KR970063454A - 벤팅가스 주입부를 구비하는 반도체 제조장비 - Google Patents

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Abstract

벤팅가스 주입부를 구비하는 반도체 제조장비가 개시되어 있다. 본 발명은 반도체 제조공정이 진행되는 공정 챔버, 상기 공정 챔버에 투입시킬 웨이퍼 또는 상기 공정 챔버에서 소정의 공정이 완료된 웨이퍼를 진공 상태에서 일시적으로 보관시키기 위한 로드 락 챔버, 및 상기 로드 락 챔버 내부의 압력을 대기압으로 변화시키기 위하여 그 내부에 벤팅가스를 주입시키는 기능을 갖는 벤팅가스 주입부를 구비하는 반도체 제조장비에 있어서, 상기 벤팅가스 주입부는 상기 벤팅가스를 저장하는 탱크와 연결되고 제1배출구 및 제2배출구를 구비하는 제1니들밸브; 상기 제1니들밸브의 제1 및 제2배출구와 각각 연결되어 단위시간당 흐르는 벤팅가스의 양을 조절하는 기능을 갖는 제2 및 제3니들밸브; 상기 제2 및 제3니들밸브와 상기 로드락 챔버 사이에 각각 설치되어 열림/닫힘 상태가 공기에 의해 제어되는 제1 및 제2에어밸브; 및 상기 제1 및 제2에어밸브가 각각 서로 다른 시간에 열리고 닫히도록 제어해주는 에어밸브 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비를 제공한다.
본 발명에 의하면, 로드락 챔버 내에 저속의 벤팅가스와 고속의 벤팅가스를 순차적으로 주입시킬 수 있으므로, 와류현상에 의한 오염입자의 발생을 크게 억제시킬 수 있다.

Description

벤팅가스 주입부를 구비하는 반도체 제조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2a도 및 제2b도는 본 발명에 의한 챔버 벤팅가스 주입부의 구성도들이다.

Claims (5)

  1. 반도체 제조공정이 진행되는 공정 챔버, 상기 공정 챔버에 투입시킬 웨이퍼 또는 상기 공정 챔버에서 소정의 공정이 완료된 웨이퍼를 진공 상태에서 일시적으로 보관시키기 위한 로드 락 챔버, 및 상기 로드 락 챔버 내부의 압력을 대기압으로 변화시키기 위하여 그 내부에 벤팅가스를 주입시키는 기능을 갖는 벤팅가스주입부를 구비하는 반도체 제조장비에 있어서, 상기 벤팅가스 주입부는 상기 벤팅가스를 저장하는 탱크와 연결되고 제1배출구 및 제2배출구를 구비하는 제1니들밸브; 상기 제1니들밸브의 제1 및 제2배출구와 각각 연결되어단위시간당 흐르는 벤팅가스의 양을 조절하는 기능을 갖는 제2 및 제3니들밸브; 상기 제2 및 제3니들밸브와 상기 로드락 챔버 사이에 각각 설치되어 열림/닫힘 상태가 공기에 의해 제어되는 제1 및 제2에어밸브; 및 상기 제1 및 제2에어밸브가 각각 서로 다른 시간에 열리고 닫히도록 제어해주는 에어밸브 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 벤팅가스는 질소가스인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비.
  3. 제1항에 있어서, 상기 에어밸브는 너프로(nurpro) 밸브인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2니들밸브와 이와 연결된 제1에어밸브 사이 및 상기 제3니들밸브와 이와 연결된 제2에어밸브 사이에 각각 코일 형태의 서스 튜브(sus tube)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비.
  5. 제1항에 있어서, 상기 에어밸브 제어수단은 정해진 시간에 전기적인 신호를 출력시키는 콘트롤러; 상기 콘트롤러로부터 출력되는 전기적인 신호를 입력으로하여 제1출력단자와 제2출력단자에 각각 제1신호 및 제2신호를 순차적으로 출력시키는 타임 릴레이(time relay); 상기 콘트롤러로부터 출력되는 전기적인 신호에 의해 열림/닫힘 상태가 제어되면서 공기를 저장하는 에어 탱크와 연결되고 제1배출구 및 제2배출구를 구비하는 제1솔레노이드 밸브; 상기 제1솔레노이드 밸브의 제1배출구와 상기 제1에어밸브 사이에 설치되고 상기 타임 릴레이로부터 출력되는 제1신호에 의해 열림/닫힘 상태가 제어되는 제2솔레노이드 밸브; 및 상기 제1솔레노이드 밸브의 제2배출구와 상기 제2에어밸브 사이에 설치되고 상기 타임 릴레이로부터 출력되는 제2신호에 의해 열림/닫힘 상태가 제어되는 제3솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960004066A 1996-02-21 1996-02-21 벤팅가스 주입부를 구비하는 반도체 제조장비 KR0183822B1 (ko)

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