KR930006280Y1 - 웨이퍼 마커의 램프 제어회로 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 마커의 램프 제어회로

제1도는 종래 웨이퍼 마커의 램프 제어회로도.

제2도는 본 고안에 따른 웨이퍼 마커의 램프 제어회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

SSR : 무접점 계전기 DIAC : 다이액

TRIAC : 트라이액 VR1, VR2 : 가변저항

D1-D4 : 다이오드 C1, C2 : 콘덴서

LP : 램프

본 고안은 웨이퍼 마커(Wafer Marker)의 램프 제어회로도에 관한 것으로 특히, 웨이퍼 마커의 램프 수명 및 주변회로에 무리가 없도록 준비상태(STANBY)에서는 소비전력이 낮고, 웨이퍼마킹 작업시에는 램프의 밝기를 조절할 수 있도록 한 웨이퍼 마커의 램프제어 회로도에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼 마커는 반도체소자의 제조공정에서 웨이퍼의 마킹(Marking)작업을 하는 것으로, 웨이퍼 마커의 램프는 마킹동작을 할때 풀(Full)로 턴온되어 마킹작업을 하고, 다음 웨이퍼 마킹 작업을 준비하기 위해 아이들(Idle) 상태로 턴온을 유지한다.

제1도는 종래 웨이퍼 마커의 램프 제어회로도로서, 준비상태인 아이들상태에는 전원전압(AC)이 저항(R)을 통해 램프(LP)에 공급되고, 마킹동작에서는 제어신호(C1,C2)에 의해 턴온되는 무접점계전기(Solid State Relay; SSR)를 통해 상기 전원전압(AC)을 램프(LP)에 공급하도록 구성되었다.

이와 같이 구성된 종래 웨이퍼 마커의 램프제어회로는, 준비상태에서 저항(R, 약 10Ω100w)을 통해 램프(LP)가 구동되므로 어두운 밝기로 턴온된다. 그리고, 마킹하고자 하는 웨이퍼가 마킹준비가 완료되면, 웨이퍼 마커의 시스템 콘트롤러가 제어신호(C1,C2)를 출력하여 무접점계전기(SSR)를 온 시키므로 램프(LP)는 전원전압(AC)을 무접점계전기(SSR)를 통해 인가받아 웨이퍼 마킹에 필요한 밝기로 턴온된다.

그러나, 웨이퍼 마킹작업을 계속으로 반복 수행하는 웨이퍼 마커는 하나의 웨이퍼 마킹이 끝나면 다음 웨이퍼가 준비될때까지 저항(R)을 통해 램프(LP)를 아이들상태로 턴온시키므로 저항(10 100w)에서 소비전력이 많이 발생됨과 아울러 램프(LP)의 수명이 짧아지는 문제점이 있다.

본 고안은 이와 같은 문제점을 감안하여 아이들 상태의 램프구동을 위상제어를 통해 제어하고, 마킹동작의 램프구동은 밝기를 조절할 수 있도록 한 웨이프 마커의 램프 제어회로를 안출한 것으로, 이를 첨부한 도면을 참조해 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 고안에 따를 웨이퍼 마커의 램프제어회로도로서, 이를 도시한 바와 같이 램프(LP)의 일측을 무접점계전기(SSR)의 일측(a)에 연결함과 아울러 트라이액(TRIAC)을 통해서 전원전압(AC)단자에 연결하고, 저항(R1)을 통해서는 콘덴서(C1)를 통해, 저항(R2)을 통해서는 역방향 다이오드(D1)를 통해, 저항(R3)을 통해서는 다이오드(D4)를 통해, 가변저항(VR1)을 통해서는 콘덴서(C2)를 통해 상기 전원전압(AC)단자에 공통연결하며, 시스템 콘트롤러의 제어신호(C1,C2)를 인가받는 상기 무접점계전기(SSR)의 타측(b)을 가변저항(VR2)을 통한후 상기 가변저항(VR1)과 콘덴서(C2)의 접속점에 접속함과 아울러 그 접속점을 다이액(DIAC)을 통해서 상기 트라이액(TRIAC)의 게이트단자에, 다이오드(D2)를 통해서는 상기 저항(R2)과 역방향 다이오드(D1)의 접속점에, 역방향 다이오드(D3)를 통해서는 상기 저항(R3)과 다이오드(D4)의 접속점에 공통연결하여 구성하였다.

이와 같이 구성한 본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 무접점 계전기(SSR)의 일측(a)과 타측(b)단자가 오프상태에 있는 즉, 아이들상태의 램프(LP) 구동의 경우에는 전원전압(AC)이 저항(R1)과 콘덴서(C1)에 의해 잡음이 제거된 후 저항(R2) 및 역방향 다이오드(D1)을 통해 전원전압(AC) 위상의 반파만 공급받아 구동되고, 저항(R3)을 통한 후 다이오드(D3)를 통해서 및 가변저항(VR1)을 통해서 콘덴서(C2)가 충전을 시작하는데, 이 콘덴서(C2)의 충전량이 일정치 이상이 되면, 다이오드(D3)는 턴오프되고 다이오드(D2)는 턴온되면서 역방향 다이오드(D1)0를 턴오프시키므로 전원전압(AC)의 교류신호중 일측 위상이 반파는 차단되고, 타측 위상의 반파만 저항(R3) 및 다이오드(D4)를 통해 전원전압(AC)이 공급되어 램프(LP)는 아이들 상태의 턴온유지를 한다. 여기서, 저항(R3)을 통한후 다이오드(D3)를 통해서 및 가변저항(VR1)을 통해 콘덴서(C2)에 충전되면서 발생하는 그 접속점 전위는 다이액(DIAC)을 턴온시키지 못하여 트라이액(TRIAC)은 턴오프상태를 유지하게 된다. 이와 같은 상태에서 상기 가변저항(VR1)을 조절하여 콘덴서(C2)의 충전전위를 조절할 수 있으므로 아이들상태의 램프(LP) 밝기를 최소로 조절할 수 있다. 그리고, 웨이퍼 마킹 동작의 램프(LP) 구동은 웨이퍼 마커의 시스템 콘트롤러가 제어신호(C1,C2)를 제어출력하여 무접점 계전기(SSR)를 온 시키게 된다. 즉 무접점 계전기(SSR)의 일측(a)0과 타측(b)을 연결시키게 된다. 이에 따라 가변저항(VR1), (VR2)이 병렬연결 상태가 되어 저항값이로 작아지므로, 빛의 밝기를 크게하기 위해서 상기 가변저항(VR2)를 조절하면 콘덴서(C2)의 충전전위는 크게되어 그 충전전위가 다이액((DIAC)을 턴온시켜 트라이액(TRIAC)의 게이트바이어스를 가해 그 트라이액(TRIAAC)을 턴온시킨다.

따라서 상기 트라이액(TRIAC)을 통하는 풀파워(전원전압(AC))가 램프(LP)로 흐르게 되어 웨이퍼 마킹작업에 충분한 밝기로 램프(LP)를 구동시킨다. 즉 가변저항(VR1)을 조절하여 트라이액(TRIAC)의 게이트 바이어스 크기를 조절할 수 있고, 가변저항(VR2)를 조절하여 마킹 동작의 램프(LP) 턴온 밝기를 조절할 수 있다.

따라서, 아이들 상태의 램프(LP) 구동은 저항(R2) 및 역방향 다이오드(D1)를 통하는 반파 위상의 전원전압(AC) 또는 저항(R3) 및 다이오드(D4)를 통하는 반파위상의 전원전압(AC)만을 공급받아 램프(LP)를 구동함과 아울러 가변저항(VR1)을 통해 최소 밝기를 조절할 수 있고, 마킹 동작의 램프(LP)를 구동은 시스템 콘트롤러의 제어(C1,C2)를 받는 무접점 계전기(SSR)의 제어에 따라 가변저항(VR1)을 통해 트라이액(TRIAC)의 게이트 바이어스를 조절하여 그 트라이액(TRIAC)을 통해 램프(LP)를 구동시킴과 아울러 가변저항(VR2)을 통해서는 그 램프(LP)의 밝기를 조절할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은 웨이퍼 마커의 램프 구동제어를 아이들상태에서는 위상제어를 통해 제어하므로 소비전력을 줄일 수 있고 가변저항을 통해 바이어스를 조절하는 트라이액을 통해 마킹동작의 램프구동을 시키므로 시스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 전원전압(AC)을 타측으로 인가받는 램프(LP)의 일측을 무접점계전기(SSR)의 일측(a)에 접속함과 아울러 트라이액(TRIAC)을 통해서 상기 전원전압(AC)단자에 접속하고, 상기 램프(LP)의 일측을 저항(R1)(R2)(R3) 및 가변저항(VR1)의 일측에 각기 접속하여 상기저항(R1)(R2)(R3) 및 가변저항(VR1)의 타측을 콘덴서(C1), 역방향 다이오드(D1), 다이오드(D4) 및 콘덴서(C2)를 각기 통해 전원전압(AC)단자에 접속하며 시스템 콘트롤러의 제어신호(C1)(C2)를 인가받는 상기 무접점계전기(SSR)의 타측(b)을 가변저항(VR2)을 통해 상기 가변저항(VR1)과 콘덴서(C2)의 접속점에 접속함과 아울러 그 접속점을 다이액(DIAC)을 통해서 상기 트라이액(TRIAC)의 게이트단자에 다이오드(D2)를 통해서 상기 저항(R2)과 역방향다이오드(D1)의 접속점에 역방향 다이오드(D3)를 통해서 상기 저항(R3)과 다이오드(D4)의 접속점에 공통접속하여 구성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼마커의 램프제어회로.