KR970071149A - 반도체 현상장치의 드레인 박스 - Google Patents
반도체 현상장치의 드레인 박스 Download PDFInfo
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Abstract
현상공정후에 발생된 폐액이 한 곳으로 모아져 하나의 배출구로 배출되도록 한 반도체 현상장치의 드레인 박스에 관한 것으로, 용기본체와, 이 용기본체의 바닥에 설치된 배출관으로 이루어져 현상공정후 발생된 폐액을 배출시키도록 된 반도체 현상장치의 드레인 박스에 있어서, 상기 폐액을 배출관쪽으로 유도하도록 용기본체의 바닥에 경사면을 형성하고, 상기 배출관의 입구에 폐액에 섞인 이물을 제거하는 필터가 설치된 구성이다.
따라서 폐액이 완전히 배출되어 폐액의 잔량에 의한 증발성 이온에 의해 장치 주변의 주요부가 오염되는 것이 방지되는 것이고, 배출관을 통한 폐액의 배출시 폐액에 섞인 이물질이 필터링되는 것이므로 이물질이 배출라인의 통로에 쌓여 막히는 것이 방지되는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 제3도의 종단면도이다.
Claims (1)
- 용기본체와, 이 용기본체의 바닥에 설치된 배출관으로 이루어져 현상공정후 발생된 폐액을 배출시키도록 된 반도체 현상장치의 드레인 박스에 있어서, 상기 폐액을 배출관쪽으로 유도하도록 용기본체의 바닥에 경사면을 형성하고, 상기 배출관의 입구에 폐액에 섞인 이물을 제거하는 필터가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 현상장치의 드레인 박스.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960011037A KR970071149A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 반도체 현상장치의 드레인 박스 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960011037A KR970071149A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 반도체 현상장치의 드레인 박스 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970071149A true KR970071149A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960011037A KR970071149A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 반도체 현상장치의 드레인 박스 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970071149A (ko) |
-
1996
- 1996-04-12 KR KR1019960011037A patent/KR970071149A/ko not_active Application Discontinuation
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