KR970016608A - 프로브 테스트(Probe Test)장치 - Google Patents

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KR970016608A
KR970016608A KR1019950029207A KR19950029207A KR970016608A KR 970016608 A KR970016608 A KR 970016608A KR 1019950029207 A KR1019950029207 A KR 1019950029207A KR 19950029207 A KR19950029207 A KR 19950029207A KR 970016608 A KR970016608 A KR 970016608A
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이강복
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문정환
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
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    • H01L22/14—Measuring as part of the manufacturing process for electrical parameters, e.g. resistance, deep-levels, CV, diffusions by electrical means

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Abstract

본 발명은 프로브 테스트장치에 관한 것으로서, 별도의 광학장치없이 한번만에 정확한 검침을 하여 패드의 손상 및 프로브팁 또는 프로브 카드의 마모를 최대한 줄이고, 작업시간의 단축 및 정밀한 측정과 원가절감을 하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 위해 본 발명은 P-형, N-웰로 이루어진 다이오드구조를 가진 패드와, 상기 패드와의 반복적인 접촉을 하는 프로브팁 또는 프로브카드와, 상기 패드와 프로브팁 또는 프로브카드가 접촉하게 되면 전원을 인가하는 전원공급장치와, 상기 프로브팁 또는 프로브카드의 접촉신호라인을 통해 동작되는 스위치 및 발광다이오드등의 외부 출력수단부로 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 테스트(Prove Test)장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (a)는 본 발명에 따른 프로브 테스트장치도, (b)는 본 발명에 따른 패드의 구조도, (c)는 본발명에 따른 프로브 데트스트장치를 이용한 패드측정을 나타낸 도면,
제3도는 본 발명에 따른 패드의 다른 구조도,
제4도는 본 발명에 따른 패드수가 많을 경우의 프로브 테스트 회로도.

Claims (1)

  1. P-형, N-웰로 이루어진 다이오드구조를 가진 패드와, 상기 패드와의 반복적인 접촉을 하는 프로브팁 또는 프로브카드와, 상기 패드와 프로브팁 또는 프로브카드가 접촉하게 되면 전원을 인가하는 전원공급장치와, 상기 프로브팁 또는 프로브카드의 접촉신호라인을 통해 동작되는 스우치 및 발광다이오드등의 외부 출력수단부로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 테스트장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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