KR950021316A - 체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 - Google Patents

체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 Download PDF

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KR950021316A
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Abstract

본 발명은 반도체 장비의 일부인 체임버(chamber)사이를 격리하는 슬릿도어(slit door) 장치에 관한 것으로, 특히 슬릿도어를 소정의 각도로 형성하여 실링 (sealing)효과를 향상시키는 경사 슬릿도어 장치에 관한 것으로, 소정의 각도를 갖고 설치되는 겅사 슬릿도어(Slit door)(2); 상기 슬릿도어와 밀착되게 접촉할 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형 돌기와 단차가 형성된 몸체(4); 힌지(6)에 의하여 상기 슬릿도어와 연결하는 스플라인 너트(spline nut)(8); 상기 스플라인 너트 내부에 연결되어 동력을 전달받아 상기 슬릿도어를 전진, 후진시키는 스플라인 새프트(spline shaft)(10); 상기 스플라인 너트의 외부를 감싸는 벨로우즈(bellows)(12); 상기 스플라인새프트와 연결되어 도어슬릿을 전진, 후진시키는 에어 실린더 (air cylinder)(14); 및 상기 몸체와 결합하여 실링(seallng)을 유지하면서 경사 슬릿도어 장치를 지지하는 서포트 하우징(support housing)(16)을 포함하여 구성 되는 것을 특징으로 한다,

Description

체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 체임버사이를 격리하는 경사 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도

Claims (1)

  1. 체임버사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치에 있어서, 소정의 각도를 갖고 설치되는 경사 슬릿도어(slit door)(2); 상기 슬릿도어와 밀착되게 접촉할 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형 돌기와 단차가 형성된 몸체(4), 힌지(6)에 의하여 상기 슬릿도어와 연결되는 스플라인 너트(spline nut)(8); 상기 스플 라인 너트 내부에 연결되어 동력을 전달받아 상기 슬릿도어를 전진, 후진시키는 스플라인 새프트(spline shaft) (10), 상기 스플라인 너트의 외부를 감싸는 벨로우즈(bellows)(12), 상기 스플라인 새프트와 연결되어 도어슬릿을 전진, 후진시키는 에어 실린더(air cylinder)(14); 및 상기 몸체와 결합하여 실링(sealing)을 유지하면서 경사 슬릿도어 장치를 지지하는 서포트 하우징(support housing)(16)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 경사 슬릿도어 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930030874A 1993-12-29 1993-12-29 체임버(chamber) 사이를 격리하는 경사 슬릿도어(slit door) 장치 KR970010667B1 (ko)

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