KR970008322A - 포토마스크 보호용 프레임지지막 - Google Patents

포토마스크 보호용 프레임지지막 Download PDF

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메쿠루 카시다
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카나가와 치히로
신에쯔 카가쿠코오교오 카부시키가이샤
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    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
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Abstract

본 발명은 단단한 막프레임과 기밀한 형태의 막프레임의 한 단면에 펼쳐지고 부착하여 결합된 플라스틱수지의 높은 투명도를 가진 막과 막프레임의 다른 단면에 형성된 감압점착층으로 구성되어 포토마스크의 표면에 프레임지지막에 장착이 가능하고 정확한 위치에 위치하도록 하는 정밀한 전기장치에서 사진식각 패터닝작업에 사용된 포토마스크의 먼지방지를 위한 장치인 프레임지지막에 형성되는 것을 제안한다.
제안은 막프레임의 단면에 형성된 감압점착층이 예를 들면, 종래의 기술의 평편면대신 원통형 둥근천장의 형태를 가지므로, 부착막과 포토마스크의 표면 사이의 공기갭이 생김으로 발생되는 종래기술의 문제점이 완벽한 기밀한 밀봉으로 방지되고 있다. 외부와 내부면 사이의 압력차이에 의한 밀봉의 기밀성에 의한 막에 대한 악영향은 필터시트로 덮힌 막프레임의 공기출구를 덮어서 극복될 수가 있다.

Description

포토마스크 보호용 프레임지지막
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 방출판으로 일시적으로 보호되는 수납실의 횡단면의 감압점착층을 보유하는 프레임지지막의 부분확대 종단면도이다.

Claims (6)

  1. (a) 2개의 마주보는 막단면을 가진 단단한 물질의 막프레임과, (b) 기밀한 형으로 막프레임의 단면중 하나에 펼쳐지고 부착되어 결합된 플라스틱수지의 투명막 및 (c) 막프레임의 다른 단면에 형성된 표면이 외부로 볼록한 표면감압점착층으로 구성된 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
  2. 제1항에 있어서, 막프레임의 단면에 형성된 감압점착층이 원통형 둥근천장의 형태를 가진 것을 특징으로 하는 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
  3. 제2항에 있어서, 막프레임의 단면에 형성된 감압점착층이 원통형 동근천장의 형태를 가지고, 막프레임과 접촉면에서 막의 최대길이의 90%인 길이에서 측정된 중간폭이 막의 기준폭의 80~95%인 범위안에 있는 것을 특징으로 하는 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
  4. (a) 2개의 마주보는 막단면을 가진 단단한 물질의 막프레임, (b) 기밀한 형으로 막프레임의 단면중 하나에 펼쳐지고 부착되어 결합된 플라스틱수지의 투명막 및 (c) 공기는 통과할 수 있고 먼지는 통과하지 못하는 필터시트로 성막된 적어도 하나의 공기출구를 가진 막프레임의 다른 단면에 형성된 표면이 외부로 볼록한 감압 점착층으로 구성된 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
  5. 제4항에 있어서, 막프레임의 단면에 형성된 감압점착층이 원통형 둥근천장의 형태를 가진 것을 특징으로 하는 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
  6. 제5항에 있어서, 막프레임의 단면에 형성된 감압점착층이 원통형 둥근천장의 형태를 가지고, 막프레임과 접촉면에서부터의 막의 최대길이의 90%인 길이에서 측정된 중간폭이 막의 기준폭의 40~95%인 범위 안에 있는 것을 특징으로 하는 사진식각 패터닝 작업용 포토마스크의 먼지방지를 위한 프레임지지막.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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