KR970072049A - 가열 제어 장치 - Google Patents

Abstract

가열 제어 장치는 반도체 기판을 탑재하여 반송하는 반송 대차와, 반도체 기판의 반송 방향에 수직인 폭 방향을 가열할 수 있는 각각이 독립되어 출력 제어 가능한 복수의 히터를 가지는 가열 장치를 구비한다. 가열 장치는 반도체 기판의 가열 범위에 포함되는 복수의 히터만을 작동시킨다. 작동하고 있는 히터 내, 적어도 반송 방향의 선단 및 후단에 위치하는 히터의 출력을 반도체 기판의 이동에 따라 순차 변화시킨다. 이로 인해 히터의 출력 제어를 하는 것 만으로 용이하게 반도체 기판의 온도 분포 폭을 작게 할 수 있다.

Description

가열 제어 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 일 실시예에 관한 가열 제어 장치의 개략 구성도.

Claims (17)

1. 피 가열재를 탑재하여 반송하는 반송 수단, 및 피 가열재의 반송 방향에 수직인 폭 방향을 가열할 수 있는 각각이 독립되어 출력 제어 가능한 복수의 가열 수단을 구비하고, 상기 각 가열 수단은 상기 피 가열재의 반송방향을 따라 배치되고, 피 가열재의 반송 방향 길이를 넘지 않는 길이를 가열 범위로 하며, 상기 가열 범위에 포함되는 복수의 가열 수단만을 작동시킴과 동시에, 작동한 가열 수단내, 적어도 반송 방향의 선단 및 후단에 위치하는 특정 위치 가열 수단의 출력을 피 가열재의 이동에 따라 순차 변화시키는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 피 가열재의 이동에 따른 열 손실량을 보충하기 위해서 상기 특정 위치 가열 수단의 출력을 변화시키는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 반송 수단이 상기 피 가열재와 가열 수단을 대면시킬 수 있는 개구부를 구비하고, 상기 개구부에서의 반송 방향의 후단에 가열을 미치게 하는 가열 수단의 출력을 피 가열재의 이동에 따라 순차 정지시키는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 피 가열재가 반도체 소자를 형성하기 위한 기판인 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 가열 범위에 포함되는 복수의 가열 수단 내, 상기 특정 위치 가열 수단을 제외하는 가열 수단의 출력을 거의 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 피 가열재가 반송되고 그 선단면과 상기 가열 수단의 임의의 하나의 선단면이 일치한 시간을 기준으로 하는 경과 시간을 t[s], 상기 가열 수단의 배치 간격을 ℓr[m], 상기 피 가열재의 반송 방향 길이를 ℓg[m], 상기 반송 수단에 의한 피 가열재의 반송 속도를 v[m/s], 임의의 경과 시간 t[s]에서의 상기 가열 수단의 출력을 H(t)[W/㎡]로 하였을 때, 경과 시간 t[s]가, 0tℓr/v[s] 및 (ℓg-2ℓr)/vt(ℓg-ℓr)/v[s]일 경우에는, 상기 피 가열재의 반송에 따르는 열손실량을 보출하기 위해 상기 가열 수단의 출력 H(t)[W/㎡]를 변화시키고, 경과 시간 t[s]가 ℓr/vt(ℓg-2ℓr)/v[s]일 경우에는, 상기 가열 수단의 출력 H(t)[W/㎡]를 거의 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 피 가열재는 선단면 및 후단면이 가열 수단의 폭 방향과 평행한 직사각형을 이루고, 상기 피 가열재를 균일한 소정 온도로 유지하기 위해 필요한 단위 면적당의 상기 가열 수단의 일정 출력을 Hs[W/㎡], 상기 피 가열재를 반송할 경우, 0tℓr/v[s] 및 (ℓg-2ℓr)/vt(ℓg-ℓr)/v[s]에서의 상기 가열 수단의 출력을 Hv(t)[W/㎡]로 하였을 때, 상기 가열 수단의 출력은 경과 시간 t[s]가, 0tℓr/v[s]일 경우에는 다음의 수학식을 만족시키는 Hv(t)[W/㎡],

   경과 시간 t[s]가, ℓr/vt(ℓg-2ℓr)/v[s]일 경우에는 Hs[W/㎡], 경과시간 t[s]가, (ℓg-2ℓr)/vt(ℓg-ℓr)/v[s]일 경우에는, 다음의 수학식을 만족시키는 Hv(t)[W/㎡],

   로 주어지는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 피 가열재는 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 형상 부재 상에 배치되어 반송됨과 동시에, 상기 가열 수단은 상기 피 가열재를 상기 판 형상 부재를 통해서 가열하는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 단열재가 피 가열재의 주연부 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 피 가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 크게, 또 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 형상 부재의 중앙 영역에 밀접(密接)시키는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
11. 제9항에 있어서, 상기 피 가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 큰 형상 부재의 중앙 영역에 밀접시킴과 동시에, 상기 단열재를 판 형상 부재의 외주연부와 피 가열재의 외주연부 사이에 설치한 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
12. 피 가열재를 탑재하여 반송하는 반송하는 반송 수단, 및 상기 피 가열재의반송 방향에 따라 배치되고, 상기 피 가열재를 가열하는 가열 수단을 구비하고, 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 단열재가 상기 피 가열재의 주연부 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 피 가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 크고, 또 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 형상 부재의 중앙 영역에 밀접시켜, 상기 단열재를 판 형상 부재의 외주연부와 피 가열재의 외주연부 사이에 설치한 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
14. 제1항에 있어서, 상기 가열 수단은 피 가열재의 반송 방향에 수직인 폭 방향으로 배치된 가열용 램프와, 이 가열용 램프의 열을 반사하고 상기 피 가열재에 조사하는 반사 부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 가열용 램프는 등 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
16. 제3항에 있어서, 상기 피 가열재는 상기 반송 수단 상의 개구부를 덮도록 배치된 균열판 위에 탑재되는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.
17. 제16항에 있어서, 상기 균열판의 외주연부와 피 가열재의 외주연부 사이에 단열재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 가열 제어 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.