KR970003855Y1 - 진공흡착헤드 - Google Patents

Abstract

내용없음

Description

진공흡착헤드

제1도는 종래 진공흡착헤드의 개략적 단면도

제2도는 본 고안에 따른 진공흡착헤드의 개략적 단면도

제3도는 제2도에서 도시한 진공흡착헤드의 요부를 도시한 개략적 사시도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 진공흡착헤드 110 : 본체

111 : 관통공 112 : 그루우브

113 : 상부면 120 : 작동실

130 : 작동체 131 : 타격핀

140 : 진공실 140' : 개구부

본 고안은 진공흡착헤드에 관한 것으로서, 특히 그 내부에 왕복이동하는 작동체를 갖춘 진공흡착헤드에 관한 것이다.

진공흡착헤드는 그 내부로 공급되는 진공을 이용하여 소정의 물체를 흡착하기 위한 것으로서, 여러 분야에서 유용하게 사용되고 있는데, 제1도에는 이러한 진공흡착헤드의 일 예로, 반도체의 조립과정에서 테이프상 마일라시트에 부착된 다이를 분리학; 위하여 사용되는 진공흡착헤드가 도시되어 있다.

도면을 참조하면 그 표면에 다이(4)가 부착된 마일라시트(3)의 배면에는 지지체(2)에 의해 고정된 진공흡착 헤드(10)가 밀착되어 있다.

이 진공흡착헤드(10)에는 작동실(12)을 갖는 본체(11)와 작동체(13)가 마련되어 있는데, 작동체(13)는 작동실(12)내에서 상하이동가능하게 설치된다.

작동체(13)에는 본체(11)의 관통공(16)을 출입하는 타격핀(15)이 마련되어 있으며, 마일라시트(3)를 흡착할 수 있도록 진공이 출입하는 진공경로(14)가 마련되어 있다.

이러한 구조를 갖는 진공흡착헤드(10)를 이용하여 마일라시트(3)에 부착된 다이(4)를 분리하는 과정은 다음과 같다.

먼저, 진공흡착헤드(10)의 작동체(13)에 마련된 진공경로(14)를 통해 진공이 작동실(12)내로 유입되면, 진공흡착헤드(10)와 밀착된 마일라시트(3)는 진공흡착헤드(10)에 흡착되게 된다. 이러한 상태에서 작동체(13)가 상승하여 타격핀(15)이 본체(11)에 마련된 관통공(16)으로 삽입되며 마일라시트(3)를 관통하게 된다. 마일라시트(3)를 관통한 타격핀(15)은 이 마일라시트(3)에 부착된 다이(4)를 타격하여 마일라시트(3)로부터 다이(4)를 분리시키게 된다.

이러한 과정에서 진공흡착헤드(10)가 마일라시트(3)를 제대로 흡착하지 못하면 다이(4)가 분리되지 않거나, 분리상태가 불완전하여 다이(4)의 위치가 변경되는 등의 문제가 발생하게 된다.

따라서 진공흡착헤드(10)는 마일라시트(3)를 확실하게 흡착하여야 하는데, 이를 위하여는 진공흡착헤드(10)에 공급되는 진공의 손실이 없어야 한다.

그런데 상기 구조를 갖는 진공흡착헤드(10)는 진공이 공급되는 작동실(12)내에서 작동체(13)가 원활한 왕복운동을 행할 수 있도록 하기 위하여, 진공흡착헤드(10)의 본체(11)와 작동체(13)사이에는 소정의 유격이 마련되어야 하며 이에 따라 진공이 누설되어 마일라시트(3)를 확고하게 흡착하지 못하는 경우가 발생하였다.

또한 진공의 누설을 최소화하기 위하여 작동실(12)과 작동체(13) 사이의 유격을 최소화하여야 하므로 작동체(13) 또는 작동실(12)의 내벽에 과도한 마모가 발생하게 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 내부에 설치된 작동체의 왕복이동으로 인한 진공의 누설을 방지하여 부품의 흡착상태를 확고히 유지할 수 있으며, 작동체의 왕복이동에 따르는 마모를 억제할 수 있도록 된 진공흡착헤드를 제공함에 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 의하여 본 고안은 내부는 작동실과 진공압이 공급되는 다수의 진공실로 구분되며 상부면은 흡착하고자하는 물체와 접촉함과 동시에 상기 작동실과 연통하는 관통공 및 진공실과 연통하는 개구부가 구성된 본체와,

상기 본체의 작동실 내부에 왕복이송가능한 상태로 수용되며 상단에는 상기 관통공을 관통하는 타격핀이 다수 고정되어 있는 작동체로 이루어진 점에 특징이 있다.

이하 본 고안에 따른 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제2도에는 본 고안에 따른 진공흡착헤드의 일 예가 개략적으로 도시되어 있는데, 이는 제1도를 참조하여 설명한 진공흡착헤드(10)와 같은 용도로 사용되는 것이다.

제3도는 제2도에서 도시한 진공흡착헤드의 개략적 사시도이다.

도면을 참조하면 그 표면에 다이(40)가 부착된 마일라시트(30)의 배면은 진공흡착헤드(100) 본체(110)의 상부면(113)에 밀착되어 있으며, 본체(110)의 내부에는 작동실(120)과, 이 작동실(120)과 격리된 진공실(140)이 마련되어 있다. 작동실(120)은 본체(110)의 상부면(113)에 마련된 관통공(111)을 통해 외부와 연통되어 있으며, 작동실(120)내에는 작동체(130)가 액튜에이터(미도시)에 의해 상하이동가능하게 설치되어 있다.

작동체(130) 상부에는 상기 관통공(111)을 출입할 수 있도록 된 타격핀(131)이 고정되어 있다. 그리고 작동실(120)과 격리된 진공실(140)은 상기 상부면(113)과 연통되는 개구부(140') 및 진공압이 공급되는 진공압 공급부(A)를 구비하고 있다. 한편 도시된 바와 같이 상부면(113)상에는 그루우브(112)를 형성하고 이 그루우브(112)의 바닥면에 진공실(140)의 개구부(140')가 위치하도록 하는 것이 바람직하며, 상기 작동체(130)의 왕복운동을 용이하게 하기 위하여 작동실(120)의 일측에 베어링(150)을 마련하여 둠이 바람직하다.

미설명부호 20은 진공흡착헤드를 지지하기 위한 지지체이다.

이러한 구조를 갖는 본 고안에 따른 진공흡착헤드(100)의 작동은 다음과 같다.

먼저, 진공흡착헤드(100)의 상부면(113)과 연통된 진공실(140)로 진공압이 공급되면 상부면(113)에 밀착된 마일라시트(30)는 상부면(113)에 흡착된다.

이러한 상태에서 작동체(130)가 상승하게 되고 이에 따라 작동체(130)의 선단에 마련된 타격핀(131)이 본체(110)의 관통공(111)으로 삽입되면서 마일라시트(30)를 관통하게 된다. 마일라시트(30)를 관통한 타격핀(131)은 다이(40)를 타격하여 마일라시트(30)로 부터 분리시키게 된다. 이처럼 다이(40)가 분리된 후, 작동체(130)는 하강하여 다시 다른 다이를 분리할 수 있는 상태를 유지하게 된다.

이러한 과정에서 마일라시트(30)는 작동실(120)과 격리된 진공실(140)의 진공압에 의해 작동체(130)의 왕복이동에 관계없이, 확고한 흡착상태를 유지하게 되므로 다이(40)가 정확하게 분리된다.

그리고, 상부면(113)에는 개구부(140')의 대응부분을 요홈으로 구성하거나 진공실(140)의 각 개구부(140')를 연통시키는 원형의 그루우브(112)를 형성할 경우 요홈 또는 그루우브(112)로 진공이 유입되어 보다 효과적인 흡착을 행할 수 있을 것이다.

한편, 제1도에 도시된 바와 같은 구조를 갖는 종래 진공흡착헤드(10)는 진공압의 누설을 방지하기 위하여 작동실(120)의 내벽과 작동체(130)와의 유격을 극소화하여야 하였으나 본 고안에 따른 진공흡착헤드(100)는 유격의 대소와 진공압의 누설과는 무관하다.

따라서 충분한 유격을 둠에 의해 작동체(130)의 왕복이동을 원활하게 행할 수 있으며, 베어링(150)이 마련되면 작동체(130)의 왕복이동에 따른 작동실(120)의 내벽 또는 작동체(130)의 마모를 방지하여 내구성이 향상되며 보다 원활한 작업이 행하여지게 된다.

상술한 바와 같이 본 고안 진공흡착헤드는 그 내부에서 작동하는 작동체의 왕복이동을 위한 공간과 진공압이 유출/유입되는 공간이 별도로 마련되어 있으므로 진공압의 누설이 방지되어 효과적인 흡착이 이루어 질 수 있으며, 작동실의 내벽과 작동체와의 사이의 유격을 충분히 보유할 수 있도록 되어 있음으로 작동체의 작동이 원활히 행하여 질 수 있음은 물론 작동체 또는 작동실의 내벽의 마모를 억제하여 내구성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 내부는 작동실과 진공압이 공급되는 다수의 진공실로 구분되며 상부면은 흡착하고자하는 물체와 접촉함과 동시에 상기 작동실과 연통하는 관통공 및 진공실과 연통하는 개구부가 구성된 본체와,

   상기 본체의 작동실 내부에 왕복이송가능한 상태로 수용되며 상단에는 상기 관통공을 관통하는 타격핀이 다수 고정되어 있는 작동체로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공흡착헤드.
2. 제1항에 있어서,

   상기 본체의 상부면은 각 개구부의 형성부분을 요홈형태로 구성한 것을 특징으로 하는 진공흡착헤드.
3. 제1항에 있어서,

   상기 본체 상부면에는 상기 각 개구부를 연통시키는 원형의 그루우브가 형성된 것을 특징으로 하는 진공흡착헤드.