KR970070243A - 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 장치용 보호부재 - Google Patents

플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 장치용 보호부재 Download PDF

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KR970070243A
KR970070243A KR1019970014841A KR19970014841A KR970070243A KR 970070243 A KR970070243 A KR 970070243A KR 1019970014841 A KR1019970014841 A KR 1019970014841A KR 19970014841 A KR19970014841 A KR 19970014841A KR 970070243 A KR970070243 A KR 970070243A
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KR
South Korea
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plasma
processing apparatus
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Application number
KR1019970014841A
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Inventor
가즈오 사이토
야스시 모치즈키
Original Assignee
모치즈키 아키히로
닛신 보오세키 가부시키가이샤
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32458—Vessel
    • H01J37/32477—Vessel characterised by the means for protecting vessels or internal parts, e.g. coatings
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32623—Mechanical discharge control means

Abstract

2개의 플라즈마 발생용 전극을 수용하여 이 전극 사이에 플라즈마 영역을 형성하는 플라즈마 처리실내에서 양 전극의 양측에 플라즈마 영역을 덮도록 배치되는 플라즈마 처리 장치용 보호부재에 있어서, 이 보호부재의 적어도 플라즈마 영역측 표면을 유리상 탄소 재료로 형성함으로서 보호부재의 유효수명을 길게 하고 전극에서 분진이 발생하는 것을 억제하는 플라즈마 처리 장치용 보호부재가 개시되어 있다.

Description

플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 장치용 보호부재
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예를 나타내는 개략도이다.

Claims (2)

  1. 플라즈마 발생용 전극이 배치된 플라즈마 처리실을 포함하는 플라즈마 처리 장치에 있어서, 상기 플라즈마 처리실내의 상기 전극이외의 플라즈마에 노출되는 부분의 적어도 표면을 유리상 탄소 재료로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  2. 2개의 플라즈마 발생용 전극을 수용하여 이 전극 사이에 플라즈마 영역을 형성하는 플라즈마 처리실내에서 양 전극의 양측에 상기 플라즈마 영역을 덮도록 배치되는 플라즈마 처리 장치용 보호부재에 있어서, 이 보호부재의 적어도 플라즈마 영역측 표면을 유리상 탄소 재료로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치용 보호부재.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970014841A 1996-04-22 1997-04-22 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 장치용 보호부재 KR970070243A (ko)

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