KR970067114A

KR970067114A - 자기 저항 효과 헤드 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR970067114A
Application number: KR1019970008142A
Authority: KR
Inventors: 가즈히로 사이또; 아끼꼬 사이또; 히또시 이와사끼; 아끼히꼬 쯔다이; 히로아끼 요다; 다다히꼬 고바야시; 유이찌 오사와; 마사시 사하시; 유조우 가미구찌
Original assignee: 니시무로 다이조; 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 1996-03-12
Filing date: 1997-03-11
Publication date: 1997-10-13
Also published as: US6256863B1; KR100270148B1

Abstract

매체 대향면 측에 자기 갭이 개재된 자기 요크는 기판면을 따라 기판 상에 배치된다. MR막은 자기 요크의 기판면과 대략 평행한 평면을 따라 매체 대향면 S로부터 소정 거리 후퇴한 위치에 배치된다. MR막은 적어도 양단부가 자기 요크와 자기적으로 결합되어 있다. MR막에 센스 전류를 공급하는 한쌍의 리드는 자기 요크와 공통의 자성체층으로 구성된 자성체 리드부를 갖고 있다. 자성체 리드부는 리드 형성에 따른 MR막의 특성 저하나 수율 저하를 억제한다. 또한, 자기 요크 및 MR막에는 적어도 헤드 동작시에 바이어스 자계가 인가된다. 바이어스 자계는 예컨대 전류 자계에 따른다. 또는 자기 요크는 전류 자계를 인가하면서 열처리하고 있다. 자기 요크에는 부위에 따라 다른 자기 이방성이 부여되어 있다. 이들은 자기 요크에 기인하는 별크 하우젠 노이즈를 억제한다.

Description

자기 저항 효과 헤드 및 그 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1요크형 MR헤드의 일 실시 형태의 개략 구성을 도시한 사시도.

Claims

기판, 상기 기판 상에 배치된 자기 요크, 상기 자기 요크의 매체 대향면측에 개재된 자기 갭, 적어도 양단부가 상기 자기 요크와 자기적으로 결합되고, 매체 대향면으로부터 소정 거리 후퇴한 위치에 형성된 자기 저항 효과막, 및 상기 자기 저항 효과막에 센스 전류를 공급하는 한쌍의 리드에 있어서, 상기 한쌍의 리드는 상기 자기 요크와 공통의 자성체층으로 구성된 자성체 리드부를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제1항에 있어서, 상기 자기 갭은 상기 기판의 표면에 대하여 대략 수직 방향으로 배치되어 있고, 상기 자기 요크는 상기 기판 표면에 대하여 대략 평행한 평면을 갖고, 상기 자기 저항 효과막은 상기 자기 요크의 평면을 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
기판, 상기 기판의 표면을 따라 배치되고, 상기 기판의 표면에 대하여 대략 평행한 평면을 갖는 자기 요크, 상기 자기 요크의 매체 대향면측에 개재되고 상기 기판 표면에 대하여 대략 수직 방향으로 배치된 자기 갭, 적어도 양단부가 상기 자기 요크와 자기적으로 결합되고, 매체 대향면으로부터 소정 거리 후퇴한 위치에 상기 자기 요크의 평면을 따라 형성된 자기 저항 효과막, 및 상기 자기 저항 효과막에 센스 전류를 공급하는 한쌍의 리드를 구비하며, 상기 자기 요크 및 자기 저항 효과막에는 적어도 헤드 동작시에 바이어스 자계가 인가되는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드..
제3항에 있어서, 상기 자기 요크에는 헤드 동작시에 전류가 공급되고, 상기 전류에 의해 발생하는 자계에 의해 상기 바이어스 자계가 인가되는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제3항에 있어서, 상기 자기 요크는 자기 갭을 통하여 전류로를 형성하고 있고, 상기 센스 전류의 일부가 분류하도록 상기 한쌍의 리드와 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제4항에 있어서, 상기 자기 요크는 강자성층과 저저항 비자성층의 적층막으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제5항에 있어서, 상기 자기 요크는 상기 자기 저항 효과막을 통하여 상기 한쌍의 리드와 전기적으로 접속되어 있고, 상기 자기 요크와 상기 자기 저항 효과막 사이에는 센스 전류의 분류량을 제어하는 고저항 자성층이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제5항에 있어서, 상기 한쌍의 리드는 상기 자기 요크와 공통의 자성체층으로 구성된 자성체 리드부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제4항에 있어서, 상기 자기 요크는 상기 바이어스 자계에 의해 단자구(單磁區)화되고, 그 자화 방향은 상기 자기 요크의 자기로에 대하여 대략 직교하는 방향으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제4항에 있어서, 상기 자기 요크는 그 형상에 따라 부위에 따라 다른 방향의 자기 이방성이 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제4항에 있어서, 상기 자기 저항 효과막은 자성층과 비자성층의 적층막을 갖는 거대 자기 저항 효과막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
기판, 상기 기판의 표면을 따라 배치되고, 상기 기판 표면에 대략 평행한 평면을 갖는 자기 요크에 있어서, 그 형상에 따라 부위에 따라 다른 방향의 자기 이방성이 부여되어 있는 자기 요크, 상기 자기 요크의 매체 대향면측에 개재되고 상기 기판 표면에 대하여 대략 수직 방향으로 배치된 자기 갭, 적어도 양단부가 상기 자기 요크와 자기적으로 결합되고, 매체 대향면으로부터 소정 거리 후퇴한 위치에 상기 자기 요크의 평면을 따라 형성된 자기 저항 효과막, 및 상기 자기 저항 효과막에 센스 전류를 공급하는 한쌍의 리드를 구비하는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제12항에 있어서, 상기 자기 이방성은 상기 자기 요크에 의한 자기로와 상기 자기 요크 전체의 자화용이축(容易軸)이 대략 직교하도록 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제12항에 있어서, 상기 자기 요크는 전류 자계에 의해 부여된 상기 자기 이방성을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제12항에 있어서, 상기 자기 요크는 강자성층과 비자성층의 적층막으로 구성되고, 상기 적층막은 적어도 하나의 비자성 금속층을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제15항에 있어서, 상기 적층막은 상기 강자성층에 인접하여 배치된 적어도 하나의 반강자성층을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제12항에 있어서, 상기 자기 요크는 자기로를 형성하는 자성층과, 전류 자계를 발생시키는 비자금 금속층과, 상기 자성층과 상기 비자성 금속층과의 사이에 개재된 절연층을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
제12항에 있어서, 상기 자기 저항 효과막은 자성층과 비자성층의 적층막을 갖는 거대 자기 저항 효과막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드.
자기 요크를 갖는 자기 저항 효과 헤드의 제조 방법에 있어서, 기판 상에 상기 자기 요크를 형성하는 공정, 적어도 상기 자기 요크에 전류를 흐르게 하면서 열처리하고, 상기 자기 요크의 형상에 따라 부위에 따라 다른 방향의 자기 이방성을 부여하는 공정, 및 상기 자기 요크 상에 자기 저항 효과막 및 상기 자기 저항 효과막에 센스 전류를 공급하는 한쌍의 리드를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드의 제조 방법.
제19항에 있어서, 상기 기판 상에 복수의 상기 자기 요크를 각각 직렬로 접속하여 형성한 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 헤드의 제조 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.