KR970072385A - 전력 공급 장치(power supply device) 및 이를 이용한 반도체 제조 장치(device of fabricating a semiconductor) - Google Patents

전력 공급 장치(power supply device) 및 이를 이용한 반도체 제조 장치(device of fabricating a semiconductor) Download PDF

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Abstract

본 발명은 전력 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 다수의 전력 공급기로부터 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈로 공급하기 위한 전력 공급 장치는, 전원을 입력하기 위한 전원 입력부와; 상기 전원 입력부로부터의 전원을 입력하여 사용자의 선택에 따라 상기 다수의 모듈 중 하나를 선택하고, 다수의 전력 공급기로 부터의 파워를 상기 선택된 모듈로 공급하는 전력 공급부로 구성된다. 또한, 상기 전력 공급부는, 다수의 전력 공급기로부터 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈로 동시에 공급하기 바이패스 수단과; 상기 바이패스 수단을 선택하였을 때, 상기 다수의 각 모듈로부터 역류되는 파워를 차단하기 위한 역류 차단 수단을 더 포함하여 구성된다. 그리고, 상기 전력, 공급 장치로부터 떨어진 서비스 에리어내에서도 상기 전력 고급 장치가 정상적으로 동작하는가의 여부를 알 수 있도록 상기 전력 공급 장치의 동작 상태를 나타내는 리모트 표시부가 상기 전력 공급부의 각 수단과 연결되어 구성된다. 이러한 발명에 의해서, 다수의 모듈에 파워를 전달하는 각 전력선에 추가로 아크 억제기를 설치하지 않고, 전력 공급 장치와 아크 억제기를 포함하는 시스템 제어 랙을 설치하여 하나의 아크 억제기만을 사용하여 각 모듈로 파워를 공급할 수 있다.

Description

전력 공급 장치(power supply device) 및 이를 이용한 반도체 제조 장치(device of fabricating a semiconductor)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치의 개략적인 설비 계통도.

Claims (21)

  1. 다수의 전력 공급기로부터 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈로 공급하기 위한 전력 공급 장치에 있어서, 전원을 입력하기 위한 전원 입력부(200)와; 상기 전원 입력부(200)로부터의 전원을 입력하여 사용자의 선택에 따라 상기 다수의 모듈(50,52,54) 중 하나를 선택하고, 다수의 전력 공급기(70,72,74) 중 하나로부터의 파워를 상기 선택된 모듈로 공급하는 전력 공급부(300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전원 입력부(200)는; 상기 전원 입력부(200)의 전원을 온/오프할 수 있는 스위치(210)에 연결되어 있고, 해당하는 전력 공급기로부터 선택된 모듈로 파워를 공급한 후 상기 전력 공급부(300)를 초기화 시키는 리세트 수단(220)과; 상기 전력 공급부(300)에 과전류가 유입되는 것을 차단하기 위한 보호 수단(230)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전원 입력부(200)는 상기 전원이 정상적으로 인가되었는가의 여부를 나타내는 전원표시 수단(240)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 리세트 수단(220)은; 초기 접점이 b접점(온)이고, 스위치를 누르면 a접점(오프)으로 동작하는 수동조작 자동복귀 스위치(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전력 공급부(300)는; 상기 전원 입력부(200)로부터의 전원을 입력하여 다수의 전력 공급기 중 제1전력 공급기(70)로부터의 파워를 다수의 모듈 중 제1모듈(50)로 공급하기 위한 제1전력 공급수단(310)과; 상기 전원 입력부(200)로부터의 전원을 입력하여 상기 다수의 전력 공급기 중 제2전력 공급기(72)로부터의 파워를 상기 다수의 모듈 중 제2모듈(52)로 공급하기 위한 제2전력 공급 수단(320)과; 상기 전원 입력부(200)로부터의 전원을 입력하여 상기 다수의 전력 공급기 중 제3전력 공급기(74)로부터의 파워를 상기 다수의 모듈 중 제3모듈(54)로 공급하기 위한 제3전력 공급 수단(330)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1전력 공급 수단(310)은; 스위치를 누르면 b접점이 되고, 상기 전원 입력부(220)의 전원을 입력으로 하여 제1모듈(50) 선택 신호를 발생하는 선택 스위치(10)와; 상기 선택 스위치(10)에 연결되어 상기 선택 스위치(10)가 폐로하면, 상기 선택 신호에 의해 동작하는 전원용 보조 릴레이(12)와; 상기 전원용 보조 릴레이(12)와 병렬 연결되어 있고, 상기 전원 입력부(200)로부터 전원을 입력으로 하여 동작하며 제1전력 공급 공급기로부터 아크 억제기(64)를 통해 제1모듈(50)로 소정 파워를 공급하는 대 전력용 릴레이(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1전력 동급 수단(310)은; 상기 전원용 보조 릴레이(12)와 병렬 연결되어 있고, 상기 제1전력 공급 수단(310)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 표시 수단(16)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제2전력 공급 수단(320)은; 스위치를 누르면 b접점이 되고, 상기 전원 입력부(200)의 전원을 입력으로 하여 상기 제2모듈(52)의 선택 신호를 발생하는 선택 스위치(18)와; 상기 선택 스위치(18)가 폐로하면, 상기 선택 신호에 의해 동작하는 전원용 보조 릴레이(20)와; 상기 전원용 보조 릴레이(20)와 병렬 연결되어 있고, 상기 전원 입력부(200)로부터 전원을 입력으로 하여 동작하며 제2전력 공급기(72)로부터 상기 아크 억제기(64)를 통해 제2모듈(52)로 소정 파워를 공급하는 대전력용 릴레이(22)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제2전력 공급 수단(320)은; 상기 전원용 보조 릴레이(20)와 병렬 연결되어 있고, 상기 제2전력 공급 수단(320)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 표시 수단(24)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 제3전력 공급 수단(330)은; 스위치를 누르면 b접점이 되고, 상기 전원 입력부(200)의 전원을 입력으로 하여 제3모듈(54)의 선택 신호를 발생하는 선택 스위치(26)와; 상기 선택 스위치(26)가 폐로하면, 상기 선택 신호에 의해 동작하는 전원용 보조 릴레이(28)와; 상기 전원용 보조 릴레이(28)와 병렬 연결되어 있고, 상기 전원 입력부(200)로부터 전원을 입력으로 하여 동작하며 제3전력 공급기(74)로부터 상기 아크 억제기(64)를 통해 제3모듈로 소정 파워를 공급하는 대전력용 릴레이(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제3전력 공급 수단(330)은; 상기 전원용 보조 릴레이(28)와 병렬 연결되어 있고, 상기 제3전력 공급 수단(330)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 표시 수단(32)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  12. 제5항에 있어서, 상기 전력 공급부(300)는; 상기 다수의 전력 공급기(70,72,74)로부터 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈(50,52,54)로 동시에 공급하기 위한 바이패스 수단(340)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 바이패스 수단(340)은; 스위치를 누르면 b접점이 되고, 상기 전원 입력부(200)의 전원을 입력으로 하여 상기 바이패스 수단(340)의 선택 신호를 발생하는 선택 스위치(36)와; 상기 선택 스위치(36)에 연결되고 상기 선택 스위치(36)가 폐로하면, 상기 선택 신호에 의해 동작하는 전원용 보조 릴레이(38)와; 상기 전원용 보조 릴레이(38)와 병렬 연결되어 있고, 상기 전원 입력부(200)로부터 전원을 입력으로 하여 동작하며 전력 공급기(70,72,74)로부터의 서로 다른 소정 파워를 상기 아크 억제기(64)를 거치지 않고 모듈(50,52,54)로 동시에 각각 인가하기 위한 대전력용 릴레이들(40,42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 바이패스 수단(340)은; 상기 전원용 보조 릴레이(38)와 병렬 연결되어 있고, 상기 바이패스 수단(340)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 표시 수단(44)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  15. 제5항에 있어서, 상기 전력 공급부(300)는; 상기 제1, 제2 그리고 제3전력 공급 수단(310,320,330) 및 상기 바이패스 수단(340)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 이상 상태 표시 수단(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 이상 상태 표시 수단(360)은; 초기 접점이 b접점이고, 상기 바이패스 수단(340) 및 상기 제1, 제2 그리고 제3전력 공급 수단(310,320,330)의 대전력용 릴레이 접점들(14a,22a,30a,40b,42b)과; 상기 제1, 제2 그리고 제3전력 공급 수단(310,320,330) 및 상기 바이패스 수단(340)이 정상적으로 동작하는가의 여부를 나타내는 표시 수단(46)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  17. 제5항 및 제13항에 있어서, 상기 전력 공급부(300)는; 상기 바이패스 수단(340)을 선택하였을 때 상기 다수의 각 모듈(50,52,54)로부터 역류되는 파워를 차단하기 위한 역류 차단 수단(350)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 역류 차단 수단(35)은; 상기 전원을 입력으로 하여 동작하는 대전력용 릴레이(34)와; 초기 접점이 b접점이고, 상기 전원을 받아 상기 대전력용 릴레이(34)로 전달하는 상기 바이패스 수단(340)의 대전력용 릴레이 접점들 (40a,42a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  19. 제1항에 있어서, 상기 전력 공급 장치(100)로부터 떨어진 서비스 에리어에서도 상기 전력 공급 장치(100)가 정상적으로 동작하는가의 여부를 알 수 있도록 상기 전력 공급 장치(100)의 동작 상태를 나타내는 리모트 표시부(400)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 리모트 표시부(400)는; 상기 전력 공급부(300)의 각 수단과 공통(common)되어 있는 시그널 타워 램프(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급 장치.
  21. 웨이퍼상에 서로 다른 박막을 형성하기 위해, 서로 다른 소정 파워를 사용하여 상기 웨이퍼상에 이온들을 배포하는 다수의 모듈(50,52,54,56,58)과, 상기 다수의 각 모듈로 상기 웨이퍼를 전달하는 트랜스퍼 암(60)과 상기 웨이퍼를 상기 트랜스퍼 암(60)으로 전달하는 핸들링 로봇(62)을 구비하는 스퍼터 장비와; 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈(50,52,54)로 공급하기 위해, 각각 서로 다른 소정 파워의 전력 공급기(70,72,74)를 구비하는 다수의 모듈 프로세스 랙(68)과; 상기 다수의 전력 공급기(70,72,74)로부터 서로 다른 소정 파워를 다수의 각 모듈(50,52,54)로 공급하기 위한 전력 공급 장치(100)와 전력 공급기로부터 모듈로 공급되는 소정 파워의 아크섬 불순물을 제거하기 위한 아크 억제기(64)를 구비하는 시스템 제어 랙(76)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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