KR970060437A - 웨이퍼의 존재 유무 검출 기능이 향상된 트랜스퍼 쳄버 - Google Patents
웨이퍼의 존재 유무 검출 기능이 향상된 트랜스퍼 쳄버 Download PDFInfo
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Abstract
웨이퍼의 존재여부를 일방향으로 감지할 수 있는 센서를 가지는 트랜스퍼 쳄버에 관한 것으로, 공정 쳄버 내로 또는 공정 쳄버로부터 웨이퍼를 이동시키는 로봇 암을 가지는 트랜스퍼 쳄버는, 상기 로봇 암을 중심으로 대칭으로 배열된 셔틀, 상기 셔틀을 중심으로 상방 및 하방으로 이동할 수 있는 오리엔트, 상기 트랜스퍼 쳄버의 저면에 설치되어, 상기 오리엔트 위의 웨이퍼의 플레이트 조온이 정렬되었음을 감지하기 위해 소정의 빔을 발사하는 오리엔트 센스 전달부, 상기 오리엔트 상부에 형성된 오리엔트 센스 탐지기, 및 상기 오리엔트 센스 탐지기 상에 탑재되어, 상기 오리엔트 및 상기 셔틀 상에 웨이퍼가 존재하는 지 여부를 감지하는 웨이퍼 검출 센서를 가진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 트랜스퍼 쳄버를 나타낸다.
Claims (2)
- 공정 챔버 내로 또는 공정 챔버로부터 웨이퍼를 이동시키는 로봇암을 가지는 트랜스퍼 쳄버에 있어서, 상기 로봇 암을 중심으로 대칭으로 배열된 셔틀, 상기 셔틀을 중심으로 상방 및 하방으로 이동할 수 있는 오리엔트, 상기 트랜스퍼 쳄버의 저면에 설치되어, 상기 오리엔트 위의 웨이퍼의 플레이트 조온이 정렬되었음을 감지하기 위해 소정의 빔을 발사하는 오리엔트 센스 전달부, 상기 오리엔트 상부에 형성된 오리엔트 센스 탐지기, 및 상기 오리엔트 센스 탐지기 상에 탑재되어, 상기 오리엔트 및 상기 셔틀 상에 웨이퍼가 존재하는 지 여부를 감지하는 웨이퍼 검출 센서를 가짐을 특징으로 하는 트랜스퍼 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 센서는 상기 오리엔트 및 셔틀 상부의 웨이퍼의 존재 유무에 따른 정전용량 차이를 감지함을 특징으로 하는 트랜스퍼 쳄버.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960002076A KR970060437A (ko) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 웨이퍼의 존재 유무 검출 기능이 향상된 트랜스퍼 쳄버 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960002076A KR970060437A (ko) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 웨이퍼의 존재 유무 검출 기능이 향상된 트랜스퍼 쳄버 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970060437A true KR970060437A (ko) | 1997-08-12 |
Family
ID=66218690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960002076A KR970060437A (ko) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 웨이퍼의 존재 유무 검출 기능이 향상된 트랜스퍼 쳄버 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970060437A (ko) |
-
1996
- 1996-01-30 KR KR1019960002076A patent/KR970060437A/ko not_active Application Discontinuation
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