KR970051932A - 포토 리소그래피(Photo Rithography) 장치 - Google Patents
포토 리소그래피(Photo Rithography) 장치 Download PDFInfo
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Abstract
초소형 거울을 구비한 포토 리소그래피 장치에 관하여 기재되어 있다. 이 장치는 전기적 신호에 의하여 선택적으로 구동됨으로써 광원으로부터 입사되는 입사광을 선택적으로 웨이퍼의 감광막 상에 반사할 수 있는 초소형 거울을 구비한다. 이때, 광원과 초소형 거울 사이에 콘덴서 렌즈를 더 구비할 수 있으며, 초소형 거울과 웨이퍼의 감광막 상 사이에 콘덴서 렌즈를 더 구비할 수도 있다. 초소형 거울은 정전기력 또는 피에즈 전기적(Piezo electric) 특성을 이용한 전기적 신호에 의하여 구동할 수 있다. 한편, 초소형 거울은 알루미늄 플라티늄, 금 및 로듐의 물질군 중 어느 하나의 물질을 이용하여 경면을 형성할 수 있다. 이로써, 반도체 포토 리소그래피 공정에서 마스크를 사용하지 않아도 됨으로 식각적 및 경제적 잇점을 기대할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 포토 리소그래피 방식으로 감광막 패턴을 형성하는 과정을 설명하기 위한 단면도이다.
Claims (6)
- 반도체 제조에 이용되는 포토 리소그래피 장치에 있어서, 전기적 신호에 의하여 선택적으로 구동됨으로써 광원으로부터 입사되는 입사광을 선택적으로 웨이퍼의 감광막 상에 반사할 수 있는 초소형 거울을 구비한 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광원과 상기 초소형 거울 사이에 콘덴서 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 초소형 거울과 상기 웨이퍼의 감광막 상 사이에 콘덴서 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 초소형 거울은 정전기력을 이용한 전기적 신호에 의하여 구동하는 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 초소형 거울은 피세조 전기적(Piezo electric) 특성을 이용한 전기적 신호에 의하여 구동하는 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피장치.
- 제1항에 있어서, 상기 초소형 거울은 알루미늄, 플라티늄, 금 및 로듐의 물질군 중 어느 하나의 물질을 이용하여 경면을 형성하는 것을 특징으로 하는 포토 리소그래피 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950067039A KR970051932A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 포토 리소그래피(Photo Rithography) 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950067039A KR970051932A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 포토 리소그래피(Photo Rithography) 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970051932A true KR970051932A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66638179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950067039A KR970051932A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 포토 리소그래피(Photo Rithography) 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970051932A (ko) |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950067039A patent/KR970051932A/ko not_active Application Discontinuation
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