KR970054032A - 이중 패드를 가진 반도체 소자 - Google Patents
이중 패드를 가진 반도체 소자 Download PDFInfo
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술 분야
고집적 반도체 소자.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
DRAM등 메모리 소자에서 본딩 패드는 회로의 신호 입출력을 위한 접점으로 사용되는데, 종랭에는 단일 패드로 구성되어 있엇 웨이퍼 프로브 테스트(Warer Prove Test)시에 프로버(Prober)를 콘택홀때 패드가 손상 될 가능성이 많으며, 패드 손상을 막기 위해 프로브 테스트시 프로버가 콘택되는 양윽 줄이다 보변, 접촉되는 부분의 부족에 의한 테스트 불량을 초래할 수 있으며, 또한 패드 손상시 칩의 패키지 리이드 콘택이 불량하게 되어 리이드 오픈이나 부식을 초래할 수 있고, 칩의 수명을 단축시킬 수 있다는 문제점이 있었음.
3. 발명의 해결방법의 요지
반도체 소자의 프로브 테스트에 이용되는 프로버 콘택용 패드와 패키지 리이드 콘택용 패드를 별도로 형성하므로써, 리이드 오픈과 같으 패키지 불량을 방지할 수 있는 이중 패드를 가진 바노체 소자를 제공하고자 함.
4. 발명의 중요한 용도
고집적 반도체 소자, 특히 DRAM 소자 제조에 이용됨.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 이중 패드를 가진 반도체 소자의 구성도.
Claims (2)
- 소자의 신호 입력 및 출력 단자로 이용되는 패드를 포함하는 반도체 소자에 있엇, 웨이퍼상태의 프로브테스트시의 신호 입출력을 위한 다수의 프로버 콘택용 패드와, 패키지시의 신호 입출력을 위한 다수의 리이드콘택용 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 프로버 콘택용 패드가 차지하는 면적이 상기 리이드 콘택용 패드가 차지하는 면적 보다 더 큰 것을 특징으로 하는 반도체 소자.※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950054388A KR970054032A (ko) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 이중 패드를 가진 반도체 소자 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950054388A KR970054032A (ko) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 이중 패드를 가진 반도체 소자 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054032A true KR970054032A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66617309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950054388A KR970054032A (ko) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 이중 패드를 가진 반도체 소자 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054032A (ko) |
-
1995
- 1995-12-22 KR KR1019950054388A patent/KR970054032A/ko not_active Application Discontinuation
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |