KR970013168A - 웨이퍼 보관/수송방법 및 보관된 웨이퍼의 유기물 측정방법 - Google Patents

웨이퍼 보관/수송방법 및 보관된 웨이퍼의 유기물 측정방법 Download PDF

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원본미기재
신에쯔 한도타이 콤파니 리미티드
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Abstract

본 발명은 폴리프로필렌 및 기타 유기수지로 형성된 웨이퍼 수납 케이스내에 웨이퍼를 보관하는 경우, 상기 케이스내의 온도를 -50℃∼15℃, 바람직하게는 -50℃∼10℃로 설정하여 보관함으로써, 웨이퍼 보관도중 부착되는 유기물이 실질적으로 증가하지 않음을 실험에 의해 발견하였으며, 나아가 웨이퍼 1 표면에 순수(pure water) 물방울 10 일정량을 웨이퍼에 적하한 후, 상기 물방울 10, 웨이퍼 1과 기체의 3가지 상이 접촉하는 경계면으로부터 물방울 10 정점으로의 직선과 웨이퍼 1이 이루는 각 α를 측정하여 θ = 2α로 접촉각 θ를 구하고 상기 접촉각 θ로 부터 웨이퍼에 부착된 유기물을 측정하는 것이다.

Description

웨이퍼 보관/수송방법 및 웨이퍼의 유기물 측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 각 보관온도에서 웨이퍼 1의 접촉각의 보관시간 의존성을 나타내는 그래프이며,
제2도는 각 보관은 도에서 웨이퍼1을 일정시간 보관한 후의 접촉각을 나타내는 그래프이며,
제3도는 웨이퍼1에 부착된 유기물의 양을 측정하는 접촉각측정법을 나타내는 것으로 3a도는 실제측정법을 그리고 3b도는 기본원리를 나타내는 도면이며,
제4도는 본 발명에 이용되는 웨이퍼 케이스의 분해사시도이다.

Claims (5)

  1. 유기수지로 형성된 웨이퍼 수납케이스내에 웨이퍼를 보관하여 웨이퍼를 보관 또는 수송하는 방법에 있어서, 상기 케이스내의 온도를 -50℃∼15℃로 설정하여 보관함을 특징으로 하는 웨이퍼 보관/수송방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 케이스내의 온도를 -50℃∼10℃로 설정하여 보관함을 특징으로 하는 웨이퍼 보관/수송방법.
  3. 제 1항 혹은 제 2항에 있어서, 상기 보관되는 웨이퍼는 유리면 연마/세정 후 패턴화되지 않은 웨이퍼임을 특징으로 하는 웨이퍼 보관/수송방법.
  4. 제 1항 혹은 제 2항에 있어서, 상기 보관되는 웨이퍼는 적층성장/세정후 보관되는 웨이퍼임을 특징으로 하는 웨이퍼 보관/수송방법.
  5. 유기수지로 형성된 웨이퍼수납 케이스내에 보관되는 웨이퍼에 부착된 유기물의 양을 측정하는 방법에 있어서, 웨이퍼표면에 일정량의 수순 물방울을 웨이퍼에 적가한 후, 상기 물방울, 웨이퍼 와 기체의 3가지 상이 접촉하는 경계면으로부터 물방울 정점으로의 직선과 웨이퍼에 의해 이루어진 각 α를 측정하여 θ = 2α로 접촉각을 구하고 상기 θ로 부터 웨이퍼에 부착된 유기물의 양을 평가함을 특징으로 하는 웨이퍼에 부착된의 유기물 측정방법.
KR1019960036168A 1995-08-30 1996-08-28 웨이퍼 보관/수송방법 및 보관된 웨이퍼의 유기물 측정방법 KR970013168A (ko)

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