KR960040087A - 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 - Google Patents

저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 저렴한 원료물질을 사용하면서 매우 간단한 공정으로써 광학적으로 투명하고 전기 전도도가 우수한 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명의 방법은 유리기판에 저전기저항의 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료용액을 제조하는 단계; 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성시킬 유리기판을 전처리하는 단계; 상기 유리기판을 예열하는 단계; 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계; 상기 원료용액으로부터 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계; 상기 도전막성분이 형성된 유리기판을 열처리하는 단계로 이루어지며, 본 발명의 장치는 대규모의 유리기판을 고온으로 유지할 수 있는 챔버; 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위하여 원료용액을 상기 챔버로 내부로 분사하는 용액 분사 수단; 및 상기 챔버에서 대규모의 유리기판에 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성한 후 발생하는 폐증기를 포집하기 위한 폐증기 포집 수단을 구비한다.

Description

저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조 공정을 순차적으로 나타낸 공정 순서도, 제2도는 본 발명의 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조장치의 나타낸 개략도.

Claims (12)

  1. 유리기판에 저전기저항의 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료용액을 제조하는 단계; 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성시킬 유리기판을 전처리하는 단계; 상기 유리기판을 예열하는 단계; 상기 원료용액으로 부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계; 상기 원료용액으로부터 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계; 상기 도전막성분이 형성된 유리기판을 열처리하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료 용액은 증기압이 높지 않은 용액을 사용함을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 원료용액은 염화주석을 함유하는 알콜 용액임을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 원료용액을 제조하는 단계는 SnCl4. xH2O 분말을 알콜에 용해시키면서 이 용액의 pH를 1이하로 조절하기 위하여 연산 용액을 첨가함을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 유리기판을 전처리하는 단계는 유리기판을 통상의 세제를 이용하여 표면의 이물질을 1차 세척하고, 이어서 그 유리기판을 수산화나트륨이 포화된 알콜 용액에 침지하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 유리기판을 예열하는 단계는 450 내지 550℃의 고온으로 유지되는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계는 상기 용액을 고온에서 분사하거나, 또는 상기 용액을 분사하면서, 분사된 용액에 초음파 진동을 부여하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계에서 상기 용액을 분사시키기 위하여 고압의 혼합가스가 사용되며, 상기 혼합가스는 질소가스 대 산소가스의 혼합비가 1∼3 : 1 인 혼합 가스인 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계는 상기 원료용액을 용액 분사 장치에 주입하여 520℃의 고온으로 유지되고 있는 챔버에 분사하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 원료용액이 증착된 유리기판을 열처리하는 단계는 상기 유리기판의 예열 온도와 동일한 450∼550℃의 온도에서 5분 내지 4시간동안 처리하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  11. 대규모의 유리기판을 고온으로 유지할 수 있는 챔버; 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위하여 원료용액을 상기 챔버 내부로 분사하는 용액 분사 수단; 및 상기 챔버에서 대규모의 유리기판에 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성한 후 발생하는 폐증기를 포집하기 위한 폐증기 포집수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 용액분사수단에 의하여 챔버 내부에 분사된 용액을 미세한 액적으로 형성시키기 위한 초음파 진동소자를 구비한 증기 발생수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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