KR970008338A - 자외선 조사장치 - Google Patents

자외선 조사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR970008338A
KR970008338A KR1019950022942A KR19950022942A KR970008338A KR 970008338 A KR970008338 A KR 970008338A KR 1019950022942 A KR1019950022942 A KR 1019950022942A KR 19950022942 A KR19950022942 A KR 19950022942A KR 970008338 A KR970008338 A KR 970008338A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pinion gear
wafer
light source
vacuum chuck
ultraviolet
Prior art date
Application number
KR1019950022942A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0144878B1 (ko
Inventor
고균희
박인협
정영철
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019950022942A priority Critical patent/KR0144878B1/ko
Priority to JP09703096A priority patent/JP3859259B2/ja
Priority to US08/679,084 priority patent/US5872365A/en
Publication of KR970008338A publication Critical patent/KR970008338A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0144878B1 publication Critical patent/KR0144878B1/ko
Priority to JP2006222028A priority patent/JP2006352155A/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

자외선 조사장치가 개시되어 있다. 본 발명은 챔버 내에 설치된 광원, 상기 광원의 하부에 웨이퍼를 이동시키기 위하여 설치된 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 상기 광원으로부터 발생되는 자외선을 집중시키기 위하여 상기 광원을 둘러싸면서 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은 웨이퍼를 지지하는 진공 척(chuck); 및 상기 진공 척 아래에 상기 진공 척과 연결되어 상기 진공 척을 상/하로 이동시킴은 물론, 상기 진공 척의 중심으로부터 일정거리만큼 떨어진 위치를 중심으로 회전시킴과 동시에 수평방향으로 직진시킬 수 있는 진공 척 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼에 자외선 조사시 웨이퍼를 선회시킴과 동시에 직진시킬 수 있어 자외선이 웨이퍼 표면 전체에 균일하게 조사된다. 이는, 접착제에 의해 보호용테이프가 앞면에 부착된 웨이퍼를 백그라인딩(back grinding)한 후, 보호용테이프를 제거하기위한 자외선 조사시 접착제 전체가 균일한 화학반응을 일으키도록 한다. 따라서, 보호용테이프를 용이하게 제거할 수 있다.

Description

자외선 조사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 의한 웨이퍼 전송수단을 평면도와 함께 도시한 정면도이다. 제2도는 제1도의 실린더부 및 실린더 고정블록을 평면도와 함께 도시한 단면도이다. 제3도는 제1도의 A부분의 확대도와 평와샤의 평면도를 함께 도시한 도면이다. 제4도는 제1도의 피니언 기어 지지대를 평면도와 함께 도시한 단면도이다. 제5도는 제1도의 웨이퍼 전송수단의 평면도를 자세히 도시한 도면이다.

Claims (4)

  1. 챔버 내에 설치된 광원, 상기 광원의 하부에 웨이퍼를 이동시키기 위하여 설치된 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 상기 광원으로부터 발생되는 자외선을 집중시키기 위하여 상기 광원을 둘러싸면서 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은 웨이퍼를 지지하는 진공 척(chuck); 상기 진공 척의 중심축과 연결되어 상기 진공 척을 상/하로 이동시키는 기능을 갖는 실린더부; 상기 실린더부의 바닥에 접촉되고 상기 실린더부의 한쪽 옆에 돌출되면서 상기 실린더부를 고정시키는 실린더 고정블록; 바닥 중앙에는 원형의 홈을 갖고 그 상부의 중심축은 상기 실린더부의한쪽 옆에 돌출한 상기 실린더 고정블록 부분과 연결되어 고정된 원형의 피니언(pinion) 기어; 상기 피니언 기어의 한쪽 옆에 상기 피니언 기어와 맞물리도록 설치된 일자형 래크(rack) 기어; 상기 레크 기어를 고정시키는 래크 고정블록; 윗 부분이 상기 피니언 기어의 바닥에 형성된 원형이 홈에 끼워져 상기 피니언 기어를 지지하고 그 중간 부분 둘레에는 홈이 형성된 피니언 기어 지지대; 상기 피니언 기어가 상기 피니언 기어 지지대로부터 이탈되지 않도록 상기 피니언 기어 지지대의 중간 부분 둘레에 형성된 홈에 끼워지고 상기 피니언 기어의 바닥에 접착되어 고정된 평와샤; 상기 피니언 기어 지지대의 아랫 부분에 같은 방향으로 관통하도록 형성된 복수의 홈; 상기 피니언 기어 지지대가 수평방향으로 이동할 수 있도록 상기 복수의 홈에 각각 끼워져 레일 역할을 하는 복수의 샤프트(shaft); 및 상기 샤프트의 양 끝에 상기 샤프트를 고정시키기 위하여 설치된 샤프트 고정블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광원과 상기 전공 척 사이에 자외선만을 투과시키고 적외선 및 가시광선은 반사시키는 자외선 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 자외선 필터는 석영(quartz) 기판 및 그 한쪽 표면에 코팅된 복수의 특수물질층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 특수물질층은 이산화 지르코늄(ZrO2)층과 이산화 실리콘층(SiO2) 층이 적충된 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950022942A 1995-07-13 1995-07-28 자외선 조사장치 KR0144878B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950022942A KR0144878B1 (ko) 1995-07-28 1995-07-28 자외선 조사장치
JP09703096A JP3859259B2 (ja) 1995-07-13 1996-04-18 紫外線照射装置
US08/679,084 US5872365A (en) 1995-07-13 1996-07-12 UV irradiation apparatus
JP2006222028A JP2006352155A (ja) 1995-07-13 2006-08-16 紫外線照射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950022942A KR0144878B1 (ko) 1995-07-28 1995-07-28 자외선 조사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970008338A true KR970008338A (ko) 1997-02-24
KR0144878B1 KR0144878B1 (ko) 1998-08-17

Family

ID=19422088

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950022942A KR0144878B1 (ko) 1995-07-13 1995-07-28 자외선 조사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0144878B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100780695B1 (ko) * 2006-12-29 2007-11-30 주식회사 하이닉스반도체 듀얼 ｕｖ 조사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR0144878B1 (ko) 1998-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT1183527B (it) Procedimento per riportare uno strato sottile, trasparente, sulla superficie di elementi ottici
JP2006352155A (ja) 紫外線照射装置
WO2003088324A3 (en) Method and apparatus for wafer cleaning
CA2341443A1 (en) Apparatus having a light source and sol-gel monolithic diffuser
EP0703476A3 (en) Integrated light-sensitive semiconductor component with an optical waveguide
EP0466144A3 (en) Optical semiconductor device with wavelength selectivity and method for amplifying or emitting the light using the same
KR19990011928A (ko) 반도체 웨이퍼 테이프 라미네이팅시스템 및 이를 이용한 라미네이팅방법
ES2011810B3 (es) Dispositivo para el temple de laminas de vidrio.
KR970008338A (ko) 자외선 조사장치
ES2076515T3 (es) Dispositivo para el tratamiento de substratos en un plasma apoyado por gas, generado por medio de microondas.
ES2135737T3 (es) Procedimiento y dispositivo para la medicion in situ de las tensiones que se desarrollan en el seno de una capa delgada cuando tiene lugar su aplicacion sobre un substrato.
KR20040089098A (ko) 투명 물질의 접착 방법 및 접착된 석영 유리판과 이를이용한 장치
KR970008339A (ko) 자외선 조사장치
KR20050046221A (ko) 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 이용한노광장치와 노광방법
KR970008313A (ko) 자외선 조사장치
KR101607578B1 (ko) 노광 장치 및 마스크 얼라이너
JP2002022534A (ja) 紫外線測定方法
KR970062765A (ko) 광배향용 자외선 조사장치
KR100327880B1 (ko) 자외선 조사장치
JPH05217969A (ja) 半導体発光素子のウエハ劈開方法
KR100480579B1 (ko) 히팅램프를갖는디개싱장비
JP3526204B2 (ja) 紫外線洗浄装置
JPH11274277A (ja) 紫外線照射装置およびその方法
JPH062269Y2 (ja) 粘着シート処理装置
JPH10233372A (ja) 紫外線照射装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110405

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee