JPH05150446A - ペリクル支持枠接着方法 - Google Patents
ペリクル支持枠接着方法Info
- Publication number
- JPH05150446A JPH05150446A JP31207091A JP31207091A JPH05150446A JP H05150446 A JPH05150446 A JP H05150446A JP 31207091 A JP31207091 A JP 31207091A JP 31207091 A JP31207091 A JP 31207091A JP H05150446 A JPH05150446 A JP H05150446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- adhesive material
- adhesive
- support frame
- pellicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安定で経時変化がなく、圧力検出が簡便なペ
リクル支持枠接着方法を提供する。 【構成】 接着材料１１として変質を生じない、そして
柔軟で可塑性および展性に富む無機金属であるインジウ
ム、鉛またはそれらの合金を使用することにより、接着
材料１１の経時変化による接着力の低下や分解によるパ
ーティクルの発生を防止することができる。また、接着
圧力の検出に接着材料１１として上記金属を用い、その
可塑性を利用し圧力の大きさを接着材料１１の変形量か
ら求めることにより、接着圧力検出に簡便で安価な方法
を実現できる。
リクル支持枠接着方法を提供する。 【構成】 接着材料１１として変質を生じない、そして
柔軟で可塑性および展性に富む無機金属であるインジウ
ム、鉛またはそれらの合金を使用することにより、接着
材料１１の経時変化による接着力の低下や分解によるパ
ーティクルの発生を防止することができる。また、接着
圧力の検出に接着材料１１として上記金属を用い、その
可塑性を利用し圧力の大きさを接着材料１１の変形量か
ら求めることにより、接着圧力検出に簡便で安価な方法
を実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体リソグラフィで
用いられるフォトマスクとのペリクル支持枠接着方法に
関する。
用いられるフォトマスクとのペリクル支持枠接着方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォトマスクとペリクル支持枠と
の接着には接着材料として有機物質からなる接着材料ま
たは粘着テープが用いられてきた。また接着の時に接着
材料への圧力を検知するため、小型の圧力センサや感圧
紙が用いられてきた。
の接着には接着材料として有機物質からなる接着材料ま
たは粘着テープが用いられてきた。また接着の時に接着
材料への圧力を検知するため、小型の圧力センサや感圧
紙が用いられてきた。
【０００３】図３は従来法によるペリクル支持枠とフォ
トマスクとの接着後の断面図である。図において１はフ
ォトマスク、２はペリクル膜、３はアルミニウムまたは
その合金からなるペリクル支持枠で、ペリクル膜２を支
持するとともにフォトマスク１への接続体となる。４は
有機物からなる接着材料で、エポキシ系接着剤や両面接
着テープなどである。接着材料４を介してのペリクル支
持枠３とフォトマスク１の接着は専用治具または専用装
置を用い、ペリクル支持枠３をフォトマスク１側へ押し
付けることによって行われる。５は接着時の基台であ
る。図４はペリクル支持枠３とフォトマスク１を接着す
るための適切な圧力を求めるための圧力の測定の一例で
ある。小型の圧力センサ６をペリクル支持枠３とフォト
マスク１の間に挟み、上から圧力Ｐを加え、圧力表示計
７の指針から圧力を測定する。通常、センサ６は４ヶ配
置され、加圧時に接着材料に均一に圧力が加わるように
接着用治具、装置が調整される。
トマスクとの接着後の断面図である。図において１はフ
ォトマスク、２はペリクル膜、３はアルミニウムまたは
その合金からなるペリクル支持枠で、ペリクル膜２を支
持するとともにフォトマスク１への接続体となる。４は
有機物からなる接着材料で、エポキシ系接着剤や両面接
着テープなどである。接着材料４を介してのペリクル支
持枠３とフォトマスク１の接着は専用治具または専用装
置を用い、ペリクル支持枠３をフォトマスク１側へ押し
付けることによって行われる。５は接着時の基台であ
る。図４はペリクル支持枠３とフォトマスク１を接着す
るための適切な圧力を求めるための圧力の測定の一例で
ある。小型の圧力センサ６をペリクル支持枠３とフォト
マスク１の間に挟み、上から圧力Ｐを加え、圧力表示計
７の指針から圧力を測定する。通常、センサ６は４ヶ配
置され、加圧時に接着材料に均一に圧力が加わるように
接着用治具、装置が調整される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、有機物質からなる接着材料は経時変化による接着
力の低下や分解によるパーティクル発生の問題がある。
また従来の接着圧力検出方法には検出作業が複雑であ
り、検出精度も悪いという課題を有している。
では、有機物質からなる接着材料は経時変化による接着
力の低下や分解によるパーティクル発生の問題がある。
また従来の接着圧力検出方法には検出作業が複雑であ
り、検出精度も悪いという課題を有している。
【０００５】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、安定で経時変化がなく、圧力検出が簡便なペリクル
支持枠接着方法を提供することを目的とする。
で、安定で経時変化がなく、圧力検出が簡便なペリクル
支持枠接着方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、接着材料として変質を生じない、そして柔
軟で可塑性および展性に富む無機金属であるインジウ
ム、鉛、それらの合金等を使用し、接着圧力の検出に接
着材料として上記金属を用いその可塑性を利用し、圧力
の大きさを接着材料の変形量から求めるものである。
に本発明は、接着材料として変質を生じない、そして柔
軟で可塑性および展性に富む無機金属であるインジウ
ム、鉛、それらの合金等を使用し、接着圧力の検出に接
着材料として上記金属を用いその可塑性を利用し、圧力
の大きさを接着材料の変形量から求めるものである。
【０００７】
【作用】この構成によって、接着部の接着力低下、分解
によるパーティクルの発生が起こらず、接着材料の変形
量による圧力調整が可能となる。
によるパーティクルの発生が起こらず、接着材料の変形
量による圧力調整が可能となる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【０００９】図１は本発明による接着材料の使用例を示
すもので、図３，図４の従来例と同一部分には同一番号
を付し、説明を省略する。すなわち本発明の特徴はイン
ジウム、鉛、またはそれらの合金からなるリボン１１を
用いて接着することである。ペリクル支持枠３に上面か
ら圧力Ｐを加えると、リボン１１は押しつぶされペリク
ル支持枠３とフォトマスク１とが接着する。リボン１１
の代りにワイヤを用いることもできる。
すもので、図３，図４の従来例と同一部分には同一番号
を付し、説明を省略する。すなわち本発明の特徴はイン
ジウム、鉛、またはそれらの合金からなるリボン１１を
用いて接着することである。ペリクル支持枠３に上面か
ら圧力Ｐを加えると、リボン１１は押しつぶされペリク
ル支持枠３とフォトマスク１とが接着する。リボン１１
の代りにワイヤを用いることもできる。
【００１０】図２は図１において接着材料として、イン
ジウム、鉛またはそれらの合金を用いて加圧接着した後
のペリクル支持枠３とフォトマスク１間の間隔Ｔと圧力
Ｐの関係を示す特性曲線である。図１のようにペリクル
支持枠３とフォトマスク１を接着した後、間隔Ｔの値を
測定することにより図２の間隔Ｔと圧力Ｐとの関係曲線
から接着時の圧力Ｐを求めることができる。また接着材
料全面にわたる圧力の均一性は、複数箇所の間隔Ｔを測
定し、値のばらつきを求めることによって得ることがで
きる。
ジウム、鉛またはそれらの合金を用いて加圧接着した後
のペリクル支持枠３とフォトマスク１間の間隔Ｔと圧力
Ｐの関係を示す特性曲線である。図１のようにペリクル
支持枠３とフォトマスク１を接着した後、間隔Ｔの値を
測定することにより図２の間隔Ｔと圧力Ｐとの関係曲線
から接着時の圧力Ｐを求めることができる。また接着材
料全面にわたる圧力の均一性は、複数箇所の間隔Ｔを測
定し、値のばらつきを求めることによって得ることがで
きる。
【００１１】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
は、接着材料として変質を生じない、そして柔軟で可塑
性および展性に富む無機金属であるインジウム、鉛、そ
れらの合金等を使用し、その変形量により圧力の大きさ
を調整して接着する構成であるので、接着材料の経時変
化による接着力の低下や分解によるパーティクル発生を
防止することができ、接着圧力検出に簡便で安価なペリ
クル支持枠接着方法を提供できる。
は、接着材料として変質を生じない、そして柔軟で可塑
性および展性に富む無機金属であるインジウム、鉛、そ
れらの合金等を使用し、その変形量により圧力の大きさ
を調整して接着する構成であるので、接着材料の経時変
化による接着力の低下や分解によるパーティクル発生を
防止することができ、接着圧力検出に簡便で安価なペリ
クル支持枠接着方法を提供できる。
【図１】本発明の一実施例のペリクル支持枠接着方法を
示す部分断面図
示す部分断面図
【図２】図１のペリクル支持枠接着方法により圧力Ｐを
加えた場合の接着材料の変形によるペリクル支持枠３と
フォトマスク１間の間隔Ｔの関係を示す図
加えた場合の接着材料の変形によるペリクル支持枠３と
フォトマスク１間の間隔Ｔの関係を示す図
【図３】従来のペリクル支持枠接着方法を示す断面図
【図４】図３のペリクル支持枠接着方法の時に用いる接
着圧力測定法を示す断面図
着圧力測定法を示す断面図
１ フォトマスク ２ ペリクル膜 ３ ペリクル支持枠 ５ 接着時の基台 １１ インジウム、鉛またはそれらの合金からなるリボ
ン （インジウム、鉛、それらの合金等からなる可塑性金
属）
ン （インジウム、鉛、それらの合金等からなる可塑性金
属）
Claims (1)
- 【請求項１】ペリクル支持枠をフォトマスクに接着する
接着材料としてインジウム、鉛、それらの合金等からな
る可塑性金属を用い、その接着材料の加圧による変形量
により圧力の大きさを調整して接着することを特徴とす
るペリクル支持枠接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207091A JPH05150446A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ペリクル支持枠接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207091A JPH05150446A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ペリクル支持枠接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05150446A true JPH05150446A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18024871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31207091A Pending JPH05150446A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ペリクル支持枠接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05150446A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0752621A1 (en) * | 1995-07-05 | 1997-01-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported pellicle for photomask protection |
| JP2007510937A (ja) * | 2003-10-06 | 2007-04-26 | トッパン、フォウタマスクス、インク | フォトマスク上にペリクル・アセンブリを自動的に装着するシステムおよび方法。 |
-
1991
- 1991-11-27 JP JP31207091A patent/JPH05150446A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0752621A1 (en) * | 1995-07-05 | 1997-01-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported pellicle for photomask protection |
| US5723860A (en) * | 1995-07-05 | 1998-03-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Frame-supported pellicle for photomask protection |
| KR100441349B1 (ko) * | 1995-07-05 | 2004-10-14 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포토마스크보호용프레임지지펠리클 |
| JP2007510937A (ja) * | 2003-10-06 | 2007-04-26 | トッパン、フォウタマスクス、インク | フォトマスク上にペリクル・アセンブリを自動的に装着するシステムおよび方法。 |
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