KR970025967A - 잉크-젯 프린트 헤드의 개구부 구조 및 개구부 제조 방법 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야

본 발명은 헤드의 개구부 형상을 불연속의 3개층으로 변형하므로서 외부의 영향 및 내부의 압력 변화와 속도 변화에 영향을 받지 않도록 할 수 있는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조 및 제조 방법에 관한 것이다.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제

본 발명은 개구부의 끝단부에는 드롭(drop)의 변형을 방지할 수 있는 개구부의 구조 및 방법을 제공하는데 있다.

3. 발명의 해결방법의 요지

본 발명은 잉크-젯 프린터 헤드의 가열부의 증기압에 의해 형성된 드롭(drop)을 기록용지상에 분사시키는 복수의 개구부와, 상기 개구부는 드롭(drop)이 외부의 영향에 의해 쉽게 변형되지 않도록 불연속의 3개층으로 형성되며, 상기 개구부와 연결되어 잉크를 각각의 개구부로 안내하는 채널로 구성된 것이다.

4. 발명의 중요한 용도

본 발명은 불연속의 3개층(유선형 또는 오목렌즈 모양) 형상으로 개구부를 구성하므로서 상기 개구부 끝단이 중간보다 단면적이 크고 내부 끝단보다 작게하여 드롭(drop)의 크기를 속도가 가장 빠른 중앙부에서 결정하기 때문에 점진적인 속도 및 압력 변화를 구현할 수 있으며, 또한 드롭(drop)이 개구부의 끝단부 원주와 접하지 않고 중앙부와 접하여 분사됨으로서 상기 드롭(drop)의 직진성을 구현할 수 있으며, 또한 개구부 외각에서 결정되는 드롭(drop)의 형상으로 인해 상기 드롭(drop)의 분할이나 타원형으로 변형되는 문제점과 내부 충격파의 연쇄적 반응에 의한 손상을 방지할 수 있으며, 결과적으로 고해상도의 화상을 형성시킴으로서 사용자로 하여금 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

잉크-젯 프린트 헤드의 개구부 구조 및 개구부 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 본 발명에 따른 잉크-젯 프린터 헤드의 구성을 나타낸 개략도,

제5도는 본 발명의 따른 잉크-젯 프린트 헤드의 개구부가 제작되는 방법을 나타낸 공정도.

Claims (18)

1. 케버티(cavity)상에 열을 가하여 잉크를 가열 및 증발시켜 증기압을 발생시키는 가열부(24)와, 상기 가열부(24)에 에너지를 공급하는 전극부(18)와, 실리콘 재질로 형성된 기판층(22)과 전극부(18)와의 경계면을 절연시키는 저항층(20)과, 상기 전극부(18)와 가열부(24)와 저항층(20)을 잉크와의 화학작용에 의해 발생하는 부식 및 산화를 방지하는 보호막(16)으로 구성되어진 잉크-젯 프린터 헤드에 있어서, 상기 잉크-젯 프린터 헤드의 플레이트(10) 일측면은 상기 가열부(24)의 증기압에 의해 형성된 드롭(drop)(26)을 기록용지상에 분사시키는 복수의 개구부(12)와, 상기 개구부(12)는 드롭(drop)(26)이 외부의 영향에 의해 쉽게 변형되지 않도록 불연속의 3개층으로 형성되며, 상기 개구부(12)와 연결되어 잉크를 각각의 개구부(12)로 안내하는 채널(14)로 구성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 개구부(12)는 급격한 압력 증가 및 급격한 속도 감소를 방지하기 위해 유선형(jet-stream line)으로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
3. 제1항에 있어서, 상기 개구부(12)는 급격한 압력 증가 및 급격한 속도 감소를 방지하기 위해 오목렌즈 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 개구부(12)에서 발생되는 속도 및 압력은 점진적으로 변화되도록 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
5. 제1항에 있어서, 상기 드롭(drop)(26)의 크기는 상기 개구부(12)의 중앙부에서 결정되는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
6. 제1항에 있어서, 상기 개구부(12)는 중앙부에서 속도가 가장 빠르도록 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
7. 제5항에 있어서, 상기 개구부(12)의 각각의 지름은 Y<X<Z의 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
8. 제5항에 있어서, 상기 개구부(12)의 각각의 지름은 Y<Z<X의 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
9. 제5항에 있어서, 상기 개구부(12)의 각각의 지름은 Y<X=Z의 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 구조.
10. 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법에 있어서, 기판(substrate)(28)의 주표면을 가공(polishing) 처리하는 제1과정과, 상기 기판(substrate)(28)의 주표면에 제1감광막(photoresist)(30)을 도모(deposition)하는 제2과정과, 상기 제2과정을 통한 결과물에 마스크(mask)(32)를 설치한 후 노광(34)을 통하여 마스킹(masking) 작업하는 제3과정과, 상기 마스킹(masking) 작업 후 개구부(12)의 하단부를 형성하기 위한 소정의 제1감광막(36)이 형성되는 제4과정과, 상기 기판(substrate)(28)의 주표면과 제1감광막(36)에 전기도금을 통하여 제1도금막(38) 형성하는 제5과정과 상기 제5과정을 통한 결과물에 제2감광막(photoresist)(40)을 도포(depositidn)하는 제6과정과, 상기 제6과정을 통한 결과물의 상단부에 마스크(mask)(32)를 설치한 후 노광(34)을 통하여 마스킹(masking) 작업하는 제7과정과, 상기 마스킹(masking) 작업 후 개구부(12)의 상단부를 형성하기 위한 소정의 제2감광막(42)이 형성되는 제8과정과, 상기 제1도금막(38)의 주표면과 제2감광막(42)에 전기도금을 통하여 제2도금막(44)을 형성하는 제9과정과, 상기 제9과정을 통한 결과물을 식각(etching) 작업을 통하여 제1감광막(36)과 제2강광막(42)을 제거하여 개구부(12)를 형성시키는 제10과정과, 상기 제10과정을 통한 결과물에서 기판(substrate)(28)을 제거하는 제11과정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 제5과정에서 제1도금막(38)은 상기 기판(substrate)(28)의 주표면에만 형성되고 제1감광막(36)의 주면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
12. 제10항에 있어서, 상기 제9과정에서 제2도금막(44)은 상기 제1도금막(38)의 주표면에만 형성되고 제2감광막(42)의 주표면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
13. 제10항에 있어서, 상기 마스킹(masking) 작업은 노광(34)의 각도 및 시간을 조절하여 제1감광막(36)과 제2감광막(42)을 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
14. 제10항에 있어서, 상기 제5과정에서 제1도금막(38)은 니켈(Ni)도금으로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
15. 제10항에 있어서, 상기 제9과정에서 제2도금막(44)은 니켈(Ni)도금으로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
16. 제10항에 있어서, 상기 제9과정에서 제2도금막(44)은 제2감광막(42)의 모서리부에서 작용이 가장 활발하여 완만한 곡선을 형성하면서 전기도금되는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
17. 제10항에 있어서, 상기 제10과정을 통해 형성된 개구부(12)의 표면은 본딩(bonding)과 잉크와의 부식을 방지하기 위해 금(gold) 도금을 하는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.
18. 제10항에 있어서, 상기 제10과정은 습식 식각(etching) 작업을 수행하는 것을 특징으로 하는 잉크-젯 프린터 헤드의 개구부 제조 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.