KR970003191Y1 - 웨이퍼 마킹 장비의 운전램프 구동회로 - Google Patents

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박희욱
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문정환
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Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 마킹 장비의 운전램프 구동회로
제1도는 웨이퍼 마킹장비의 운전램프 구동회로도.
제2도는 본 고안에 따른 웨이퍼 마킹 장비의 운전 램프 구동회로도.
제3도는 제2도에서 운전 램프 구동에 따른 위상제어 특성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 램프 20 : 무접점 릴레이
30 : 장비 40 : 브릿지 정류부
50 : 운전 램프 구동부
본 고안은 웨이퍼 마킹 장비에 있어, 운전 램프의 밝기 조절회로에 관한 것으로, 특히 소비전력 및 발열 감소에 적당하도록 램프의 구동을 위상으로 제어하여 램프의 밝기를 조절할 수 있도록한 웨이퍼 마킹 장비의 운전램프 구동회로에 관한 것이다.
종래의 기술구성을 제1도에 도시한 바와같이 상용전원 입력과 무접점 릴레이(2)를 통한 장비(3)사이에 램프(1)와 저항(R1)및 저항(R2)이 직렬로 연결되어 장비(3)가 비운전중일때에는 저항(R1)과 저항(R2)에 의해 전류를 제한하므로 램프(1)의 밝기가 작고, 노광시에는 저항(R2)이 단락되어 전류를 저항(R1)에 의해서만 제한하므로 램프(1)가 매우 밝아진다.
그러나 이와같은 종래의 운전램프 구동회로는 고정 저항에 의해 전류를 제한함으로서 램프의 밝기를 조절해야만 했기 때문에 저항에서 소모되는 절력이 많았고 또한 소모되는 전력에 의해 과다한 열을 발생시킴으로서 주변회로에 많은 피해를 주는 등 여러 문제점이 있었다.
따라서 본 고안은 상기한 문제점들을 개선시킨 것으로서 제2도에 의거 설명하면 다음과 같다.
상용전원단에 직렬로 연결된 램프(10)는 장비(30)와 연결된 무접점릴레이(20)에 연결되고, 저항(R4)과 저항(R5)를 통하여 다이오드(D1∼D4)로 구성된 브릿지 정류부(40)가 연결되며 또한 가변저한(VR1,VR2)과 다이악(DIAC)및 트라이악(TRIAC)으로 구성된 원전 램프 구동부(50)에 연결된 구성이다.
이와 같이 구성된 본 고안의 동작 상태 및 작용효과를 첨부된 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
웨이퍼 마킹 장비가 비운전 상태일때 즉, 아이들(Idle) 상태일때는 위상을 제어하는 운전램프구동부(50)의 가변저항(VR1)을 조절하여 제3도의(a)와 같이 다이악(DIAC)을 통한 신호에 의해 구동되는 트라이악(TRIAC)의 턴온 시점을 끝부분에서 시켜줌으로서 램프(10)에 공급되는 전력을 적게 만들기 때문에 빛 밝기가 약하게 되고, 웨이퍼 마킹 장비의 노광시 즉, 운전중일 때에는 무접점 릴레이(20)를 통해 흐르는 전류를 운전램프 구동부(50)의 가변저항(VR2)으로 조절하여 제3도의 (b)와 같이 트라이악(TRIAC)의 턴온시점을 앞부분에서 시켜줌으로서 램프(10)에 공급되는 전력을 크게 만들기 때문에 빛 밝기가 강하게 된다.
이와 같이, 웨이퍼 마킹 장비의 운전중일때와 비운전 중일때를 표시해주는 램프의 밝기차를 저항을 사용한 전류변화로 조절하지 않고 위상을 제어하기 때문에 열발생으로 인한 주변회로의 파괴는 물론 전력의 낭비를 극소화시킬 수 있는 효과를 갖는다.

Claims (1)

  1. 웨이퍼 마킹 장비의 운전 램프 구동회로에 있어서, 직류 바이어스를 걸어주는 브릿지 정류부와, 운전램프 구동부의 가변저항을 조절하는 위상을 제어하는 다이악 및 트라이악을 조절하여 램프의 밝기를 조절할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 장비의 운전램프 구동회로.
KR2019910000506U 1991-01-15 1991-01-15 웨이퍼 마킹 장비의 운전램프 구동회로 KR970003191Y1 (ko)

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