KR970003355A - 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법 - Google Patents

전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970003355A
KR970003355A KR1019950015551A KR19950015551A KR970003355A KR 970003355 A KR970003355 A KR 970003355A KR 1019950015551 A KR1019950015551 A KR 1019950015551A KR 19950015551 A KR19950015551 A KR 19950015551A KR 970003355 A KR970003355 A KR 970003355A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
spacers
upper substrate
display device
emission display
unit
Prior art date
Application number
KR1019950015551A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100286991B1 (ko
Inventor
조영래
문제도
오재열
정효수
Original Assignee
이우복
사단법인 고등기술연구원 연구조합
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이우복, 사단법인 고등기술연구원 연구조합 filed Critical 이우복
Priority to KR1019950015551A priority Critical patent/KR100286991B1/ko
Publication of KR970003355A publication Critical patent/KR970003355A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100286991B1 publication Critical patent/KR100286991B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/88—Mounting, supporting, spacing, or insulating of electrodes or of electrode assemblies
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
    • H01J2329/86—Vessels
    • H01J2329/8625—Spacing members
    • H01J2329/863—Spacing members characterised by the form or structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

본 발명은 전계 방출 표시 소자(FED:Field Emission Display, 이하 FED라 함)의 상부 기판과 스페이서(spacer)를 일체형으로 형성한 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법에 관한 것으로, 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드전극(26)과 에미터(31)가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층(27)과 게이트전극(28)이 형성된 하부기판(25)과, 상기 캐소드전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수개의 투명 전극(23)과 형광체(24)가 형성되어 단위 화소를 이루는 상부 기판(22)을 포함하고, 상기 상부기판(25)과 상부 기판(22)을 기 설정 간격으로 이격시키기 위해 상기 상부 기판(22)과 스페이서를 일체형으로 형성한다.

Description

전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 FED의 평면도, 제3도는 상기 제2도의 단면도, 제4도는 진공 패키지 방법을 설명하기 위한 도면, 제5도는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면.

Claims (18)

  1. 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드전극(26)과 에미터(21)가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층(27)과 게이트전극(28)이 형성된 하부기판(25)과, 상기 캐소드전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수개의 투명 전극(23)과 형광체(24)가 형성되어 단위 화소를 이루는 상부 기판(22)을 포함하는 전계 방출 표시장치에 있어서, 상기 하부 기판(25)과 상부 기판(22)을 기 설정 간격으로 이격시키되 상기 상부 기판(202)과 일체형으로 형성된 다수개의 스페이서를 더 포함하여 구성하는 전계 방출 표시 소자의 구조.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각의 측벽에 도포되는 비 휘발성 게터(41)를 더 포함하여 구성하는 전계 방출 표시 소자의 구조.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서(21) 각각은 일방향성을 갖는 격벽형으로 이루어지되, 스페이서 서로간에는 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소 간격이 유지되도록 구성된 전계 방출 표시 소자의 구조.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서(21) 각각은 설정 크기의 격자형으로 이루어지되, 각 단위 격자는 인접하는 단위 격자와 연결되어 하나늬 몸체가 되도록 구성된 전계 방출 표시 소자의 구조.
  5. 상부 기판(22)상에 다수개의 스페이서를 형성하되, 상기 상부 기판(22)과 스페이서가 일체형으로 형성되도록 하는 제1단계; 시청자와 반대 표면의 상기 상부 기판(22)상에 투명전극(23)을 다수개 형성하고 상기 투명전극(23) 각각의 표면에 형광체를 형성하는 제2단계, 하부 기판(25)상에 캐소드 전극(26), 절연층(27), 게이트 전극(28)를 증착, 형성하는 제3단계, 상기 게이트 전극(28)과 절연층(27)를 식각하여 홀(29)과 캐비티(30)를 형성하고 상기 캐비티(30)의 내측에 전자 방출용 에미터(31)을 형성하는 제4단계, 상기 제4단계 후 상기 상부 기판(22)과 상기 하부 기판(25)을 정렬하여 상부 기판(22)과 일체형으로 형성된 스페이서에 하부 기판(25)을 서로 접합하여 제5단계를 포함하는 전계 방출 표시 소자 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1단계는 상기 상부 기판(22)상에 감광막을 도포한 후 스페이서의 길이와 폭 및 스페이서간의 폭이 기설정된 패턴 마스크를 이용하여 자외선으로 패턴을 형성하고 노광 및 현상한 후, 상기 상부 기판(32)을 식각하여 스페이서를 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 일방향성을 갖는 격벽형으로 형성하되, 스페이서 서로간에는 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소 간격이 유지되도록 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 식각 공정은 습식 식각에 의해 수행되는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소를 에워쌀수 있는 크기의 격자형으로 형성하되, 각 단위 격자는 인접하는 단위 격자와 연결되어 하나의 몸체가 되도록 식각하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 식각 공정은 습식 식각에 의해 수행되는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  11. 제5항에 있어서, 상기 제1단계는 상기 상부 기판(22)를 밀링 가공하여 상부 기판(22)과 스페이서가 일체형이 될수 있도록 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 일방향성을 갖는 격벽형으로 형성하되, 스페이서 서로간에는 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소 간격이 유지되도록 밀링 가공하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소를 에워쌀수 있는 크기의 격자형으로 형성하되, 각 단위 격자는 인접하는 단위 격자와 연결되어 하나의 몸체가 되도록 밀링 가공 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  14. 제5항에 있어서, 상기 제1단계는 상기 상부 기판(22) 형성시 주물 공정에 의해 스페이서와 상기 상부 기판(22)을 일체형으로 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 일방향성을 갖는 격벽형으로 형성하되, 스페이서 서로간에는 단위 화소 또는 다수개의 단위 화소 간격이 유지되도록 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 다수개의 스페이서 각각을 단위화소 또는 다수개의 단위화소를 에워쌀수 있는 크기의 격자형으로 형성하되, 각 단위 격자는 인접하는 단위 격자와 연결되어 하나의 몸체가 되도록 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  17. 제5항에 있어서, 상기 제5단계는 챔버내에서 상기 스페이서와 일체형으로 형성된 상기 상부 기판(22)과 하부 기판(25)를 정렬하고 정전 접합 장치의 (+) 전극을 상기 하부 기판(25)에, (-) 전극을 상기 스페이서에 각기 연결하는 단계, 상기 챔버를 초고진공 상태로 진공시키는 단계, 상기 스페이서가 기 설정 온도가 되도록 가열하고 상기 하부 기판(25)과 스페이서에 기 설정 전압을 인가하여 스페이서와 하부 기판이 정전 접합되도록 하는 단계로 이루어진 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 하부 기판을 실리콘으로 형성하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950015551A 1995-06-13 1995-06-13 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법 KR100286991B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950015551A KR100286991B1 (ko) 1995-06-13 1995-06-13 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950015551A KR100286991B1 (ko) 1995-06-13 1995-06-13 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970003355A true KR970003355A (ko) 1997-01-28
KR100286991B1 KR100286991B1 (ko) 2001-04-16

Family

ID=37514902

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950015551A KR100286991B1 (ko) 1995-06-13 1995-06-13 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100286991B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990002061A (ko) * 1997-06-19 1999-01-15 엄길용 전계방출표시소자의 스페이서 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990002061A (ko) * 1997-06-19 1999-01-15 엄길용 전계방출표시소자의 스페이서 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100286991B1 (ko) 2001-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5894193A (en) Field emission display with getter frame and spacer-frame assembly
JPH08507645A (ja) ガス放電表示装置及びその製造方法
KR101009983B1 (ko) 전자 방출 표시 소자
US5977703A (en) Field emission display device
US7615916B2 (en) Electron emission device including enhanced beam focusing and method of fabrication
JP3347648B2 (ja) 表示装置
KR970003355A (ko) 전계 방출 표시 소자의 구조 및 제조 방법
KR100463190B1 (ko) 금속 메쉬 일체형 스페이서 구조체 및 이 구조체를 갖는평판 표시 소자
KR970008262A (ko) 전계 방출 표시소자의 스페이서 및 그를 이용한 진공패키지 방법
KR100258799B1 (ko) 전계효과 전자방출 표시소자의 스페이서 제조방법
KR970003354A (ko) 전계 방출 표시 소자 실링 방법
KR970008263A (ko) 전계 방출 표시소자의 스페이서 및 그를 이용한 진공패키지 방법
KR100282266B1 (ko) 2극 구조의 전계효과 전자방출 표시소자 및 그 제조방법
KR100261542B1 (ko) 전계효과 전자방출 표시소자의 스페이서 제조방법
KR100448349B1 (ko) 평판 표시소자에 사용되는 전극이 삽입된 기판구조와 소자및 그 제조방법
KR100330155B1 (ko) 전계 방출 표시 소자
KR100353790B1 (ko) 삽입형스페이서를이용한전계방출표시소자의제조방법
KR0136686B1 (ko) 실리콘 필드 에미터 및 그 제조방법
KR100254674B1 (ko) 전계방출표시소자용 저항층
KR101009984B1 (ko) 전계 방출 표시장치
KR100258800B1 (ko) 전계효과 전자방출 표시소자의 스페이서와 게이트 전극제조방법
KR100437598B1 (ko) 전계 방출 표시소자의 제조방법
KR101049821B1 (ko) 전자 방출 소자
KR100852764B1 (ko) 수평 전계방출 반도체 진공관 및 그 제조방법
KR100257570B1 (ko) 분화구형 금속 필드 에미터 어레이 형성방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee