KR970076506A - 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 - Google Patents
박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 Download PDFInfo
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Abstract
박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법에 대하여 개시하고 있다. 본 발명은 박막 자기 헤드이 갭 깊이를 제어하기 위해 기판 상에 형성되는 갭 깊이 제어장치에 있어서, 상기 기판의 중심방향에 대해 쐐기형 홈을 가지는 소정 폭의 저항패턴; 상기 저항패턴의 양단에서 각각 연장된 도전층 패턴; 상기 저항패턴에 병렬로 상기 각각의 도전층 패턴을 연결하도록 형성되는 병렬저항체; 및 상기 도전층 패턴에 각각 형성된 전기단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 갭 깊이 제어장치를 사용하여 상기 저항패턴이 연마되는 동안 상기 전기단자의 양단 저항을 측정하는 단계; 및 상기 저항값이 증가하여 일정한 값을 가지는 때 연마를 중단하는 단계를 포함하는 갭 깊이 제어방법도 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 연마중지 시점을 저항측정 그래프에서 꺽인 점을 찾을 수 있으므로 갭 깊이를 높은 정밀도로 제어할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 갭 깊이 제어장치를 나타낸 평면도이다. 제6도는 본 발명에 따른 갭 깊이 제어장치의 저항패턴 연마량에 따른 저항값을 나타낸 그래프이다.
Claims (4)
- 박막 자기 헤드의 갭 깊이를 제어하기 위한 기판 상에 형성되는 갭 깊이 제어장치에 있어서, 상기 기판의 중심방향에 대해 쐐기형 홈을 가지는 소정 폭의 저항패턴; 상기 저항패턴의 양단에서 각각 연장된 도전층 패턴; 상기 저항패턴에 병렬로 상기 각각의 도전층 패턴을 연결하도록 형성되는 병렬저항체; 및 상기 도전층 패턴에 각각 형성된 전기단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 도전층 패턴은 상기 기판의 중심방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
- 제2항에 있어서, 상기 저항패턴은 V형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 갭 깊이 제어장치.
- 박막 자기 헤드의 갭 깊이를 제1항 기재의 갭 깊이 제어장치를 사용하여 제어하는 방법에 있어서, 상기 저항패턴이 연마되는 동안 상기 전기단자의 양단 저항을 측정하는 단계; 및 상기 저항값이 증가하여 일정한 값을 가지는 때 연마를 중단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 자기 헤드의 갭 깊이 제어방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
KR1019960017198A KR970076506A (ko) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1019960017198A KR970076506A (ko) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 |
Publications (1)
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KR970076506A true KR970076506A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219588
Family Applications (1)
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KR1019960017198A KR970076506A (ko) | 1996-05-21 | 1996-05-21 | 박막 자기 헤드의 연마가공용 갭(gap) 깊이 제어장치 및 갭 깊이 제어방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR970076506A (ko) |
-
1996
- 1996-05-21 KR KR1019960017198A patent/KR970076506A/ko not_active Application Discontinuation
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