KR970072153A - 웨이퍼의 제조방법 및 이에 이용하는 장치 - Google Patents

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다카시 요코야마
가즈마 야마모토
마사토 야마모토
다카히로 미시마
고 마츠다
시게키 이토
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아오키 히로시
다이도 호쿠산 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 제조방법 및 이에 이용하는 장치에 관한 것으로서, 잉곳의 절단예정부에 잉곳의 구성성분에 대해 고에칭특성을 나타내는 에칭가스를 분자 선류의 상태로 공급하고, 상기 잉곳의 절단예정부를 표면측에서 서서히 휘발제거하는 것에 의해 최종적으로 절단예정부 전부를 휘발거하여 웨이퍼를 잘라내도록 하므로써, 절단할 부분을 대폭 얇게 할 수 있고, 또한 작업환경을 깨끗하게 유지할 수 있고, 평활한 절단면을 얻을 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼의 제조방법 및 이에 이용하는 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예의 장치를 나타낸 구성도, 제2도는 제1도의 A-A'선 단면도, 제3도는 종래의 에칭 태양의 설명도이고, 제4도는 본 발명에 있어서, 에칭 태양의 설명도이다.

Claims (5)

  1. 결정잉곳에서 웨이퍼를 얻는 방법에 있어서, 상기 결정잉곳의 절단예정부에 그 결정잉곳의 구성성분에 대해 고에칭특성을 나타내는 에칭가스를 분자선류의 상태로 공급하여 상기 결정잉곳의 절단예정부를 표면측에서 서서히 휘발제거하므로써 최종적으로 절단예정부 전부를 휘발제거하여 웨이퍼를 잘라내도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에칭가스가 CIF3, NF3, CCl2F2, CF4, C2F6, C3F8, CHF3, CCl4, SF6, CCl3F 및 HCl로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 가스인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 결정잉곳의 절단에정부로의 상기 에칭가스의 공급이 1~10-6Torr의 압력환경하에서 실행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 제조방법.
  4. 결정잉곳에서 웨이퍼를 얻을 때에 이용되는 웨이퍼의 제조장치에 있어서, 상기 결정잉곳의 장착부와 상기 결정잉곳에서 잘나내 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지수단을 구비한 밀페식의 챔버와, 상기 챔버내를 진공배기하는 배기수단과, 상기 챔버내의 결정잉곳 장착부에 장착된 결정잉곳의 절단예정부에 상기 결정잉곳의 구성성분에 대해 고에칭특성을 나타내는 에칭가스를 분자선류의 상태로 공급하는 에칭가스공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 결정잉곳이 각기둥 형상으로서 이 각기둥 형상 잉곳의 한 측면을 향하여 복수개의 슬릿이 평행하게 형성된 인젝터가 설치되고, 상기 각 슬릿에서 동시에 상기 에칭가스가 분사되어 복수장의 웨이퍼를 동시에 잘라내도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970012896A 1996-04-04 1997-04-08 웨이퍼의 제조방법 및 이에 이용하는 장치 KR970072153A (ko)

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