KR970066703A - 하드 마스크 어라이너 - Google Patents

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KR970066703A
KR970066703A KR1019960005671A KR19960005671A KR970066703A KR 970066703 A KR970066703 A KR 970066703A KR 1019960005671 A KR1019960005671 A KR 1019960005671A KR 19960005671 A KR19960005671 A KR 19960005671A KR 970066703 A KR970066703 A KR 970066703A
Authority
KR
South Korea
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substrate
hard mask
mask holder
vacuum
mask
Prior art date
Application number
KR1019960005671A
Other languages
English (en)
Inventor
최영환
최정옥
김한
정효수
Original Assignee
이우복
사단법인 고등기술연구원 연구조합
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

본 발명은 기판에 미세패턴의 박막을 증착시키기 위해 사용하는 하드 마스크와 기판을 고정시킬 수 있는 마스크 홀더를 사용한 어라이너에 관한 것으로, 두께와 선폭이 일정하고 적은 비용과 짧은 시간내에 박막을 제조할 수 있는 대면적 하드 마스크용 홀더를 사용한 어라이너를 제공한다.

Description

하드 마스크 어라이너
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4A도는 본 발명에 따른 하드마스크를 이용한 어라이너를 나타낸 도면, 제4B도는 제4A도의 a를 확대하여 나타낸 도면.

Claims (2)

  1. 하드 마스크와 기판을 어라인하기 위한 현미경과, 상기 현미경 하부에 설치되어 하드 마스크와 기판을 정렬시켜 접합고정시키기 위한 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더와, 일정한 간격을 유지하고 고정하기 위한 마스크 홀더 지지대와 기판을 장착하기 위한 기판로더와, 상기 기판로더에 장착되어 있는 기판을 상하좌우로 이동시킬수 있는 기판이동 조절장치와, 상기 마스크 홀더의 기판고정 진공밸브에 연결되는 밴트밸브와 진공차단밸브가 설치되어 있는 진공 호스와, 상기 진공호스 끝단에 설치되어 있는 진공펌프를 포함하는 하드 마스크 어라이너.
  2. 제1항에 있어서, 상기 현미경은 좌우를 나누어 볼 수 있는 것을 특징으로 하는 하드 마스크 어라이너.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960005671A 1996-03-05 1996-03-05 하드 마스크 어라이너 KR970066703A (ko)

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