KR970023631A - 스텝퍼의 인터페이스장치 - Google Patents

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KR970023631A
KR970023631A KR1019950035596A KR19950035596A KR970023631A KR 970023631 A KR970023631 A KR 970023631A KR 1019950035596 A KR1019950035596 A KR 1019950035596A KR 19950035596 A KR19950035596 A KR 19950035596A KR 970023631 A KR970023631 A KR 970023631A
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박순종
이충재
윤종순
박영호
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김광호
삼성전자 주식회사
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
    • G03F7/70533—Controlling abnormal operating mode, e.g. taking account of waiting time, decision to rework or rework flow

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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract

본 발명은 반도체장치의 제조기술중 포토마스킹기술에 의해 패턴을 형성하기 위하여 사용되는 스텝퍼의 주제어부와 챔버사이의 인터페이스장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 챔버유니트의 제1단자(T1)와 제2단자(T2) 사이에 접속되어서 상기 인터페이스장치에서 사용되는 소정의 정전압을 발생하는 전원공급부와; 상기 챔버유니트 제3단자(73)와 제4단자(74)로부터 제공되는 신호를 입력하여 상기 챔버유니트의 작동정지상태 또는 챔버내의 제한온도범위의 초과상태를 검출하여 이상상태신호를 출력하는 이상상태검출부와; 상기 이상상태검출부의 출력에 따라 이상상태표시용 램프를 온/오프를제어하고 그리고 상기 스텝퍼본체유니트의 주제어부로 상기 이상상태검출신호를 제공하는 스위칭부를 포함한다. 따라서,상기 인터페이스장치에 의하면, 스텝퍼시스템이 스텝퍼본체와 챔버유니트를 별도로 제조하여 조립된 것이라 하더라도, 챔버유니트의 이상상태(챔버의 제한온도가 벗어난 경우, 챔버의 작동이 정지된 경우 또는 전원공급이 차단된 경우)가 검출되면 그 챔버유니트의 작동을 정지시킬 수 있어서, 웨이퍼의 불량발생을 방지할 수 있다.

Description

스텝퍼의 인터페이스장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 스텝퍼(stepper)와 챔버(chamber) 사이에 접속되어 있는 본 발명의 인터페이스장치의 구성을 보여주는 개략적 블럭도,
제2도는 제1도에 도시된 본 발명의 인터페이스장치의 상세한 회로도.

Claims (9)

  1. 챔버유니트와 스텝퍼 본체유니트를 구비하고, 그리고 상기 스텝퍼본체유니트는 상기 챔버유니트의 이상상태발생시 상기 챔버유니트의 작동을 제어하는 제어로직을 구비한, 스텝퍼시스템의 인터페이스장치에 있어서, 상기 챔버유니트의 제1단자(T1)와 제2단자(T2) 사이에 접속되어서 상기 인터페이스장치에서 사용되는 소정의 정전압을 발생하는 전원공급부와; 상기 챔버유니트의 제3단자(T3)와 제4단자(T4)로부터 제공되는 신호를 입력하여 상기 챔버유니트의 작동정지상태 또는 챔버내의 제한온도범위의 초과상태를 검출하여 이상상태신호를 출력하는 이상상태 검출부와; 상기 이상상태검출부의 출력에 따라 이상상태표시용 램프를 온/오프를 제어하고 그리고 상기 스텝퍼본체유니트의 주제어부로 상기 이상상태검출신호를 제공하는 스위칭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝퍼 시스템의 인터페이스 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전원공급부는 상기 제1단자에서 제공되는 제1전원을 상기 인터페이스장치에서 사용되는 제2전원으로 변환하는 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2전원은 바이폴라 레벨의 Vcc전원인 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전원공급부는 상기 제1단자와 상기 제2단자 사이에 병렬로 접속되어서 전원공급표시용 발광다이오드를 부가하는 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2단자는 접지단자인 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 이상상태검출부는 상기 제3단자로부터 제공된 신호로부터 상기 챔버유니트의 작동정지 상태신호를 검출하는 제1포토커플러(214)와, 상기 제4단자로부터 제공된 신호로부터 상기 제한온도범위의 초과상태를검출하는 제2포토커플러(216) 및, 상기 제1및 제2포토커플러의 출력신호를 논리조합하여 이상상태검출신호를 출력하는 논리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 논리부는 상기 제2포토커플러의 출력신호를 반전하여 출력하는 제1논리게이트(218)와, 상기 제1포토커플러의 출력신호와 상기 제1논리게이트의 출력을 입력하여 적어도 하나의 입력신호가 이상상태검출신호로서 출력하는 제2논리게이트(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1논리게이트(218)는 두 입력단이 공통적으로 접촉된 낸드게이트인 것을 특징으로하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 스위칭부는 상기 이상상태검출신호의 레벨에 따라 절환되는 릴레이(222)를 포함하는것을 특징으로 하는 스텝퍼시스템의 인터페이스장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950035596A 1995-10-16 1995-10-16 스텝퍼의 인터페이스장치 KR0174619B1 (ko)

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TW086201293U TW354190U (en) 1995-10-16 1996-04-29 An interface apparatus for a stepper
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DE19622639A DE19622639B4 (de) 1995-10-16 1996-06-05 Wafer-Stepper mit einer Schnittstelle
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