KR970022393A - 개선된 dmd 제어용 다중 바이어스 레벨 리셋 파형 - Google Patents

개선된 dmd 제어용 다중 바이어스 레벨 리셋 파형 Download PDF

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KR970022393A
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로드니 디. 밀러
리차드 오. 게일
할렌 피. 클리브랜드
마크 엘. 버튼
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윌리엄 이. 힐러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
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    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means

Abstract

DMD 공간 광 변조기 (20)은 스위칭 상태 (73) 동안 DMD 미러 (30) 상에 정전 제어를 제어하는 개선된 리셋 파형을 가진다. 동일 상태 천이 동안 미러를 동적으로 고정하기 위해서 미러/요크와 어드레스 전극(26, 28, 50, 52) 사이의 전압차를 유지하기에 충분한 미러 리셋 사이클(T3) 동안 중간 바이어스 레벨이 요크(32) 및 미러 (30)에 제공되는데, 상기 전압차는 반대 상태 천이 동안 힌지 복원력을 극복하기에는 불충분하여 미러는 중립 지역으로 릴리즈되며 바이어스 전압의 재 인가 시에 다른 상태로 포착된다. 천이 바이어스 레벨은 중립 위치로 충분한 간격으로 랜딩 패드(82)로부터 미러/요크가 릴리즈되게 하도록 충분한 시간 주기 (T3) 동안 유지된다. 장치의 동작 신뢰도는 반대 상태 미러 천이 동안 미러의 크로스오버를 방해하지 않으면서 입사광이 동일 상태 미러 천이 동안 디스플레이 어퍼츄어로 탈출하는 것을 방지함에 의해 개선된다. 큰 미러 대 미러 변형은 수용할 만한 타이밍 동작 파라미터 외부로 미러 배열이 떨어지지 않고 견딜 수 있다.

Description

개선된 DMD 제어용 다중 바이어스 레벨 리셋 파형
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 요크 및 미러를 바이어스하는 개선된 리셋 파형의 그래프도로서 천이 바이어스 레벨이 리셋 사이클동안 설정되어 미러/요크는 제1상태가 되지 않으며 동일 상태 천이 동안 고정되나 미러는 반대 상태 천이에 대해 중립쪽으로 릴리즈되는 그래프도.

Claims (8)

  1. a) 재1상태와 제2상태 사이에서 편향 가능한 소자 아래의 제1 및 제2어드레스 전극에 전압을 인가하는 단계로서 제1전압은 상기 제1어드레스 전극으로 인가되고 제2전압은 상기 제2어드레스 전극에 인가되는 단계; b) 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이에 전압차를 생성하도록 상기 편향 가능한 소자에 제3전압을 인가하는 단계; 및 C) 상기 제1전압이 상기 제1어드레스 전극에 유지되는 경우 상기 제1상태로 상기 소자를 유지하기에 충분하지만, 상기 제1어드레스 전극에 대한 상기 제1전압이 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이의 상기 전압차를 줄이도록 변하는 경우 상기 소자를 상기 제1상태로 유지하기에는 불충분한 제4전압을 리셋 사이클 동안 상기 편향 가능한 소자에 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 동작시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서, d) 상기 소자와 상기 제2어드레스 전극 사이의 상기 전압차가 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이의 전압차보다 큰 경우 상기 편향 가능한 소자를 상기 제2상태가 되도록 상기 제4전압을 인가한 이후에 선정 주기 동안 상기 편향 가능한 소자에 상기 제3전압을 재인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 동작시키는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 단계 c) 이전에 상기 편향 가능한 소자의 공진 주파수에 대응하는 주파수로 상기 편향 가능한 소자에 인가된 상기 제3전압을 변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 동작시키는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제4전압은 상기 제3전압과 상기 제1전압 사이의 거의 중간값인 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 동작시키는 방법.
  5. a) 제1상태와 제2상태 사이에서 편향 가능한 소자 아래의 제1어드레스 전극에 전압을 인가하는 단계로서 제1전압이 상기 제1어드레스 전극에 인가되는 단계; b) 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이에 전압차를 생성하도록 상기 편향 가능한 소자에 제3전압을 인가하는 단계; 및 c) 상기 제1전압이 상기 제1어드레스 전극에 유지되는 경우 상기 제1상태로 상기 소자를 유지하기에 충분하지만, 상기 제1어드레스 전극에 대한 상기 제1전압이 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이의 상기 전압차를 줄이도록 변하는 경우 상기 재4전압은 상기 제1상태로 상기 소자를 유지하기에는 불충분한 제4전압을 리셋 사이를 동안 상기 편향 가능한 소자에 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 동작시키는 방법.
  6. a) 제1전압과 제2전압이 각각 인가되는 제1 및 제2어드레스 전극; b) 상기 어드레스 전극에 걸쳐 지지되는 편향 가능한 소자로서, 상기 소자와 상기 어드레스 전극 사이의 전압차의 함수로서 제1상태와 제2상태 사이에서 편향 가능한 상기 편향 가능한 소자; 및 c) 상기 제1상태 또는 상기 제2상태로 상기 소자를 래치하도록 상기 소자에 제3전압을 인가하는 회로로서, 상기 제1어드레스 전극에 대한 상 제1전압이 유지되는 경우 상기 소자를 상기 제1상태로 유지하기에 충분하지만, 상기 제1전압이 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이의 상기 전압차를 줄이도록 변하는 경우 상기 제1상태로 상기 소자를 유지하기에는 불충분한 제4전압을 상기 소자에 선택적으로 인가하는 상기 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 회로는 상기 제4전압을 인가한 이후에 선정 주기 동안 상기 제3전압을 상기 소자에 재인가하여, 상기 소자와 상기 어드레스 전극 사이의 상기 전압차가 상기 소자와 상기 제1어드레스 전극 사이의 상기 전압차보다 큰 경우 상기 소자는 상기 제2상태로 되게 하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기.
  8. 제6항에 있어서, 상기 소자는 상기 어드레스 전극 상의 힌지에 의해 지지되는 마이크로미러인 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960046665A 1995-10-18 1996-10-18 개선된dmd제어용다중바이어스레벨리셋파형을제공하는공간광변조기및그동작방법 KR100412005B1 (ko)

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