KR970066703A - 하드 마스크 어라이너 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판에 미세패턴의 박막을 증착시키기 위해 사용하는 하드 마스크와 기판을 고정시킬 수 있는 마스크 홀더를 사용한 어라이너에 관한 것으로, 두께와 선폭이 일정하고 적은 비용과 짧은 시간내에 박막을 제조할 수 있는 대면적 하드 마스크용 홀더를 사용한 어라이너를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4A도는 본 발명에 따른 하드마스크를 이용한 어라이너를 나타낸 도면, 제4B도는 제4A도의 a를 확대하여 나타낸 도면.
Claims (2)
- 하드 마스크와 기판을 어라인하기 위한 현미경과, 상기 현미경 하부에 설치되어 하드 마스크와 기판을 정렬시켜 접합고정시키기 위한 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더와, 일정한 간격을 유지하고 고정하기 위한 마스크 홀더 지지대와 기판을 장착하기 위한 기판로더와, 상기 기판로더에 장착되어 있는 기판을 상하좌우로 이동시킬수 있는 기판이동 조절장치와, 상기 마스크 홀더의 기판고정 진공밸브에 연결되는 밴트밸브와 진공차단밸브가 설치되어 있는 진공 호스와, 상기 진공호스 끝단에 설치되어 있는 진공펌프를 포함하는 하드 마스크 어라이너.
- 제1항에 있어서, 상기 현미경은 좌우를 나누어 볼 수 있는 것을 특징으로 하는 하드 마스크 어라이너.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960005671A KR970066703A (ko) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 하드 마스크 어라이너 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960005671A KR970066703A (ko) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 하드 마스크 어라이너 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970066703A true KR970066703A (ko) | 1997-10-13 |
Family
ID=66248488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960005671A KR970066703A (ko) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 하드 마스크 어라이너 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970066703A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100609709B1 (ko) * | 2004-11-25 | 2006-08-08 | 한국전자통신연구원 | 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4796562A (en) * | 1985-12-03 | 1989-01-10 | Varian Associates, Inc. | Rapid thermal cvd apparatus |
KR910006711A (ko) * | 1989-09-20 | 1991-04-29 | 후지따 아쓰시 | 반도체 가공용 화학약품의 정량 측정 방법 및 이를 위한 장치 |
KR920005620U (ko) * | 1990-08-31 | 1992-03-26 | 삼성전자 주식회사 | 전자레인지의 히터 동시 동작회로 |
JPH053161A (ja) * | 1990-09-21 | 1993-01-08 | Anelva Corp | 真空成膜装置 |
KR100254129B1 (ko) * | 1992-09-21 | 2000-05-01 | 야스이 사다죠 | 박막형성장치 |
-
1996
- 1996-03-05 KR KR1019960005671A patent/KR970066703A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
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Legal Events
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