JP2007510937A - フォトマスク上にペリクル・アセンブリを自動的に装着するシステムおよび方法。 - Google Patents
フォトマスク上にペリクル・アセンブリを自動的に装着するシステムおよび方法。 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本出願は、2003年10月6日にEthan M.Frye等によって提出された、「SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATICALLY MOUNTING A PELLICLE ASSEMBLY ON A PHOTOMASK」という名称の米国特許仮出願第60/509,087号の利益を主張するものである。
Claims (31)
- ペリクル・アセンブリをフォトマスク上に装着する方法であって、
フォトマスクを装着装置に装填するステップと、
ペリクル・アセンブリを前記フォトマスクに対向させて前記装着装置の背板に装填するステップであって、前記背板が前記装着装置によって前記フォトマスクおよび前記ペリクル・アセンブリに加えられた力を測定するように動作可能な少なくとも1つのロード・セルを備えるステップと、
前記少なくとも1つのロード・セルに関連する前記測定された力を受け取るステップと、
前記測定された力が最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、フォトマスク・アセンブリを形成するために前記フォトマスク上に前記ペリクル・アセンブリを装着するステップとを含む方法。 - 前記測定された力が前記最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、前記少なくとも1つのロード・セルと連動する表示デバイスによって生成された信号を検出するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記測定された力が前記最小限の力より少ない場合、前記フォトマスク・アセンブリが除去されるのを防止するために前記装着装置をロックするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのロード・セルと連動する表示デバイス上に、前記測定された力を表示するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのロード・セルに関連する前記測定された力を受け取る前にタイマを作動させるステップと、前記タイマが切れる前に、前記測定された力が前記最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、前記フォトマスク・アセンブリを形成するために前記フォトマスク上に前記ペリクル・アセンブリを装着するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記フォトマスク・アセンブリが前記装着装置から除去できるように、前記装着装置をロック解除するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記背板が、その各隅部に近接して配置された前記ロード・セルを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記各ロード・セルに関連する前記測定された力を受け取るステップと、前記各測定された力が前記最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、前記フォトマスク・アセンブリを生成するために前記フォトマスク上に前記ペリクル・アセンブリを装着するステップとをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記測定された力が所定の力よりも大きい場合、前記各ロード・セルと連動する表示デバイスから第1の信号を検出するステップをさらに含み、前記第1の信号が、前記ペリクル・アセンブリが前記フォトマスクと適切に接触していることを表示するように動作可能である、請求項8に記載の方法。
- 前記装着装置が、少なくとも前記最小限の力を前記フォトマスクおよび前記ペリクル・アセンブリに加える場合、前記ロード・セルと連動する前記表示デバイスの1つから第2の信号を検出するステップをさらに含み、前記表示デバイスが直列に電気接続された、請求項9に記載の方法。
- 前記測定された力が所定の力よりも大きい場合、前記各ロード・セルと連動する表示デバイスから第1の信号を検出するステップであって、前記ペリクル・アセンブリが前記フォトマスクと適切に接触することを表示するように前記第1の信号が作動可能であるステップと、前記各ロード・セルに関連する前記測定された力が前記最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、前記ロード・セルと連動する前記表示デバイスの1つから第2の信号を検出するステップとをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのロード・セルから前記測定された力を受け取る前に第1のタイマを動作させるステップと、前記第1のタイマが切れる前に前記第1および第2の信号が検出される場合、第2のタイマを作動させるステップと、前記第2のタイマが切れるまで前記ペリクル・アセンブリおよび前記フォトマスクに少なくとも前記最小限の力を加えるステップとをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- ペリクル・アセンブリを有するペリクル固定具を保持するように動作可能な背板と、フォトマスクを保持するように動作可能な固定架台とを備える装着装置、ならびに、前記背板に配置された少なくとも1つのロード・セルを備える、フォトマスク上にペリクル・アセンブリを装着するためのシステムであって、前記少なくとも1つのロード・セルが、前記フォトマスクおよび前記ペリクル・アセンブリ上の前記装着装置によって加えられた力を測定するように動作可能であるシステム。
- 前記装着装置と連動するプログラマブル論理制御装置(PLC)をさらに備え、前記ペリクル・アセンブリが前記フォトマスク上に装着されるように、前記PLCが前記背板を移動するための駆動機構を作動させるように動作可能である、請求項13に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのロード・セルと電気的に連動する表示デバイスをさらに備え、前記表示デバイスが、前記測定された力が最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しいことを示す信号を生成するように動作可能である、請求項14に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのロード・セルに関連する前記測定された力を表示するように動作可能な前記表示デバイスをさらに備える、請求項15に記載のシステム。
- 前記PLCが前記表示デバイスによって生成される前記信号を受け取る場合、前記フォトマスク上に前記ペリクル・アセンブリを装着するように動作可能な前記PLCをさらに備える、請求項15に記載のシステム。
- タイマを作動させ、
前記タイマが切れる前に前記PLCが前記表示デバイスから前記信号を受け取らない場合、警報を発するように動作可能な前記PLCをさらに備える、請求項15に記載のシステム。 - 前記測定された力を前記表示デバイスに継続的に伝達するように動作可能な前記少なくとも1つのロード・セルをさらに備え、前記表示デバイスが前記測定された力を前記PLCに継続的に伝達するように動作可能であり、前記PLCが、前記表示デバイスから受け取られた前記測定された力を分析するために動作可能な統計的プロセス制御モジュール備える、請求項15に記載のシステム。
- 前記ロード・セルが、前記背板に形成されたシャフトに配置された荷重センサと、前記荷重センサに隣接する前記シャフトに配置されたシリンダと、前記シリンダ内に位置し、その結果、玉軸受の少なくとも一部分が前記背板の表面の上方に配置される玉軸受とを備える、請求項13に記載のシステム。
- 前記背板の各隅部に近接して配置された前記ロード・セルと、前記各ロード・セルと電気的に連動する表示デバイスとをさらに備え、各表示デバイスが前記対応するロード・セルから前記測定された力を受け取るように動作可能である、請求項13に記載のシステム。
- 前記ペリクル・アセンブリが前記フォトマスクと適切に接触していることを示すように動作可能である第1の信号を生成し、また前記測定された力が最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しいことを示すように動作可能である第2の信号を生成するように動作可能である前記表示デバイスをさらに備える、請求項21に記載のシステム。
- フォトマスク上にペリクル・アセンブリを装着するためのシステムであって、ペリクル・アセンブリ備えるペリクル固定具を保持するように動作可能な背板、およびフォトマスクを保持するように動作可能な固定架台を備える装着装置と、前記背板の各隅部に配置されるロード・セルとを備え、前記ロード・セルが前記フォトマスクおよび前記ペリクル・アセンブリ上に前記装着装置によって加えられた力を測定するように動作可能であるシステム。
- 装着工程中に前記フォトマスク全体にわたる力の分布を認識するように動作可能な前記ロード・セルをさらに備える、請求項23に記載のシステム。
- 前記各ロード・セルと電気的に連動する表示デバイスをさらに備え、前記表示デバイスが、前記対応するロード・セルから前記測定された力を受け取り、また前記測定された力が最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しい場合、信号を生成するように動作可能である、請求項23に記載のシステム。
- 前記各ロード・セルと連動するプログラマブル論理制御装置(PLC)をさらに備え、前記PLCが、前記各表示デバイスによって生成された前記信号を受け取り、前記信号に基づいて前記フォトマスク上に前記ペリクル・アセンブリを装着するように動作可能である、請求項25に記載のシステム。
- タイマを作動させ、
前記タイマが切れる前に前記PLCが前記各表示デバイスから前記信号を受け取らない場合、警報を発するように動作可能な前記PLCをさらに備える、請求項26に記載のシステム。 - 前記測定された力を前記表示デバイスに継続的に伝達するように動作可能である前記ロード・セルと、前記測定された力を前記PLCに継続的に伝達するように動作可能である前記表示装置と、前記ロード・セルから受け取られた前記測定された力を分析するように動作可能である統計的プロセス制御モジュールを備える前記PLCとをさらに備える、請求項26に記載のシステム。
- 前記PLCが前記表示デバイスの1つから前記信号を受け取るように直列に接続された前記ディスプレイ・デバイスをさらに備える、請求項26に記載のシステム。
- 前記ペリクル・アセンブリが、前記フォトマスクと適切に接触していることを示すように作動可能な第1の信号を生成し、
前記測定された力が、最小限の力より大きい、またはそれにほぼ等しいことを示すように作動可能な第2の信号を生成するように動作可能な前記表示デバイスをさらに備える、請求項26に記載のシステム。 - 第1のタイマを作動させ、
前記第1および第2の信号が前記第1のタイマが切れる前に前記PLCによって受け取られる場合、第2のタイマを作動させ、
前記第2のタイマが切れるまで前記ペリクル・アセンブリおよび前記フォトマスクに少なくとも前記最小限の力を加えるように動作可能な前記PLCをさらに備える、請求項30に記載のシステム。
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