KR970043336A - 온 박리공정에서 방출되는 폐유기용액의 재생방법 - Google Patents
온 박리공정에서 방출되는 폐유기용액의 재생방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 리드프레임 생산공정에서 은 박리후에 방출되는 폐유기용액을 재생하기 위한 방법에 관한 것이다. 은 박라이외에 박리되는 금속이온들의 착화합물로 인한 은 박리용액의 성능저하를 전기화학적 전기분해법을 사용하여 은 박리기능을 상실한 은 박리폐용액으로 부터 금속이온들을 은 박리용액의 주성분인 유기물의 부반응없이 회수하여 재생하므로써, 폐수처리비용과 환경오염을 줄이고 박리용액의 소비량을 줄이는 것을 목적으로 하며, 또한 연속재생장치인 경우 리드프레임의 은 박리 박리공정의 용액교환을 위한 공정멈춤(Down Time)을 해결하기 위한 것을 목적으로 한다. 본 발명은 전원 공급장치와 전극셀로 구성되어 있으며, 상기 전기 셀은 양극의 백금망전극 또는 백금이 도금된 티타늄전극과 음극의 구리전극들이 교대로 설치되어 있는 재생장치를 사용하여 전압 -3.5~-2.0V, 바람직하게는 -2.7~-2.4V, 재생시간 1~3시간, 바람직하게는 2~3시간 동안 재생하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 재생장치
제2도는 리드프레임 공정에서 은 박리용액의 재생을 위한 장치의 구조도
Claims (4)
- 전원공급장치와 전극셀로 구성되어 있으며, 상기 전기셀은 양극의 백금망전극 또는 백금이 도금된 티타늄 전극과 음극의 구리전극들이 교대로 설치되어 있는 재생장치를 사용하여 전압 -3.5~-2.0V, 바람직하게는 -2.7~-2.4V, 재생시간 1~3시간, 바람직하게는 2~3시간 동안 전기화학적 전기분해법에 의하여 재생하는 것을 특징으로 하는 은 박리공정에서 방출되는 폐유기용액의 재생방법.
- 제1항에 있어서, 폐유기용액이 하기의 일반식을 갖는 화합물을 포함하는 것이며, M(C3H5O3)n (식중 M은 Ag, Pt, Pd, Cu 또는 Ni 일 수 있으며, n은 1 또는 2인 정수이다.) 상기 화합물은 다음과 같은 작용기를 갖는 것인 폐유기용액의 재생방법.
- 제1항에 있어서, 재생장치가 주용기에 연설되어 있어 폐용액이 동시재생되는 것인 폐유기용액의 재생방법.
- 제1항에 있어서, 재생장치가 주용기에 연속된 저장용기에 연설되어 있어 폐용액의 배치재생되는 것인 폐유기용액의 재생방법.
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