KR970030561A - 반도체 제조장치의 온도확인장치 - Google Patents

반도체 제조장치의 온도확인장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체장치의 온도확인장치에 관한 것으로, 반도체 소자 제조공정이 진행되는 로(爐), 상기 로 내부에서 측정된 온도를 설정온도와 비교하여 로 내부의 온도를 제어하기 위한 온도제어부, 상기 로 내부의 온도를 상기 온도제어부로 전달하기 위해 상기 로와 연결되도록 설치된 연결 박스 및 상기 로 내부의 온도를 외부에서 확인하기 위한 외부 모니터링부를 구비하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 연결박스가 상기 온도제어부 및 외부 모니터링부와 동시에 연결되어, 반도체 제조공정 중 상기 온도제어부의 입력을 차단하지 않고 로 내부의 온도를 모니터링 할 수 있는 것을 특징으로 하는 온도 확인장치가 제공된다. 따라서, 온도제어부에서 지시한 온도와 실제공정 진행중의 온도를 동시에 비교할 수 있다.

Description

반도체 제조장치의 온도확인장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치의 온도확인장치를 설명하기 위한 도시한 개략도이다.

Claims (3)

  1. 반도체 소자 제조공정이 진행되는 로(爐), 상기 로 내부에서 측정된 온도를 설정온도와 비교하여 로 내부의 온도를 제어하기 위한 온도제어부, 상기 로 내부의 온도를 상기 온도제어부로 전달하기 위해 상기 로와 연결되도록 설치된 연결 박스 및 상기 로 내부의 온도를 외부에서 확인하기 위한 외부 모니터링부를 구비하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 연결박스가 상기 온도제어부 및 외부 모니터링부와 동시에 연결되어, 반도체 제조공정 중 상기 온도 제어부의 입력을 차단하지 않고 로 내부의 온도를 모니터링 할 수 있는 것을 특징으로 하는 온도 확인장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로 내부에 프로파일 열전대가 설치된 것을 특징으로 하는 온도 확인장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 프로파일 열전대는 상기 연결박스 내에서 상기 온도제어부 및 상기 외부 모니터링부와 직접 연결되는 것을 특징으로 하는 온도 확인장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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