KR970048553A - 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 상태에서 증폭기나 비교기의 전기적 특성을 선별할 수 있는 전기적인 다이 소팅의 검사장치에 관한 것이다.증폭기나 비교기의 전기적 특성을 검사할 수 없는 전기적인 다이 소팅의 검사부(1), 웨이퍼 상태에서 반도체칩의 전기적 특성을 검사하기 위하여 웨이퍼를 올려놓을 수 있는 프로브 카드(2) 및 증폭기 또는 비교기의 전기적 특성만을 전용으로 검사할 수 있는 증폭기 검사부(3)로 구성된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 전기적인 다이 소팅의 검사 장치이다.
Claims (1)
- 반도체 웨이퍼에 상태에서 전기적 특성을 검사하는 전기적인 다이 소팅의 검사 장치에 있어서, 증폭기나 비교기의 전기적 특성을 검사할 수 없는 전기적인 다이 소팅의 검사부; 웨이퍼 상태에서 반도체 칩의 전기적특성을 검사하기 위하여 웨이퍼를 올려놓을 수 있는 프로브 카드; 및 증폭기 또는 비교기의 전기적 특성만을 전용으로 검사할 수 있는 증폭기 검사부를 구비한 것을 특징으로 하는 전기적인 다이 소팅의 검사 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950062028A KR970048553A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950062028A KR970048553A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970048553A true KR970048553A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66620595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950062028A KR970048553A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970048553A (ko) |
-
1995
- 1995-12-28 KR KR1019950062028A patent/KR970048553A/ko not_active Application Discontinuation
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