KR970013079A - 개선된 에지연마장치 - Google Patents
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Abstract
에지연마장치(Edge Grinding Wheel)에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 에지연마 공정시 발생하는 스트레스를 최소화하는 에지연마장치에 관한 것으로, 접합 SOI(silicon on insulator)에 에지연마공정을 위한 웨이퍼 연마장치는, 상기 웨이퍼연마장치내에서 상호 평행하도록 형성된 제1 및 제2그루브, 상기 제1 및 제2그루부의 상면단부 및 상기 제2그루부의 하부에 형성되어 있으며, 연마될 웨이퍼와 맞물리도록 설계된 제1, 제2 및 제3연마면 및 상기 제3연마면 하부에 제3그루브를 형성하도록 설치된 그루브지지부를 구비한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 개선된 에지연마장치를 나타낸다.
Claims (2)
- 접합 SOI(silicon on insulator)의 에지연마공정을 위한 웨이퍼 연마장치에 있어서, 상기 웨이퍼연마장치내에서 상호 평행하도록 형성된 제1 및 제2그루브, 상기 제1 및 제2그루부의 상면단부 및 상기 제2그루부의 하부에 형성되어 있으며, 연마될 웨이퍼와 맞물리도록 설계된 제1, 제2 및 제3연마면 및 상기 제3연마년 하부에 제3그루브를 형성하도록 설치된 그루브지지부를 구비함을 특징으로 하는 웨이퍼 에지연마장치.
- 상호 평행하도록 형성된 제1 및 제2그루브, 상기 제1 및 제2그루브의 상면단부 및 상기 제2그루부의 하부에 형성되어 있으며, 연마될 웨이퍼와 맞물리도록 설계된 제1, 제2 및 제3연마면을 가지는 반도체장치에 있어서, 상기 제1그루브 및 제2그루브내로 웨이퍼의 연마공정시에 사용되는 냉각제를 공급하는 제1노즐 및 제2노즐을 통해 상기 제3연마면으로 냉각제가 계속적으로 공급되게 하는 제2노즐을 가져, 접합 SOI(silicon on insulator)의 에지연마공정함을 특징으로 하는 웨이퍼연마장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950025723A KR970013079A (ko) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | 개선된 에지연마장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950025723A KR970013079A (ko) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | 개선된 에지연마장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970013079A true KR970013079A (ko) | 1997-03-29 |
Family
ID=66595517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950025723A KR970013079A (ko) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | 개선된 에지연마장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970013079A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100845967B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2008-07-11 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 연삭방법 및 연삭휠 |
-
1995
- 1995-08-21 KR KR1019950025723A patent/KR970013079A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100845967B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2008-07-11 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 연삭방법 및 연삭휠 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |