KR970048553A - 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 - Google Patents

전기적인 다이 소팅의 검사 장치 Download PDF

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KR970048553A
KR970048553A KR1019950062028A KR19950062028A KR970048553A KR 970048553 A KR970048553 A KR 970048553A KR 1019950062028 A KR1019950062028 A KR 1019950062028A KR 19950062028 A KR19950062028 A KR 19950062028A KR 970048553 A KR970048553 A KR 970048553A
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KR
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amplifier
electrical
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electrical characteristics
wafer
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KR1019950062028A
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박태근
연규혁
최병욱
박종규
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 상태에서 증폭기나 비교기의 전기적 특성을 선별할 수 있는 전기적인 다이 소팅의 검사장치에 관한 것이다.증폭기나 비교기의 전기적 특성을 검사할 수 없는 전기적인 다이 소팅의 검사부(1), 웨이퍼 상태에서 반도체칩의 전기적 특성을 검사하기 위하여 웨이퍼를 올려놓을 수 있는 프로브 카드(2) 및 증폭기 또는 비교기의 전기적 특성만을 전용으로 검사할 수 있는 증폭기 검사부(3)로 구성된다.

Description

전기적인 다이 소팅의 검사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 전기적인 다이 소팅의 검사 장치이다.

Claims (1)

  1. 반도체 웨이퍼에 상태에서 전기적 특성을 검사하는 전기적인 다이 소팅의 검사 장치에 있어서, 증폭기나 비교기의 전기적 특성을 검사할 수 없는 전기적인 다이 소팅의 검사부; 웨이퍼 상태에서 반도체 칩의 전기적특성을 검사하기 위하여 웨이퍼를 올려놓을 수 있는 프로브 카드; 및 증폭기 또는 비교기의 전기적 특성만을 전용으로 검사할 수 있는 증폭기 검사부를 구비한 것을 특징으로 하는 전기적인 다이 소팅의 검사 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950062028A 1995-12-28 1995-12-28 전기적인 다이 소팅의 검사 장치 KR970048553A (ko)

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