KR970071146A - 노광장치 - Google Patents

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KR970071146A
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이대원
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Abstract

베이스 프레임(2)과, 베이스 프레임(2)의 한쪽에 설치되는 적재함(4)과, 베이스 프레임(2)의 위에 두개씩 한쌍으로 복수개가 설치되는 주변 노광부(20)와, 주변 노광부(20)에 결합되어 설치되는 정렬부(30)와, 주변 노광부(20)와 정렬부(30)가 고정되고 베이스 프레임(2)에 설치되는 복수개의 지지대(52)와, 베이스 프레임(2)에 설치되는 노광 작업대(50)와, 노광 작업대(50)의 위에 설치되는 노광부(10)와, 노광부(10)와 주변 노광부(20)에 연결되어 노광 광을 전달하는 광전달부(60)와, 베이스 프레임(2)의 위에 설치되는 복수개의 패널 받침대(54)와, 적재함(4)으로부터 글라스 패널(8)을 인출하여 노광 작업대(50)로 이동시키는 패널 이송수단을 포함하는 노광장치를 제공한다.

Description

노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 노광장치의 일실시예를 나타내는 사시도.

Claims (12)

  1. 베이스 프레임과, 상기한 베이스 프레임의 한쪽에 설치되는 적재함과, 상기한 베이스 프레임의 위에 두개씩 한쌍으로 복수개가 설치되는 주변 노광부와, 상기한 주변 노광부에 결합되어 설치되는 정렬부와, 상기한 주변 노광부와 정렬부가 고정되고 상기한 베이스 프레임에 설치되는 복수개의 지지대와, 상기한 베이스 프레임에 설치되는 노광 작업대와, 상기한 노광 작업대의 위에 설치되는 노광부와, 상기한 노광부와 노광 작업대 사이에 설치되고 상기한 노광부의 빛을 노광 작업대로 전달하는 투영 광학계와, 상기한 노광부와 투영 광학계 사이에 설치되고 일정한 패턴이 형성되는 마스크와, 상기한 노광부와 주변 노광부에 연결되어 노광 광을 전달하는 광전달부와, 상기한 베이스 프레임의 위에 설치되는 복수개의 패널 받침대와, 상기한 적재함으로부터 글라스 패널을 인출하여 노광 작업대로 이동시키는 패널 이송수단을 포함하는 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 베이스 프레임의 한쪽에 설치한 적재함의 반대쪽에 또 하나의 적재함을 추가로 설치한 노광장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 주변 노광부 및 정렬부는 적재함 및 노광 작업대에서 일정 간격을 두고 각각 한쌍씩 설치된 노광장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 패널 이송수단은 회전 및 직선운동이 가능한 복수개의 팔로 이루어진 로봇기구와, 상기한 로봇기구의 복수개의 팔 각각의 회전 및 직선운동을 제어하는 제어장치로 이루어지고, 상기한 로봇기구의 마지막 팔에는 글라스 패널을 지지할 수 있도록 판형상으로 형성된 받침부재가 설치되며, 상기한 받침부재에는 글라스 패널을 흡착할 수 있도록 진공 구멍이 복수개 형성되어 있는 노광장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 광전달부는 복수의 광섬유를 사용하여 이루어진 노광장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 광전달부는 거울이나 렌즈 등으로 이루어진 광학 전달계를 사용하여 이루어진 노광장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 노광부는 케이스와, 상기한 케이스의 안에 설치되는 노광 광원과, 상기한 노광 광원의 위쪽에 설치되고 단면이 포물선 형상인 반사거울과, 상기한 노광 광원의 아래에 설치되는 셔터와, 상기한 노광 광원과 셔터 사이에 설치되고 노광 광의 일부를 상기한 광전달부로 굴절시키는 하나 이상의 프리즘과, 상기한 프리즘과 광전달부 사이에 설치되고 상기한 프리즘에서 굴절된 노광 광을 광전달부에 초점이 맺히도록 하는 집광렌즈를 포함하는 노광장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 주변 노광부는 상기한 지지대에 고정되는 몸체와, 상기한 몸체의 한쪽끝에 형성되고 상기한 광절달부가 연결되는 입구와, 상기한 입구에 연결되어 직각형상으로 상기한 몸체안에 형성되는 광통로와, 상기한 입구에 연결된 광전달부 끝부분에서 일정 간격을 두고 설치되는 하나 이상의 렌즈와, 상기한 광통로의 직각으로 굽혀진 부분에 경사로 설치되고 상기한 렌즈를 통과한 주변 노광 광의 진행 방향을 직각으로 변경시키는 반사거울과, 상기한 입구에 연결된광전달부의 광섬유 끝부분과 렌즈 사이에 위아래로 이동 가능하게 설치되고 상기한 광통로를 통과하는 주변 노광 광의 일부를 차단하는 차광부재를 포함하는 노광장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 정렬부는 상기한 지지대에 고정되는 몸체와, 평면 단면에서 보아서 “V”자 형상으로 상기한 몸체의 안에 형성되는 광통로와, 상기한 광통로의 한쪽끝에 설치되는 발광 다이오드와, 상기한 발광 다이오드에서 일정 간격을 두고 설치되는 셔터와, 상기한 셔터에서 일정 간격을 두고 설치되고 셔터를 통과한 빛의 초점을 형성하는 발광 초점렌즈와, 상기한 광통로의 다른쪽 끝에 설치되는 촬상소자와, 상기한 촬상소자에서 일정 간격을 두고 설치되는 수광초점렌즈를 포함하는 노광장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기한 셔터에서 다수의 직선형 슬릿이 형성되고, 상기한 촬상소자는 선형촬상소자가 사용되는 노광장치.
  11. 재1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 정렬부는 측면에서 보아서 “ㄷ”자 형상으로 형성되고 상기한 지지대에 고정되는 몸체와, 상기한 몸체의 윗부분에 설치되는 발광 다이오드와, 상기한 발광 다이오드와 대응되는 상기한 몸체의 아래부분에 설치되는 4분할된 수광다이오드를 포함하는 노광장치.
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 지지대는 수직부재와 수평부재로 구성되고, 상기한 수직부재는 상기한 베이스 프레임에 고정되며, 상기한 수평부재는 상기한 주변 노광부와 정렬부가 고정되고 글라스 패널의 크기에 대응하여 길이를 조절할 수 있도록 형성된 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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