KR970060528A - 박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 그 박막트랜지스터-액정표시장치는 하부기판상의 반도체층을 갖는 TFT와; 그 위의 금속전극과; 상기 TFT와 금속전극에 걸치는 ITO와; 상기 금속전극과 금속간 절연층을 사이에 두고 형성되는 흑화막과; 상기 흑화막위의 블랙 매트릭스와; 상부기판에 형성되는 ITO 화소전극과; 상부기판과 하부기판 사이의 액정을 구비하여 구성되며, 상기 박막트랜지스터-액정표시장치의 또다른 구성은 하부기판에 형성된 TFT와; TFT의 단자로 이용되는 알루미늄전극과; 상기 알루미늄전극위에 형성되는 홀화막과; 상기 TFT의 단자로 이용되는 ITO와; 금속간 절연층을 아래에 두고 형성되는 블랙 매트릭스와; ITO 화소전극을 포함하는 상부기판과; 상기 상부기판과 하부기판을 합착시키는 액정을 구비하여 구성된다.
상기 박막트랜지스터-액정표시장치의 제조는 하부기판에 반도체층을 갖는 TFT를 형성하는 공정과; 이후 금속전극을 형성하는 공정과; 이후 ITO를 형성하는 공정과; 이후 금속간 절연층을 증착하고 그 위에 스퍼타링으로 제조된 실리콘 나이트라이드의 흑화막을 형성하는 공정과; 이후 블랙 매트릭스를 형성하는 공정과; 이후 하부기판을 ITO 화소전극을 포함하는 상부기판과 액정을 주입하여 합착시키는 공정으로써 완료되면, 블랙매트릭스에 의한 빛 전달 통로 현상을 흑화막을 이용하여 방지하여 TFT 반도체층의 광여기 누설전류를 방지함으로써, 프로젝터용 디스플레 콘트라스트 특성을 향상시킬 수 있게 된다.

Description

박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 박막트랜지스터-액정표시장치를 도시한 제1단면도.

Claims (4)

  1. 하부기판상의 반도체층을 갖는 TFT와; 그 위의 금속전극과; 상기 TFT와 금속전극에 걸치는 ITO와; 상기 금속전극과 금속간 절연층을 사이에 두고 형성되는 흑화막과; 상기 흑화막위 의 블랙 매트릭스와; 상부기판에 형성되는 ITO 화소전극과; 상부기판과 하부기판 사이의 액정을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  2. 하부기판에 형성된 TFT와; TFT의 단자로 이용되는 알루미늄전극과; 상기 알루미늄전극위에 형성되는 흑화막과; 상기 TFT위의 ITO와; 금속간 절연층을 아래에 도고 형성되는 하부기판을 합착시키는 액정을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  3. 하부기판에 반도체층을 갖는 TFT를 형성하는 공정과; 이후 금속전극을 형성하는 공정과; 이후 ITO를 형성하는 공정과; 이후 금속간 절연층을 증착하고 그 위에 흑화막을 형성하는 공정과; 이후 블랙 매트릭스를 형성하는 공정과; 이후 하부기판을 ITO 화소전극을 포하하는 상부기판과 액정을 주입하여 합착시키는 공정으로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서, 흑화막은 실리콘 나이트라이드(Si3N4)로 되어 있고 스퍼터링(Sputtering)법으로 형성하여 제조되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960000107A 1996-01-05 1996-01-05 박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조방법 KR0176881B1 (ko)

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