Claims (5)
도핑된 실리콘 기판 상부에 형성된 절연막과, 상기 절연막 상부에 형성된 각기 다른 병원 인식이 가능한 고분자 수에 해당하는 드레인 전극 및 소오스 전극과 상기 각각의 드레인 전극 및 소오스 전극 상부에 형성되어 물리적 특성변화를 전기적 신호로 변화시켜 주는 전도성 소분자 박막과 상기 각각의 전도성 소분자 박막상부에 형성되는 각기 다른 병원균을 이식하는 각각의 병원균이 인식가능한 고분자로 구성되는 멀티-전계효과 트랜지스터를 포함하는 다종 병원균 측정장치.An insulating film formed on the doped silicon substrate, a drain electrode and a source electrode corresponding to the number of different hospital identifiable polymers formed on the insulating film, and formed on the respective drain electrode and the source electrode to change physical characteristics. And a multi-field effect transistor comprising a conductive small molecule thin film which is transformed into a thin film and polymers recognizable by each pathogen for implanting different pathogens formed on the conductive small molecule thin films.
도핑된 실리콘 기판 상부에 절연막을 형성하는 단계와, 상기 절연막 상부에 알루미늄이나 금을 코팅하는 단계와, 상기 절연막 상부에 코팅된 금 또는 알루미늄을 리소그라피공정으로 인터디지트 구조의 드레인 전극과 소오스 전극을 소요되는 병원균 인식가능한 고분자의 수만큼 형성하는 단계와, 상기 인터디지트 구조의 각각의 드레인 전극과 소오스 전극 상부에 전도성 고분자를 코팅하는 단계와, 상기 각각의 전도성 고분자 상부에 마스크 패턴을 이용하여 병원균들이 인식사능한 특정구분자들을 코팅하여 멸티-전계효과 트랜지스터를 제조하는 단계와, 상기 멀티-전계효과 트랜지스터를 고정시키는 프로텍터와, 상기 트랜지스터를 대기로부터 보호하는 패케이지와, 콘트롤러에 장착할 수 있는 핀으로 구성된 침에 장착하여 병원균 측정 바이오센서를 제조하는 단계와, 상기 병원균 측정 바이오센서를 콘트롤러에 장착하는 단계를 포함하는 다종병원균 측정장치의 제조방법.Forming an insulating film on the doped silicon substrate, coating aluminum or gold on the insulating film, and applying a gold or aluminum coated on the insulating film to a drain electrode and a source electrode having an interdigit structure by a lithography process. Forming as many pathogen-recognized polymers, coating conductive polymers on each of the drain electrode and the source electrode of the interdigit structure, and pathogens are recognized by using a mask pattern on each conductive polymer. Coating an available specific separator to produce an annealing field effect transistor; a protector for holding the multi-field effect transistor; a package for protecting the transistor from the atmosphere; and a pin that can be mounted to a controller. Biosen by measuring pathogens in saliva Step and, for producing a method of producing a multiple-kind pathogens measurement device including the step of mounting the biosensor to a measurement pathogens controller.
제1항에 있어서, 상기 멀티-전계효과 트랜지스터가 내장되어 원칩 형태의 다종 병원균 측정 바이오센서를 구성하는 것을 특징으로 하는 다종 병원균 측정장치.The multi-pathogen measuring apparatus of claim 1, wherein the multi-field effect transistor is embedded to configure a multi-pathogen measuring biosensor in a one-chip form.
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 다종 병원균 측정 바이오센서를 콘트롤러에 장착하여 다종의 병원균을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 다종 병원균 측정장치.The multi-pathogen measuring apparatus according to claim 1 or 3, wherein the multi-pathogen measuring biosensor is mounted on a controller to measure a variety of pathogens.
제2항에 있어서, 상기 각각의 드레인 전극과 소오스 전극들은 두께가 0.1~1㎛이고 상호 분리간격이 1~10㎛인 것을 특징으로 한는 다종 병원균 측정장치의 제조방법.The method of claim 2, wherein each of the drain electrodes and the source electrodes has a thickness of 0.1 μm to 1 μm and a separation interval of 1 μm to 10 μm.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.