KR100609709B1 - 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치 - Google Patents

마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치 Download PDF

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Abstract

마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치를 제공한다. 본 발명은 현미경 스테이지 상에 놓여지면서, 상부 표면에는 유리 절연층에 의하여 분리된 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품이 놓여지는 지지부와, 상기 지지부 양단에 위치하여 상기 지지부에 고정되는 숫나사 및 그에 따른 암나사를 포함한다. 또한, 본 발명은 상기 지지부와 이격되어 상기 지지부 상부를 가로 질러서 위치하고, 상기 숫나사는 양단의 제1 관통홀을 통과하고 상기 암나사는 상기 제1 관통홀 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대와, 상기 석영 막대의 중앙부에 설치된 제2 관통홀을 통하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 위에서 아래로 압력을 인가하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 고정할 수 있는 스프링 전극을 포함하여 이루어진다. 이에 따라, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 많은 주의와 시간이 소모되지 않고 보다 용이하고 정밀하게 마이크로 컬럼을 정렬 및 접합할 수 있다.

Description

마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치{Apparatus for alignment and assembly in micro-column}
도 1은 본 발명에 이용되는 마이크로 컬럼의 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따라 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시한 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치의 상부 평면도 및 하부 평면도이고,
도 4a 및 도 4b는 도 2의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치에 마이크로 컬럼 구성품이 올려진 상태의 측면도 및 상부 평면도이고,
도 5는 도 2의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치에 장착된 마이크로 컬럼 구성품을 이동시킬 수 있는 척을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 마이크로 컬럼(micro-column)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마이크로 컬럼의 정렬과 접합에 이용되는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 마이크로 컬럼(micro-column)은 병렬로 배열을 이루어 전자빔 리소그라피(e-beam lithography) 장비에 이용되거나 SEM(Secondary Electron Microscope)으로도 활용 가능하다. 상기 마이크로 컬럼은 전자를 방출하는 전자 방출원과, 마이크로 렌즈와 편향기가 정렬 및 접합된 마이크로 렌즈 모듈로 구성된다.
상기 마이크로 컬럼의 동작은 전자 방출원에서 방출된 전자빔이 마이크로 렌즈 모듈에 의해 제한, 편향 및 집속되면서 이루어지는데, 상기 마이크로 컬럼의 성능은 접합된 마이크로 렌즈 모듈의 구성품들이 얼마나 정확히 중심에 정렬되어 있느냐에 크게 좌우된다. 그런데, 지금까지 마이크로 컬럼의 정렬은 단순하게 현미경 상에서 정렬 구멍의 중심을 맞춘 뒤, 양극접합(anodic Bonding) 방법으로 각 마이크로 렌즈 모듈의 각 부품을 접합하는 방법을 사용하였다. 이와 같은 마이크로 컬럼의 정렬 및 접합 방법은 많은 주의와 시간이 소모되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로써, 많은 주의와 시간이 소모되지 않고 보다 용이하고 정밀하게 마이크로 컬럼을 정렬 및 접합할 수 있는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 현미경 스테이지 상에 놓여지면서, 상부 표면에는 유리 절연층에 의하여 분리된 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품이 놓여지는 지지부와, 상기 지지부 양단에 위치하여 상기 지지부에 고정되는 숫나사 및 그에 따른 암나사를 포함한다.
또한, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 상기 지지부와 이격되어 상기 지지부 상부를 가로 질러서 위치하고, 상기 숫나사는 양단의 제1 관통홀을 통과하고 상기 암나사는 상기 제1 관통홀 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대와, 상기 석영 막대의 중앙부에 설치된 제2 관통홀을 통하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 위에서 아래로 압력을 인가하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 고정할 수 있는 스프링 전극을 포함하여 이루어진다.
상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 상부 진공홈이 설치되고, 상기 현미경 스테이지 상의 지지부 내에는 하부 진공홈이 설치되고, 상기 상부 진공홈 및 하부 진공홈은 모두 진공 라인과 연결되어 있을 수 있다. 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 위치하는 광투과홀은 외기 대기압과 연결되는 배기 라인이 연결되어 있을 수 있다.
상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 상에는, 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품을 수평 방향(X-Y 방향)으로 움직일 수 있는 척이 설치되고, 상기 척을 이동시켜 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 상기 하단 마이크로 컬럼 구성품의 중앙부에 위치하는 정렬홀의 중심을 서로 맞출 수 있다.
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 많은 주의와 시간이 소모되지 않고 보다 용이하고 정밀하게 마이크로 컬럼을 정렬 및 접합할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.
도 1은 본 발명에 이용되는 마이크로 컬럼의 단면도이다.
구체적으로, 도 1은 개개 구성품들이 조립된 마이크로 컬럼(50)의 단면도이다. 상기 마이크로 컬럼(50)의 전자 방출원(5)에서 방출된 전자빔은 유리 절연층(10) 상에 위치하는 마이크로 렌즈들(11, 13, 15)을 통과하면서 제한되어 빔 사이즈가 작아진다. 상기 마이크로 컬럼(50)을 구성하는 마이크로 렌즈들(11, 13, 15)은 중앙 부분에 2um 에서 200um의 직경을 가지는 원형의 정렬홀(7, 정렬 구멍)이 뚫린 1um에서 5um의 두께의 얇은 실리콘막(실리콘 멤브레인(membrane), 9)을 포함한다. 상기 마이크로 렌즈들(11, 13, 15)은 붕소 주입으로 높은 도전성을 가지며, 중앙부에 형성된 정렬홀((7)에 의해 전자 방출원(5)에서 나온 전자빔을 제한하는 전자 광학 렌즈 역할을 수행한다.
상기 마이크로 렌즈들(11, 13, 15)에 의해 제한된 빔은 편향기(23)에 의해 원하는 방향으로 편향된다. 상기 편향기(23)는 실리콘 기판을 RIE(Reactive Ion Etching) 방법으로 식각하여 8개의 막대형 전극이 중심을 향하는 형태로 제작될 수 있다. 상기 편향기(23)는 외부에서 인가하는 전압에 의해 정전기력에 의해 그 중심을 지나가는 전자빔을 편향시키는 역할을 수행한다. 상기 편향기(23)는 배선 기판(19)의 상하부에 위치하며, 상단 편향부(17) 및 하단 편향부(21)로 구성된다.
상기 편향기(23)에 의해 편향된 전자빔은 유리 절연층(10) 상에 위치하는 마이크로 렌즈들(25, 27, 29)에 의해 미세한 사이즈로 빔이 집속된다. 상기 마이크로 컬럼(50)을 구성하는 마이크로 렌즈들(25, 27, 29)은 앞서 설명한 바와 같이 2um 에서 200um의 직경을 가지는 정렬홀(7)이 뚫린 1um에서 5um의 두께의 얇은 실리콘막(9)을 포함한다. 상기 마이크로 렌즈들(25, 27, 29)은 붕소 주입으로 높은 도전성을 가지며, 중앙부에 형성된 정렬홀(7)에 의해 전자 방출원(5)에서 나온 전자빔을 외부 전압원에 의해 정전기적으로 집속시키는 전자 광학 렌즈 역할을 수행한다.
상기 마이크로 컬럼(50)은 앞서 설명한 바와 같이 상기 편향기(23)에 의해 편향되고, 상기 마이크로 렌즈들(11, 13, 15, 25, 27, 29)에 의해 제한 및 집속된 전자빔을 활용한다. 따라서, 상기 마이크로 컬럼(50)은 리소그라피 장치나 2차 전자 주사현미경 등 다양한 분야에 응용될 수 있다.
그런데, 상기 마이크로 컬럼(50)은 각각의 구성품, 즉 마이크로 렌즈들(11, 13, 15, 25, 27, 29) 및 편향기(23)가 얼마나 중앙부에 위치한 정렬홀(7)의 중심에 정확히 정렬되는가가 무엇보다 중요하다. 이에 따라, 본 발명은 마이크로 컬럼(50)을 구성하는 각각의 구성품을 하나씩 정렬하여 조립해나갈 때 정렬홀(7)의 중심에 각각의 구성품을 용이하고 정밀하게 정렬할 수 있는 장치가 있어야 한다.
도 2는 본 발명에 따라 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치를 설명하기 위한 단면도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시한 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치의 상부 평면도 및 하부 평면도이고, 도 4a 및 도 4b는 도 2의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치에 마이크로 컬럼 구성품이 올려진 상태의 측면도 및 상부 평면도이 다.
본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치(100)에서는 마이크로 컬럼의 구성품들중 도 1에 도시한 마이크로 렌즈를 예로 들어 도시하였다. 물론, 마이크로 컬럼 구성품, 예컨대 편향기 등에도 적용할 수 있다. 도 2에 도시한 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치(100)는 정렬 공정을 수행하기 위해 상부에는 현미경(300)이 위치하고 하부에는 현미경 광원(310)이 위치한 현미경 스테이지(300)에 놓여진 상태가 도시되어 있다.
보다 상세하게, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치(100)는 금속 재질의 지지부(102)를 포함한다. 상기 지지부(102) 상에 유리 절연층(104)으로 분리된 두 개의 마이크로 컬럼 구성품들(106, 108), 즉 상단 마이크로 컬럼 구성품(106) 및 하단 마이크로 컬럼 구성품(108)이 위치하며, 후술하는 바와 같이 진공 수단에 의해 진공 흡착된다. 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품(106) 및 하단 마이크로 컬럼 구성품(108)은 마이크로 렌즈(도 1의 11, 13, 15, 25, 27, 29)의 일부를 예로 들어 도시되어 있다.
상기 지지부(102) 양단에는 상기 지지부(102)에 고정되는 숫나사(109) 및 그에 따른 암나사(110)가 설치되어 있다. 상기 지지부(102) 상부에 상기 지지부(102)와 이격되어 상기 지지부(102) 상부를 가로 질러서 위치하되, 상기 숫나사(109)는 양단에 설치된 제1 관통홀(112)을 통과하고, 상기 암나사(110)는 상기 제1 관통홀(112) 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대(114)가 설치되어 있다.
상기 마이크로 컬럼 구성품들(106, 108) 상에, 상기 석영 막대(114)의 중앙 부에 설치된 제2 관통홀(116)을 통하여 상기 마이크로 컬럼 상단 구성품(106)을 위에서 아래로 압력을 인가하여 고정할 수 있는 스프링 전극(118)이 설치되어 있다.
다시 말해, 상기 마이크로 컬럼 구성품들(106, 108)은 상기 마이크로 구성품들(106, 108) 상에 위치하는 석영 막대(114)에 고정된 스프링 전극(118)을 위에서 아래로 수직으로 눌러 고정된다. 상기 스프링 전극(118)은 마이크로 컬럼 구성품들이 적당한 힘으로 눌려지도록 좌우에 설치된 두개의 숫나사(109)를 이용한다. 이렇게 마이크로 컬럼 구성품들을 올려놓고 스프링 전극을 이용하여 누름 방식으로 고정할 경우, 후술하는 정렬 과정중 부가적인 힘에 의해 정렬이 어긋나는 점을 막아주며 수평힘에 의해서만 마이크로 컬럼 구성품들의 수평 이동이 가능하게 된다.
그리고, 앞서 설명한 바와 같이 지지부(102) 상에 위치하는 마이크로 컬럼 구성품들은 진공 수단을 이용하여 지지부(102)와 진공 흡착된다. 진공 수단은 진공 라인 입구(120), 진공 라인(122), 상부 진공 홈(124), 하부 진공홈(126) 등을 포함한다. 상기 진공 라인(122), 상부 진공홈(124) 및 하부 진공홈(126) 등은 지지부(102) 내에 설치된다.
상기 진공 라인 입구(120)에는 펌프 등이 연결되어 있고, 상기 진공 라인 입구에는 진공 라인(122)이 연결된다. 상기 진공 라인(122)은 마이크로 컬럼 구성품(106, 108) 들의 하부의 지지부(102) 내에 위치하는 상부 진공홈(124) 및 현미경 스테이지(330) 상의 지지부(102)에 위치하는 하부 진공홈(126)과 연결된다. 상기 상부 진공홈(124)과 연결되는 진공 라인은 참조번호 122a이며, 하부 진공홈과 연결되는 진공 라인은 참조번호 122b이다.
따라서, 상기 마이크로 구성품들(106, 108)이 장착된 지지부(102)를 현미경 스테이지(330) 상에 올려놓은 상태에서, 진공 라인(122)을 통해 진공을 뽑으면 상부 진공홈(124) 및 하부 진공홈(126) 의해 지지부(102)가 현미경 스테이지(330) 바닥에 고정되고, 마이크로 구성품들도 진공에 의해 지지부(102)에 고정된다. 이렇게 본 발명은 진공 라인을 이용하여 하단 마이크로 컬럼 구성품을 지지부에 고정함과 아울러 지지부를 동시에 현미경 스테이지에 고정함으로써 정렬 기준을 용이하게 마련한다.
이와 관련하여, 도 2에 도시한 바와 같이 마이크로 컬럼 구성품들(106, 108)을 구성하는 마이크로 렌즈는 350um 두께의 실리콘 칩을 비등방성 식각 방법을 이용하여 식각하여 1um서 5um 두께의 얇은 실리콘막으로 제조된다. 상기 에칭에 의하여 만들어진 마이크로 렌즈는 가로 및 세로가 각각 2mm 및 2mm을 가진다. 따라서, 마이크로 컬럼 구성품들을 고정하는 상부 진공홈(124)은 도 4b에 도시한 바와 같이 마이크로 렌즈의 바깥쪽을 지나가도록 만들어져 마이크로 렌즈에 포함된 얇은 실리콘막이 진공에 의해 부서지는 것을 막을 수 있다.
하지만, 상기 지지부(102)와 상부 진공홈(124) 간의 약간의 틈에 의해, 상기 마이크로 컬럼 구성품 하부의 지지부(102) 내에 위치하고 빛이 투과하는 제1 광투과홀(127)에도 진공이 형성되고 마이크로 컬럼 구성품(106, 108), 즉 마이크로 렌즈의 얇은 실리콘막이 영향을 받는다. 따라서, 상기 지지부(102) 내에는 제1 광투과홀(127) 및 외기 대기압과 연결되는 배기 라인(128) 및 배기구(130)가 설치되어 있어 진공으로 인한 마이크로 컬럼 구성품(106, 108), 즉 마이크로 렌즈의 얇은 실 리콘막 파괴를 방지한다.
상기 마이크로 컬럼 구성품(106, 108)이 진공에 의해 지지부(102) 및 현미경 스테이지(330)에 고정이 되면, 현미경 광원(310)에서 광을 비추어 상기 현미경 스테이지 내의 제2 광투과홀(350) 및 지지부(102) 내의 제1 광투과홀(127)을 통과한다. 이렇게 되면, 상기 현미경(300)으로 마이크로 컬럼 구성품(106, 108)의 정렬홀(도 1의 참조번호 7)을 중심으로 마이크로 컬럼 상단 구성품(106)을 수평방향으로 이동시키면서 정렬홀의 중심을 맞춘다. 이때 중심 정렬 기준은 전자적인 디지털 카메라의 십자 표시를 이용한다.
도 5는 도 2의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치에 장착된 마이크로 컬럼 구성품을 이동시킬 수 있는 척을 설명하기 위한 도면이다.
구체적으로, 앞서 설명한 바와 같이 마이크로 컬럼 구성품, 특히 상단 마이크로 컬럼 구성품을 수평 방향으로 이동시키면서 정렬하여 정렬홀의 중심을 맞춘다. 다시 말해, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 고정되지 않은 상단 마이크로 컬럼 구성품을 움직여 하단 마이크로 컬럼 구성품의 정렬홀의 중심에 용이하게 맞춘다. 상기 상단 마이크로 컬럼 상단 구성품을 움직이는 것은 V자 홈(206)을 가지는 두 개의 얇은 금속편으로 구성된 척(205)에 의해서 수행한다.
상기 척(206)에 연결되어 있는 구동 마이크로 미터(204)는 정밀하게 상단 마이크로 컬럼 구성품(106)을 수평 힘으로 모서리 부분을 잡을 수 있도록 척 간격을 조절할 수 있다. 상기 척(206)이 상단 마이크로 컬럼 구성품(106)을 정밀하게 붙잡게 되면, X 방향 이동 마이크로 미터(202) 및 Y방향 이동 마이크로 미터(201)에 의 해 X-Y 방향으로 척(200)을 움직일 수 있는 매뉴플레이터(manipulator. 200)에 의해 상단 마이크로 컬럼 구성품(106)을 정밀하게 하단 마이크로 컬럼 구성품(108)의 정렬홀의 중심을 정렬할 수 있다.
스프링 전극(도 2의 118)은 척(206)을 통해 가해지는 힘에 의해서만 마이크로 컬럼 구성품이 움직일 수 있도록 구성품간에 적당한 마찰을 제공한다. 상기 스프링 전극(118)의 압력으로 인해 두 개의 구성품간에 간극을 제거하여 계면이 더 밀착되는 효과를 주어 접합을 더 용이하게 한다. 도 5에서, 참조번호 208 및 203은 각각 진공 배기관 및 Z방향 이동 마이크로 미터를 나타낸다.
이상과 같이 두 개의 마이크로 컬럼 구성품의 정렬홀을 정렬한다. 정렬이 완성되면, 도 5의 구동 마이크로 미터(204)를 통해 척(205)을 상단 마이크로 컬럼 구성품으로부터 분리한다. 정렬이 끝난 두 개의 마이크로 컬럼 구성품은 핫 플레이트 위에 올려져 그대로 가열시키면서 스프링 전극(118)과 지지부(102)를 아래위에서 약 1000V의 고전압을 인가하여 두 개의 정렬된 마이크로 컬럼 구성품을 양극(anodic) 접합시키게 된다.
특히, 본 발명의 마이크로 컬럼 및 접합용 장치는 스프링 전극을 그대로 양극 접합시 고전압 인가 전극으로 사용함으로써 부가적인 전극 접촉시 정렬이 어긋나는 것을 방지할 수 있다. 상기 방법의 반복으로 마이크로 컬럼의 각 구성품들을 정렬홀의 중심에 정렬하고, 접합을 할 수 있게 된다.
이상과 같은 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 지지부에 마이크로 컬럼 구성품들을 올려놓고 스프링 전극을 이용하여 누름 방식으로 고정함으로써 정렬 과정중 부가적인 힘에 의해 정렬이 어긋나는 점을 막아주며, 수평힘에 의해서만 마이크로 컬럼 구성품의 수평 이동이 가능하다.
본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 진공 라인을 이용하여 하단 마이크로 컬럼 구성품을 지지부에 고정함과 아울러 지지부를 동시에 현미경 스테이지에 고정하여 정렬 기준을 용이하게 마련할 수 있다.
본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 고정되지 않은 상단 마이크로 컬럼 구성품을 움직여 하단 마이크로 컬럼 구성품의 정렬홀의 중심에 용이하게 맞출 수 있다.
본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 진공에 의하여 고정된 하단 마이크로 컬럼 구성품을 정렬홀의 중심에 맞출 때, 스프링 전극이 상단 마이크로 컬럼 구성품을 누르고 있어 적절한 힘에 의해서만 상단 마이크로 컬럼 구성품이 이동하기 때문에 예상치 못한 상단 마이크로 컬럼 구성품의 이동을 억제할 수 있다.
본 발명의 마이크로 컬럼 및 접합용 장치는 스프링 전극을 그래로 양극 접합시 고전압 인가 전극으로 사용함으로써 부가적인 전극 접촉시 정렬이 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명의 마이크로 컬럼 및 접합용 장치는 지지부 내에는 광투과홀 및 외기 대기압과 연결되는 배기 라인 및 배기구가 설치되어 있어 진공으로 인한 마이크로 렌즈의 얇은 실리콘막 파괴를 방지할 수 있다.
결과적으로, 이상과 같은 장점을 갖는 본 발명의 마이크로 컬럼 및 접합용 장치는 종래와 비교하여 많은 주의와 시간이 소모되지 않고 보다 용이하고 정밀하게 마이크로 컬럼을 정렬 및 접합할 수 있다.

Claims (7)

  1. 현미경 스테이지 상에 놓여지면서, 상부 표면에는 유리 절연층에 의하여 분리된 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품이 놓여지는 지지부;
    상기 지지부 양단에 위치하여 상기 지지부에 고정되는 숫나사 및 그에 따른 암나사;
    상기 지지부와 이격되어 상기 지지부 상부를 가로 질러서 위치하고, 상기 숫나사는 양단의 제1 관통홀을 통과하고 상기 암나사는 상기 제1 관통홀 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대; 및
    상기 석영 막대의 중앙부에 설치된 제2 관통홀을 통하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 위에서 아래로 압력을 인가하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 고정할 수 있는 스프링 전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 상부 진공홈이 설치되고, 상기 현미경 스테이지 상의 지지부 내에는 하부 진공홈이 설치되고, 상기 상부 진공홈 및 하부 진공홈은 모두 진공 라인과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 위치하는 광투과홀은 외기 대기압과 연결되는 배기 라인이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 상에는, 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품을 수평 방향(X-Y 방향)으로 움직일 수 있는 척이 설치되고, 상기 척을 이동시켜 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 상기 하단 마이크로 컬럼 구성품의 중앙부에 위치하는 정렬홀의 중심을 서로 맞추는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품은 마이크로 렌즈인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 현미경 스테이지 아래에는 현미경 광원이 위치하고, 상기 석영 막대 상에는 현미경이 위치하여 상기 현미경 광원에서 발생된 광을 이용하여 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품을 정렬하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 스프링 전극은 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 하 단 마이크로 컬럼 구성품을 양극 접합할 때 고전압이 인가되는 전극인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치.
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