506A - 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 - Google Patents

박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 Download PDF

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KR
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gap depth
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conductive layer
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KR1019960017198A
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동성운
Original Assignee
이형도
삼성전기 주식회사
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Abstract

박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법에 대하여 개시하고 있다. 본 발명은 박막 자기 헤드이 갭 깊이를 제어하기 위해 기판 상에 형성되는 갭 깊이 제어장치에 있어서, 상기 기판의 중심방향에 대해 쐐기형 홈을 가지는 소정 폭의 저항패턴; 상기 저항패턴의 양단에서 각각 연장된 도전층 패턴; 상기 저항패턴에 병렬로 상기 각각의 도전층 패턴을 연결하도록 형성되는 병렬저항체; 및 상기 도전층 패턴에 각각 형성된 전기단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 갭 깊이 제어장치를 사용하여 상기 저항패턴이 연마되는 동안 상기 전기단자의 양단 저항을 측정하는 단계; 및 상기 저항값이 증가하여 일정한 값을 가지는 때 연마를 중단하는 단계를 포함하는 갭 깊이 제어방법도 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 연마중지 시점을 저항측정 그래프에서 꺽인 점을 찾을 수 있으므로 갭 깊이를 높은 정밀도로 제어할 수 있다.

Description

박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 갭 깊이 제어장치를 나타낸 평면도이다. 제6도는 본 발명에 따른 갭 깊이 제어장치의 저항패턴 연마량에 따른 저항값을 나타낸 그래프이다.

Claims (4)

  1. 박막 자기 헤드의 갭 깊이를 제어하기 위한 기판 상에 형성되는 갭 깊이 제어장치에 있어서, 상기 기판의 중심방향에 대해 쐐기형 홈을 가지는 소정 폭의 저항패턴; 상기 저항패턴의 양단에서 각각 연장된 도전층 패턴; 상기 저항패턴에 병렬로 상기 각각의 도전층 패턴을 연결하도록 형성되는 병렬저항체; 및 상기 도전층 패턴에 각각 형성된 전기단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도전층 패턴은 상기 기판의 중심방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 저항패턴은 V형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
  4. 박막 자기 헤드의 갭 깊이를 제1항 기재의 갭 깊이 제어장치를 사용하여 제어하는 방법에 있어서, 상기 저항패턴이 연마되는 동안 상기 전기단자의 양단 저항을 측정하는 단계; 및 상기 저항값이 증가하여 일정한 값을 가지는 때 연마를 중단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 자기 헤드의 갭 깊이 제어방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960017198A 1996-05-21 1996-05-21 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 KR970076506A (ko)

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