KR960042064A - 수직동작식 프로브카드 - Google Patents

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KR960042064A
KR960042064A KR1019950010857A KR19950010857A KR960042064A KR 960042064 A KR960042064 A KR 960042064A KR 1019950010857 A KR1019950010857 A KR 1019950010857A KR 19950010857 A KR19950010857 A KR 19950010857A KR 960042064 A KR960042064 A KR 960042064A
Authority
KR
South Korea
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probe
probe card
vertical spacer
positioning plate
parallel
Prior art date
Application number
KR1019950010857A
Other languages
English (en)
Inventor
마사오 오오쿠보
신이치로오 코자키
테루히사 사카타
케이지 마쯔오카
히로미 마쯔모토
시게미 오오사와
Original Assignee
마사오 오오쿠보
니혼덴시자이료오 카부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

본 발명에 의한 수직동작식 프로브카드는 피검사물의 전기적 특성을 검사하기 위하여 아래쪽에 위치하는 피검사물과 평행하게 놓여 있는 프린트기판(200)과 상기한 프린트기판의 이면으로부터 수직적으로 뻗은 다수의 프로브(100)를 보유하는 프로브카드(300)의 조합으로서, 프린트기판(200)의 이면으로부터 수직적으로 아래방향으로 장착된 제1수직스페이서(310)와, 프린트기판과 평행하고 제1수직스페이서(310)의 아래끝부분과 연결되어 있는 제1위치결정판(320)과, 상기한 제1수직스페이서(310)로부터 연장되어 수직적으로 아래방향으로 장착된 제2수직스페이서(330)와, 프린트기판과 평행이고 제2수직스페이서의 아래끝부분과 연결되어 있는 제2위치결정판(340)으로 구성되어 있으며, 상기한 제1과 제2위치결정판은 프로브가 관통하여 피검사물과 접촉하도록 프로브와 같은 위치에 같은 수의 관통구멍을 보유하고 있고 각 프로브는 제1위치결정판과 제2위치결정판 사이에 길이방향으로 굴곡부 또는 U자형상의 만곡부를 보유하고 있다.

Description

수직동작식 프로브카드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 관한 수직동작식 프로브카드의 개략적인 평면도, 제5도는 본발명의 2실시예에 관한 수직동작식 프로브카드의 개략적인 평면도.

Claims (6)

  1. 피검사물의 전기적 특성을 검사하기 위하여 피검사물위에 형성된 전극위에 접촉하도록 수직적으로 움직이는 프로브로 구성되어 있으며 상기한 프로브는 굴곡부(110)또는 U자형상의 만곡부(510)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
  2. 재1항에 있어서, 상기 인접한 프로브의 굴곡부(110) 또는 U자형사의 만곡부(510)가 같은 방향으로 좌굴되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
  3. 재1항에 있어서, 상기 인접한 프로브의 굴곡부(110) 또는 U자형사의 만곡부(510)가 반대 반대방향으로 좌굴되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
  4. 피검사물의 전기적 특성을 검사하기 위하여 아래쪽에 위치하는 피검사물과 평행하게 놓여 있는 프린트기판(200)과 상기한 프린트기판(200)의 이면으로부터 수직적으로 뻗은 다수의 프로브(100)를 보유하는 프로브카드(300)의 조합으로서, 상기한 프린트기판(200)의 이면으로부터 수직적으로 아래방향으로 장착된 제1수직스페이서(310)와, 상기한 프린트기판과 평행이고 제1수직스페이서의 아래끝부분과 연결되어 있는 제1위치결정판(320)과, 상기한 제1수직스페이서로부터 연장되어 수직적으로 아래방향으로 장착된 제2수직스페이서(330)와, 상기한 프린트기판(200)과 평행이고 제2수직스페이서(330)의 아래끝부분과 연결되어 있는 제2위치결정판(340)으로 구성되어 있으며, 상기한 제1과 제2위치결정판은 프로브(100)가 관통하여 피검사물과 접촉하도록 프로브와 같은수, 같은 위치에 관통구멍을 보유하고 있으며 각 프로브(100)는 제1위치결정판(320)과 제2위치 결정판(340) 사이에 길이방향으로 굴곡부(110) 또는 U자형상의 만곡부를 보유하는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
  5. 제4항에 있어서, 상기 인접한 프로브의 굴곡부(110) 또는 U자형상의 만곡부가 같은 방향으로 좌굴되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
  6. 제4항에 있어서, 상기 인접한 프로브의 굴곡부(110) 또는 U자형상의 만곡부가 반대 방향으로 좌굴되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 수직동작식 프로브카드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950010857A 1995-05-03 1995-05-03 수직동작식 프로브카드 KR960042064A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100920230B1 (ko) * 2007-11-22 2009-10-05 삼성전기주식회사 기판 검사 장치

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