KR980005796A - 반도체 소자의 플라즈마 식각장치 - Google Patents
반도체 소자의 플라즈마 식각장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 플라즈마를 이용한 반도체 소자의 플라즈마 식각장치를 개시한다. 이 장치는 반응가스가 충입되는 가스 챔버내에 한쌍의 전극이 소정간격으로 대향되게 배치되고 ,그 각각의 전극에는 RF 파워를 공급하기 위한 RF 공급수단이 연결된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 식각장치의 구성도.
Claims (1)
- 반응가스가 충입되는 가스 챔버내에 한쌍의 전극이 소정간격으로 대향되게 배치되고 ,그 각각의 전극에는 RF 파워를 공급하기 위한 RF 공급수단이 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 플라즈마 식각장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022862A KR980005796A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자의 플라즈마 식각장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022862A KR980005796A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자의 플라즈마 식각장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005796A true KR980005796A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960022862A KR980005796A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자의 플라즈마 식각장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005796A (ko) |
-
1996
- 1996-06-21 KR KR1019960022862A patent/KR980005796A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |