KR970051930A - 위상을 갖는 보조패턴을 이용한 고립패턴 형성방법 - Google Patents
위상을 갖는 보조패턴을 이용한 고립패턴 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
고립패턴을 양호하게 형성할 수 있는 고립패턴 형성방법에 대해 기재하고 있다. 이는, 고립패턴의 좌,우측에 위상이 조절된 보조패턴을 삽입하는 것을 특징으로 한다. 이 때, 상기 보조패턴은 무크롬 패턴으로, 고립패턴의 좌,우측의 보조패턴은 각각 그 위상이 서로 반대인 것이 바람직하다.
따라서, 종래의 비해 초점심도를 향상시키고, 시간적, 수율적 손실이 없이 고립패턴을 양호하게 형성할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의해 고립패턴의 좌,우에 위상을 갖는 보조패턴이 삽입된 마스크 레이아웃을 도시한 것이다.
제4도는 상기 본 발명의 마스크 레이아웃을 시뮬리에션한 결과를 도시한 것으로, 빛의 공간적 이미비(aerial image)를 나타낸 것이다.
Claims (3)
- 고립패턴의 좌, 우측에 위상이 조절된 보조패턴을 삽입하는 것을 특징으로 하는 고립패턴 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴은 무크롬 패턴인 것을 특징으로 하는 고립패턴 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 고립패턴의 좌, 우측에 삽입되 보조패턴은 각각 그 위상이 서로 반대인 것을 특징으로 하는 고립패턴 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066960A KR970051930A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 위상을 갖는 보조패턴을 이용한 고립패턴 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066960A KR970051930A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 위상을 갖는 보조패턴을 이용한 고립패턴 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970051930A true KR970051930A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66638089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950066960A KR970051930A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 위상을 갖는 보조패턴을 이용한 고립패턴 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970051930A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100510455B1 (ko) * | 1998-02-12 | 2005-10-24 | 삼성전자주식회사 | 고립패턴형성용마스크패턴과그제조방법및그를이용한고립패턴형성방법 |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950066960A patent/KR970051930A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100510455B1 (ko) * | 1998-02-12 | 2005-10-24 | 삼성전자주식회사 | 고립패턴형성용마스크패턴과그제조방법및그를이용한고립패턴형성방법 |
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