JPS6348439A - 角度測定装置 - Google Patents
角度測定装置Info
- Publication number
- JPS6348439A JPS6348439A JP19425386A JP19425386A JPS6348439A JP S6348439 A JPS6348439 A JP S6348439A JP 19425386 A JP19425386 A JP 19425386A JP 19425386 A JP19425386 A JP 19425386A JP S6348439 A JPS6348439 A JP S6348439A
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- Japan
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- angle
- protractor
- silicon wafer
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は第１の物質の表面に液滴状の第２の物質を置
い友ときの当該物質が成す角度を測定する角度測定装置
に関するものである。
い友ときの当該物質が成す角度を測定する角度測定装置
に関するものである。
第３図は角度測定装置として例えば従来の固体−液体の
接触角を測定する接触角測定装置を示す縦断面図である
。同図において、ＩＦｉ光源、２は光束、３Ｆｉ液体、
４は固体、５ｆｉ対物レンズ、６は分度器、１は固定ス
ケール、８Ｆｉ可動スケール、９は接眼レンズ、１０は
人間の目、１１はステージである。
接触角を測定する接触角測定装置を示す縦断面図である
。同図において、ＩＦｉ光源、２は光束、３Ｆｉ液体、
４は固体、５ｆｉ対物レンズ、６は分度器、１は固定ス
ケール、８Ｆｉ可動スケール、９は接眼レンズ、１０は
人間の目、１１はステージである。
この固体−液体の接触角測定方法を説明すると、光源１
から出友光２は、液体３の表面で反射する光と、反射し
ない光とがあり、液体３の表面に照射され次光は液体３
の表面による反射で接眼レンズ９まで到達しない。ま九
、液体３に照射されない光は、そのまま接眼レンズ９に
到達する。その結果、８３図に示すように人間の目１０
に映る焦点のあった画像では液体３の断面形状のみで欠
けｔ液滴正立像となり、残りは明視野となり、液体断面
が暗いコントラストを映し出している。
から出友光２は、液体３の表面で反射する光と、反射し
ない光とがあり、液体３の表面に照射され次光は液体３
の表面による反射で接眼レンズ９まで到達しない。ま九
、液体３に照射されない光は、そのまま接眼レンズ９に
到達する。その結果、８３図に示すように人間の目１０
に映る焦点のあった画像では液体３の断面形状のみで欠
けｔ液滴正立像となり、残りは明視野となり、液体断面
が暗いコントラストを映し出している。
第４図は接眼レンズをのぞいて接触角全測定している状
態を示す平面図である。同図において、１３は前記液体
３の液滴正立像、１４は接触角、１５は固定スケール７
と可動スケール８とが交差している基準点である。次に
動作について説明する。まず、ｗＥＢ図に示すステージ
１１を動かし、液滴正立像１３の両端を固定スケール７
１Ｃ乗せ、液滴正立像１３の一端が基準点１５に一致す
るように調整する。次に基準点１５を中心に回転動作が
行なえる可動スケール８を基準点１５から液滴正立像１
３の輪郭に乗る工うに調整し几後、分度器６と可動スケ
ール８とから固体−液体の接触角１４を測定する。
態を示す平面図である。同図において、１３は前記液体
３の液滴正立像、１４は接触角、１５は固定スケール７
と可動スケール８とが交差している基準点である。次に
動作について説明する。まず、ｗＥＢ図に示すステージ
１１を動かし、液滴正立像１３の両端を固定スケール７
１Ｃ乗せ、液滴正立像１３の一端が基準点１５に一致す
るように調整する。次に基準点１５を中心に回転動作が
行なえる可動スケール８を基準点１５から液滴正立像１
３の輪郭に乗る工うに調整し几後、分度器６と可動スケ
ール８とから固体−液体の接触角１４を測定する。
従来の接触角測定装置は、可動スケール８を基準点１５
とから液滴正立像１３の輪郭の一部まで一致させる操作
を人間の操作にニジ行なわなくてはならない几め、個人
差による測定基準の差が接触角測定において測定値のバ
ラツキが出やすくなる問題点があった。
とから液滴正立像１３の輪郭の一部まで一致させる操作
を人間の操作にニジ行なわなくてはならない几め、個人
差による測定基準の差が接触角測定において測定値のバ
ラツキが出やすくなる問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消する九めになされ
友もので個人差による測定値のバラツキをなくすことの
できる角度測定装置を得ることを目的とする。
友もので個人差による測定値のバラツキをなくすことの
できる角度測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る角度測定装置は、第１の物質の表面に配
置され次第２の物質に対して第１の物質の表面に平行な
ビーム光を照射する光源と、第２の物質で反射してなす
光路を検出する分度器とを設は友ものである。
置され次第２の物質に対して第１の物質の表面に平行な
ビーム光を照射する光源と、第２の物質で反射してなす
光路を検出する分度器とを設は友ものである。
この発明における角度測定装置は、光源にニジＩＥＩの
物質表面に対して平行にビーム光を照射し、ｔａ２の物
質の表面で反射させ几ときの反射光路を分度器で検出す
ることにニジ、配置され次第２の物質とでなされる接触
角度を測定者にかかわらず正確に測定できる。
物質表面に対して平行にビーム光を照射し、ｔａ２の物
質の表面で反射させ几ときの反射光路を分度器で検出す
ることにニジ、配置され次第２の物質とでなされる接触
角度を測定者にかかわらず正確に測定できる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は角度測定装置として例えば水−゛シリコンウェハの
接触角を測定する凄触角測定ｆｉ装置の側面図である。
図は角度測定装置として例えば水−゛シリコンウェハの
接触角を測定する凄触角測定ｆｉ装置の側面図である。
図において、１６はＨｅ−Ｎｅレーザー発振器、１Ｔは
Ｈｅ−Ｎｅレーザー光、１８は水滴、１９は鏡面研磨さ
れたシリコンウェハ、２０は水−シリコンウェハの接触
角、２１は測定される接触角全表示するために設置した
分度器である。第２図はこの装置を用いたときの光源か
ら反射光までの光の光路と水−シリコンウェハの接触角
との関係を示し友ものである。同図において、２２は水
滴表面での反射角、２３は接触角２０の光 同位角、２４は水滴中を直進するレーザ１反射光がなす
角、２５ ｆｉ ）（ｅ−Ｎｅレーザーの水滴表面への
入射角である。第１図において、ステージ１１を移動す
ることによりＨｅ−Ｎｅレーザー光１７がシリコンウェ
ハ１９の表面に対して水平かっ水−シリコンウェハとで
形成される接触面の中心を通るように設定し友場合、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザー光ＩＴは水滴１８の表面にニジ、第２
図の工つな光路をなす。接触角２０は第２図で入射角２
５２反射角２２お工び同位角２３と等しくなるから、水
滴中を通過するレーザー光と反射光とがなす角２４は接
触角２０の２倍となる。
Ｈｅ−Ｎｅレーザー光、１８は水滴、１９は鏡面研磨さ
れたシリコンウェハ、２０は水−シリコンウェハの接触
角、２１は測定される接触角全表示するために設置した
分度器である。第２図はこの装置を用いたときの光源か
ら反射光までの光の光路と水−シリコンウェハの接触角
との関係を示し友ものである。同図において、２２は水
滴表面での反射角、２３は接触角２０の光 同位角、２４は水滴中を直進するレーザ１反射光がなす
角、２５ ｆｉ ）（ｅ−Ｎｅレーザーの水滴表面への
入射角である。第１図において、ステージ１１を移動す
ることによりＨｅ−Ｎｅレーザー光１７がシリコンウェ
ハ１９の表面に対して水平かっ水−シリコンウェハとで
形成される接触面の中心を通るように設定し友場合、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザー光ＩＴは水滴１８の表面にニジ、第２
図の工つな光路をなす。接触角２０は第２図で入射角２
５２反射角２２お工び同位角２３と等しくなるから、水
滴中を通過するレーザー光と反射光とがなす角２４は接
触角２０の２倍となる。
この定め、第２図の反射点１５を中心とする分度器を設
定し：うとすると、反射光から接触角を決定する分度器
２１は第１図の工うに通常の分度器の角度を２分の１で
示す分度器が必要である。
定し：うとすると、反射光から接触角を決定する分度器
２１は第１図の工うに通常の分度器の角度を２分の１で
示す分度器が必要である。
この分度器２１を反射点１５ｖｉ−中心とし、かっ！（
ｅ−Ｎｅレーザー発振器１６から出されるＨｅ−Ｎｅレ
ーザー光１７の光１２１−基準線となるように第１図に
示す如く設定すれば、Ｈｅ−Ｎｅレーザー発振器１６か
ら照射され７’１Ｈｅ−Ｎｅレーザー光１Ｔの反射光が
分度器２１と交わるところの分度器の値はシリコンウェ
ハー水の接触角の値を示している。
ｅ−Ｎｅレーザー発振器１６から出されるＨｅ−Ｎｅレ
ーザー光１７の光１２１−基準線となるように第１図に
示す如く設定すれば、Ｈｅ−Ｎｅレーザー発振器１６か
ら照射され７’１Ｈｅ−Ｎｅレーザー光１Ｔの反射光が
分度器２１と交わるところの分度器の値はシリコンウェ
ハー水の接触角の値を示している。
ま几、上記実施例でに、第１の物質と第２の物質とをシ
リコンウェハー水を例にとり、固体−液体の場合の接触
角測定について説明し九が、′ｒＬ堵Ｈコ舖〜ｔでもよ
く、上記実施例と同様の効果全発揮する。
リコンウェハー水を例にとり、固体−液体の場合の接触
角測定について説明し九が、′ｒＬ堵Ｈコ舖〜ｔでもよ
く、上記実施例と同様の効果全発揮する。
以上の工うにこの発明に工れば、光源から照射され次第
１の物質に平行なビーム光と、このビーム光を第２の物
質の表面で反射させてその反射光との光路を分度器で検
知するように構成し九ので、接触角測定者による接触角
のバラツキをなくし、精度の高い測定が得られる効果が
ある。
１の物質に平行なビーム光と、このビーム光を第２の物
質の表面で反射させてその反射光との光路を分度器で検
知するように構成し九ので、接触角測定者による接触角
のバラツキをなくし、精度の高い測定が得られる効果が
ある。
ＩＥＩ図はこの発明の一実施例による接触角測定装置を
示す側面図、第２図は光源エリ出された光と反射光との
接触角の関係を示す図、第３図は従来の接触角測定装置
の縦断面図、第４図は接眼レンズ全のぞい友ときの画像
を示す図である。 １６・・・・Ｈｅ−Ｍｅレーザー発振器、１Ｔ・・・・
Ｈｅ−Ｎｃレーザ光、１８・・・・水滴、１９・・・・
シリコンウニノー、２０・・・・水−シリコンウニノー
の接触角、２１・・・・分度器。
示す側面図、第２図は光源エリ出された光と反射光との
接触角の関係を示す図、第３図は従来の接触角測定装置
の縦断面図、第４図は接眼レンズ全のぞい友ときの画像
を示す図である。 １６・・・・Ｈｅ−Ｍｅレーザー発振器、１Ｔ・・・・
Ｈｅ−Ｎｃレーザ光、１８・・・・水滴、１９・・・・
シリコンウニノー、２０・・・・水−シリコンウニノー
の接触角、２１・・・・分度器。
Claims (1)
- 第１の物質の表面に配置された第２の物質に対して前記
第１の物質の表面に平行なビーム光を照射する光源と、
前記第２の物質で反射してなす光路を検出する分度器と
を備え、第１の物質と第２の物質とがなす角度を測定す
ることを特徴とした角度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19425386A JPS6348439A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | 角度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19425386A JPS6348439A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | 角度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348439A true JPS6348439A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16321540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19425386A Pending JPS6348439A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | 角度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348439A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762481A2 (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-12 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method of storing and transporting wafers and method of determining the amount of organic materials attached to stored wafers |
| WO2004027401A1 (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-01 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Multi-angle protractor for evaluating the optical properties of a surface containing metallic particles |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP19425386A patent/JPS6348439A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762481A2 (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-12 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method of storing and transporting wafers and method of determining the amount of organic materials attached to stored wafers |
| EP0762481A3 (en) * | 1995-08-30 | 1997-08-13 | Shinetsu Handotai Kk | Method for transporting and storing wafers and method for determining the quantity of organic materials attached to the stored wafers |
| WO2004027401A1 (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-01 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Multi-angle protractor for evaluating the optical properties of a surface containing metallic particles |
| US6891617B2 (en) | 2002-09-18 | 2005-05-10 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Aspecular multi-angle protractor for evaluating a surface containing metallic particles |
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