KR20000030991A - 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도어를 지지하는 도어지지대와 체결구에 의해 체결되도록 일면에 체결홈이 형성되고, 타면에는 예비체결홈이 형성된 실린더연결대를 구비하는 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체에 관한 것이다.

본 발명에 의한 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체는 도어를 지지하는 도어지지대와, 상기 도어를 이동시키는 실린더와 연결되고 상기 도어지지대와 조립되도록 상기 도어지지대의 삽입홈에 일부가 삽입되며 상기 삽입홈으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 삽입홈과 접촉하는 일면에 상기 도어지지대를 관통한 체결구가 삽입되어 고정되는 체결홈이 형성되고 타면에 상기 체결홈을 대신하는 예비체결홈이 형성된 실린더연결대를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

따라서, 도어를 정확한 위치로 이동시켜 공정챔버에서 가스가 누출되는 것을 방지하고, 설비의 수명을 연장시키며, 설비의 유지 및 보수에 필요한 비용을 절감하는 효과를 갖는다.

Description

반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체

본 발명은 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도어를 지지하는 도어지지대와 체결구에 의해 체결되도록 일면에 체결홈이 형성되고, 타면에는 예비체결홈이 형성된 실린더연결대를 구비하는 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 사진, 이온확산, 식각, 증착 등의 공정들을 반복적으로 수행하여 반도체장치인 칩으로 제조되며, 각각의 공정들을 실시하기 위하여 특정조건이 형성된 공정챔버를 구비하는 공정설비가 구성된다.

상기 특정조건에는 여러 가지가 있으나 일차적으로 시행되는 조건은 상기 공정챔버에 설치된 도어의 개폐에 따른 기밀을 유지시켜 상기 공정챔버에서 가스가 누출되는 것을 누출을 방지하는 것이다.

특히, 작업자의 힘으로 개폐하기 어려운 큰 규모의 도어나, 기밀유지 및 개폐시의 충격을 방지하기 위해서는 상기 도어를 보다 안정적으로 개폐시켜야 하며, 이를 위하여 상기 공정챔버에는 통상 도어구동용 연결조립체가 설치된다.

도1을 참조하여 설명하면, 종래의 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체(10)는 공정챔버(도시하지 않음)에 설치된 도어(1)를 지지하는 도어지지대(11)를 구비하고, 상기 도어지지대(11)의 일측에는 삽입홈(12)이 형성되어 있으며, 상기 도어지지대(11)와 조립되도록 상기 도어지지대(11)에 형성된 상기 삽입홈(12)에 일부가 삽입되는 실린더연결대(13)를 구비하고 있다.

이때, 상기 실린더연결대(13)의 일측에는 상기 도어(1)를 이동시켜 상기 공정챔버를 개폐시키도록 상기 실린더연결대(13)를 왕복이동시키는 실린더(도시하지 않음)가 연결되어 있다.

한편, 도2를 참조하여 설명하면, 상기 실린더연결대(13)가 상기 실린더의 구동에 의해 이동되는 도중에 상기 삽입홈(12)으로부터 이탈하는 것을 방지하도록 상기 삽입홈(12)과 접촉하는 상기 실린더연결대(13)의 일면에는 상기 도어지지대(11)에 형성된 관통홀(14)을 관통한 체결구(15)가 삽입되어 고정되는 체결홈(16)이 형성된다.

즉, 상기 실린더가 작동하여 상기 실린더연결대(13)를 왕복이동시키면, 상기 실린더연결대(13)에 형성된 상기 체결홈(16)과 결합하는 상기 체결구(15)에 의해 상기 실린더연결대(13)와 결합된 상기 도어지지대(11)가 이동하게 되고, 따라서 상기 도어(1)가 왕복이동되어 상기 공정챔버를 개폐시킨다.

그러나, 상기 실린더에 의해 상기 실린더연결대(13)가 이동함에 따라서, 상기 체결구(15)에 의해 상기 체결홈(16)의 측벽이 마모되어 상기 체결구(15)와 상기 체결홈(16)의 결합이 느슨해지게 되었다.

따라서, 상기 도어지지대(11)와 상기 실린더연결대(13)의 결합이 느슨하게 되어 상기 도어(1)를 정확한 위치로 이동시킬 수 없게 되었고, 상기 공정챔버에서 누출이 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 상기 체결홈(16)이 마모된 상기 실린더연결대(13)를 새로운 부품으로 교체하여야 하므로 설비의 유지 및 보수에 많은 비용이 필요한 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 실린더연결대에 예비체결홈을 형성함으로써, 체결구에 의해 체결홈이 마모되더라도 상기 예비체결홈에 상기 체결구를 결합시켜 도어지지대와 상기 실린더연결대를 안정되게 결합시키고, 공정챔버에 설치된 도어를 정확한 위치로 이동시켜 상기 공정챔버에서 누출이 발생하는 것을 방지하는 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체를 제공하는데 있다.

도1은 종래의 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체를 나타낸 분해조립 사시도이다.

도2는 종래의 도어구동용 연결조립체를 저면에서 본 부분단면도이다.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체를 나타낸 분해조립 사시도이다.

도4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 도어구동용 연결조립체를 저면에서 본 부분단면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 도어 10, 20 : 도어구동용 연결조립체

11, 21 : 도어지지대 12, 22 : 삽입홈

13, 23 : 실린더연결대 14, 24 : 관통홀

15, 25 : 체결구 16, 26 : 체결홈

27 : 예비체결홈

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체는, 도어를 지지하고 있으며, 일측에 삽입홈이 형성된 도어지지대와, 상기 도어를 이동시키는 실린더와 연결되고, 상기 도어지지대와 조립되도록 상기 도어지지대의 삽입홈에 일부가 삽입되며, 상기 삽입홈으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 삽입홈과 접촉하는 일면에 상기 도어지지대를 관통한 체결구가 삽입되어 고정되는 체결홈이 형성되고, 타면에 상기 체결홈을 대신하는 예비체결홈이 형성된 실린더연결대를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일 실시에에 의한 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체(20)는 공정챔버(도시하지 않음)에 설치된 도어(1)를 지지하는 도어지지대(21)를 구비하고 있고, 상기 도어지지대(21)의 일측에는 삽입홈(22)이 형성되어 있으며, 상기 도어지지대(21)와 조립되도록 상기 도어지지대(21)에 형성된 상기 삽입홈(22)에 일부가 삽입되는 실린더연결대(23)를 구비하고 있다.

이때, 상기 실린더연결대(23)의 일측에는 상기 도어(1)를 이동시켜 상기 공정챔버를 개폐시키도록 상기 실린더연결대(23)를 왕복이동시키는 실린더(도시하지 않음)가 연결되어 있다.

그리고, 도4를 참조하여 설명하면, 상기 실린더연결대(23)가 상기 실린더의 구동에 의해 이동하는 도중에 상기 삽입홈(22)으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 삽입홈(22)과 접촉하는 상기 실린더연결대(23)의 일면에는 상기 도어지지대(21)에 형성된 관통홀(24)을 관통한 체결구(25)가 삽입되어 고정되는 체결홈(26)이 형성된다.

또한, 상기 실린더연결대(23)의 타면에는 상기 체결홈(26)을 대신하여 상기 체결구(25)와 결합할 수 있는 예비체결홈(27)이 형성되어 있다.

여기서, 상기 예비체결홈(27)은 상기 실린더연결대(23)의 일면에 형성된 상기 체결홈(26)의 반대측 일면에 형성되는 것이 바람직하며, 상기 예비체결홈(27)의 직경은 상기 체결구(25)의 직경보다 작게 형성하는 것이 바람직하다.

이는 상기 체결홈(26)과의 결합에 의해 상기 체결구(25)가 마모되더라도 상기 예비체결홈(27)과의 결합을 안정되게 하기 위함이며, 상기 체결구(25)와 상기 예비체결홈(27)과의 공차는 ± 1mm 인 것이 바람직하다.

즉, 상기 실린더가 작동하여 상기 실린더연결대(23)를 왕복이동시키면, 상기 실린더연결대(23)에 형성된 상기 체결홈(26)과 결합하는 상기 체결구(25)에 의해 상기 실린더연결대(23)와 결합된 상기 도어지지대(21)가 이동하게 되고, 따라서 상기 도어(1)가 왕복이동되어 상기 공정챔버를 개폐시킨다.

그리고, 상기 실린더연결대(23)의 이동에 의해 상기 체결구(25)와 상기 체결홈(26) 사이에 마찰이 발생하여 상기 체결홈(26)이 상기 체결구(25)에 의해 마모되면, 상기 도어지지대(21)와 상기 실린더연결대(23)의 결합이 느슨해지게 된다.

이때, 상기 체결구(25)를 상기 실린더연결대(23)에 형성된 상기 예비체결홈(27)에 결합시키면, 상기 도어지지대(21)와 상기 실린더연결대(23)를 안정되게 결합시킬 수 있으며, 상기 도어(1)를 정확한 위치로 이동시켜 상기 공정챔버에서 누출이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체에 의하면, 도어를 정확한 위치로 이동시켜 공정챔버의 누출을 방지하고, 설비의 수명을 연장시키며, 설비의 유지 및 보수에 필료한 비용을 절감하는 효과를 갖는다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 도어를 지지하고, 일측에 삽입홈이 형성된 도어지지대;

   및 상기 도어를 이동시키는 실린더와 연결되고, 상기 도어지지대와 조립되도록 상기 도어지지대에 형성된 상기 삽입홈에 일부가 삽입되며, 상기 삽입홈으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 삽입홈과 접촉하는 일면에 상기 도어지지대를 관통한 체결구가 삽입되어 고정되는 체결홈이 형성되고, 타면에 상기 체결홈을 대신하는 예비체결홈이 형성된 실린더연결대;

   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 공정챔버의 도어구동용 연결조립체.