KR970010667B1 - 체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 - Google Patents
체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용없음
Description
제1도는 종래 기술에 의한 체임버사이를 격리하는 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도
제2도는 본 발명에 의한 체임버사이를 격리하는 경사 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 경사 슬릿도어 4 : 몸체
6 : 힌지 8 : 스플라인 너트
10 : 스플라인 새프트 12 : 벨로우즈
14 : 에어실린더 16 : 서포트 하우징
18 : 로드-락 체임버 20 : 공정 체임버
22 : 슬릿도어 24 : 새프트
본 발명은 반도체 장비의 일부인 체임버(chamber)사이를 격리하는 슬릿도어(slit door) 장치에 관한 것으로, 특히 슬릿도어를 소정의 각도로 형성하여 실링(sealing) 효과를 향상시키는 경사슬릿도어 장치에 관한 것이다.
종래의 슬릿도어 장치를 제1도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 제1도는 종래 기술에 의한 체임버사이를 격리하는 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도이며, 도면에서 18은 로드-락 체임버, 20은 공정 체임버, 22는 슬릿도어, 24는 새프트를 각각 나타낸다. 일반적으로 웨이퍼 공정 중에는 공정 체임버(20)가 외부의 영향을 받기 쉬워 공정이 변할 수 있기 때문에 로드-락(load-lock) 체임버(18)와 격리하여야 한다. 종래에는 회전에 의한 개폐식 슬릿도어 장치를 채용하여 웨이퍼를 이송할 때는 새프트(24)를 중심으로 회전시켜 슬릿도어(22)를 개방하며 반도체 웨이퍼에 공정을 행할 때에는 슬릿도어(22)를 몸체(4)에 가압하여 밀페시킨다. 그러나, 종래의 슬릿도어 장치는 새프트(24)에서 떨어진 끝부분에서 체임버사이의 압력차로 인하여 미세하게 개방되어 실링효과가 떨어지는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 에어 실린더에 의하여 전진과 후진을 할 수 있는 경사지게 형성된 슬릿도어 장치를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 소정의 각도를 갖고 설치되는 경사 슬릿도어(slit door), 상기 슬릿도어와 밀착되게 접촉할 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형 돌기와 단차가 형성된 몸체; 힌지에 의하여 상기 슬릿도어와 연결되는 스플라인 너트(spline nut); 상기 스플라인 너트 내부에 연결되어 동력을 전달받아 상기 슬릿도어를 전진, 후진시키는 스플라인 새프트(spline shaft); 상기 스플라인 너트의 외부를 감싸는 벨로우즈(bellows); 상기 스플라인 새프트와 연결되어 도어슬릿을 전진, 후진시키는 에어실린더(air cylinder), 및 상기 몸체와 결합하여 실링(sealing)을 유지하면서 경사 슬릿도어 장치를 지지하는 서포트 하우징을 포함하며 구성되는 것을 특징으로 하는 경사 슬릿도어 장치를 제공한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 싱세히 설명하기로 한다. 제2도는 본 발명에 의한 체임버를 격리하는 경사 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도이며, 도면에서 2는 경사 슬릿도어, 4는 몸체, 6은 힌지, 8은 스플라인 너트, 10은 스플라인 새프트, 12는 벨로우즈, 14는 에어 실린더, 16은 서포트 하우징, 18은 로드-락(10ad-10ck)체임버, 20은 공정 체임버를 각각 나타낸다.
로드-락 체임버(18)와 공정 체임버(20) 사이에 경사 슬릿도어(2)면이 밀착될 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형의 돌기와 단차를 몸체에 형성하고 경사 슬릿도어 장치 전체를 소정의 각도로 설치하고 서포트 하우징(support housing)(16)에 의하여 지지하고 밀폐시킨다. 경사 슬릿도어(2)는 힌지(hinge)(6)에 연결되며, 힌지(6)는 스플라인 너트(spline nut)(8)에 연결되어 그 내부에 스플라인 새프트(spline shaft)(10)를 설치하고, 스플라인 너트(8) 외부를 감싸면서 경사 슬릿도어(2)의 전진과 후진에 따라 주름이 접혔다 펴지는 벨로우즈(bellows)(12)와 연결되며, 서포트 하우징(support housing)(16)에 연결된 에어실린더(14)(air cylinder)에 연결한다. 웨이퍼를 이송할 때는 에어 실린더(air cylinder)(14)에 의하여 스플라인 새프트(spline shaft)(10)를 이동하여 경사 슬릿도어(2)를 후진시켜 웨이퍼가 이송할 수 있는 공간을 확보하며, 이송된 웨이퍼에 반도체 제조공정을 가할 때에는 에어 실린더(14)에 의하여 구동된 스플라인 새프트(10)를 전진시켜 경사 슬릿도어(2)를 몸체(4)에 밀착함으로써 밀폐시켜 로드-락 체임버(18)와 공정 체임버(20)를 격리시킨다. 경사 슬릿도어(2)에 의한 밀폐작용은 에어 실린더(14)에 의하여 큰 동력이 소요됨이 없이 완전하게 이루어진다.
이상에서 언급한 바와 같은 본 발명은 도어슬릿 장치를 경사지게 형성함으로써 웨이퍼 이송공간을 확보하면서 큰 동력을 필요함이 없이 체임버사이의 실링을 유지할 수 있는 우수한 효과가 있다.
Claims (1)
- 체임버사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치에 있어서, 소정의 각도를 갖고 설치되는 경사 슬릿도어(slit door)(2); 상기 슬릿도어와 밀착되게 접촉할 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형 돌기와 단차가 형성된 몸체(4), 힌지(6)에 의하여 상기 슬릿도어와 연결되는 스플라인 너트(spline nut)(8); 상기 스플 라인 너트 내부에 연결되어 동력을 전달받아 상기 슬릿도어를 전진, 후진시키는 스플라인 새프트(spline shaft) (10), 상기 스플라인 너트의 외부를 감싸는 벨로우즈(bellows)(12), 상기 스플라인 새프트와 연결되어 도어슬릿을 전진, 후진시키는 에어 실린더(air cylinder)(14); 및 상기 몸체와 결합하여 실링(sealing)을 유지하면서 경사 슬릿도어 장치를 지지하는 서포트 하우징(support housing)(16)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 경사 슬릿도어 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930030874A KR970010667B1 (ko) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930030874A KR970010667B1 (ko) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | 체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950021316A KR950021316A (ko) | 1995-07-26 |
| KR970010667B1 true KR970010667B1 (ko) | 1997-06-30 |
Family
ID=19373848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970010667B1 (ko) |
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1993
- 1993-12-29 KR KR1019930030874A patent/KR970010667B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950021316A (ko) | 1995-07-26 |
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