KR970022550A - 화학 증폭형 레지스트형 베이스 수지 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 우수한 콘트라스트를 나타낼 수 있는 화학 증폭형 레지스트형 베이스 수지와 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지는 용해억제 그룹으로서 말로노니트릴을 도입하는데, 이러한 베이스 수지는 노광 공정을 거치면서 두 개의 시안기가 가수분해 반응에 의해 두 개의 카르복실기로 전환됨으로써 현상액에 대하여 쉽게 용해될 수 있게 된다. 이러한 이유로 인하여, 베이스 수지의 노광 전, 후의 용해도 차이가 현저해짐에 따라 리소그라피 공정시에 우수한 콘트라스트를 얻을 수 있으며, 형성된 패턴의 변형이 적어 높은 해상도를 얻을 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (4)
- 하기 화학식(1)로 표시되는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지.R은 -CH2OH 또는 -OH이다.
- 하기 일반식(Ⅱ)의 말로노니트릴을 유기용매에 용해시키는 단계; 상기 용액에 상기 말로노니트릴의 2배몰에 해당하는 탄산칼륨을 가하여 반응시킨후, 상기 말로노니트릴과 동일 몰의 클로로메틸스티렌을 서서히 가하는 단계; 상기의 반응 혼합물을 60 내지 80℃에서 10 내지 15시간 동안 반응시켜 하기의 모노머(Ⅱ)을 수득하는 단계; 하기 일반식(Ⅳ)의 모노머를 제조하는 단계; 및 상기 모노머(Ⅲ)과 모노머(Ⅳ)를 1,4-디옥산에 용해시킨 다음, 여기에 중합개시제를 첨가하여 통상의 중합반응에 따라 공중합시킴을 특징으로 하는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지의 제조방법.상기 식에서, R은 상기 정의된 바와 동일하다.
- 제2항에 있어서, 말로노니트릴을 용해시키기 위해 사용되는 유기용매가 아세토니트릴임을 특징으로 하는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 중합개시제가 아조비스이소부티로니트릴(AIBN)인 것을 특징으로 하는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950038998A KR970022550A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 화학 증폭형 레지스트형 베이스 수지 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950038998A KR970022550A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 화학 증폭형 레지스트형 베이스 수지 및 그 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022550A true KR970022550A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66584936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950038998A KR970022550A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 화학 증폭형 레지스트형 베이스 수지 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022550A (ko) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100316974B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316971B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316972B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316973B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
-
1995
- 1995-10-31 KR KR1019950038998A patent/KR970022550A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100316974B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316971B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316972B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
| KR100316973B1 (ko) * | 1999-02-19 | 2001-12-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 화학 증폭 레지스트 수지 |
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