KR960040087A - 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 - Google Patents
저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960040087A KR960040087A KR1019950008068A KR19950008068A KR960040087A KR 960040087 A KR960040087 A KR 960040087A KR 1019950008068 A KR1019950008068 A KR 1019950008068A KR 19950008068 A KR19950008068 A KR 19950008068A KR 960040087 A KR960040087 A KR 960040087A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- conductive film
- glass substrate
- raw material
- solution
- resistance transparent
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract 26
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 20
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract 16
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 claims 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
- H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
- H05B3/265—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base the insulating base being an inorganic material, e.g. ceramic
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/84—Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/017—Manufacturing methods or apparatus for heaters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
본 발명은 저렴한 원료물질을 사용하면서 매우 간단한 공정으로써 광학적으로 투명하고 전기 전도도가 우수한 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명의 방법은 유리기판에 저전기저항의 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료용액을 제조하는 단계; 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성시킬 유리기판을 전처리하는 단계; 상기 유리기판을 예열하는 단계; 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계; 상기 원료용액으로부터 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계; 상기 도전막성분이 형성된 유리기판을 열처리하는 단계로 이루어지며, 본 발명의 장치는 대규모의 유리기판을 고온으로 유지할 수 있는 챔버; 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위하여 원료용액을 상기 챔버로 내부로 분사하는 용액 분사 수단; 및 상기 챔버에서 대규모의 유리기판에 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성한 후 발생하는 폐증기를 포집하기 위한 폐증기 포집 수단을 구비한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조 공정을 순차적으로 나타낸 공정 순서도, 제2도는 본 발명의 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조장치의 나타낸 개략도.
Claims (12)
- 유리기판에 저전기저항의 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료용액을 제조하는 단계; 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성시킬 유리기판을 전처리하는 단계; 상기 유리기판을 예열하는 단계; 상기 원료용액으로 부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계; 상기 원료용액으로부터 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계; 상기 도전막성분이 형성된 유리기판을 열처리하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위한 원료 용액은 증기압이 높지 않은 용액을 사용함을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 원료용액은 염화주석을 함유하는 알콜 용액임을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 원료용액을 제조하는 단계는 SnCl4. xH2O 분말을 알콜에 용해시키면서 이 용액의 pH를 1이하로 조절하기 위하여 연산 용액을 첨가함을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 유리기판을 전처리하는 단계는 유리기판을 통상의 세제를 이용하여 표면의 이물질을 1차 세척하고, 이어서 그 유리기판을 수산화나트륨이 포화된 알콜 용액에 침지하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 유리기판을 예열하는 단계는 450 내지 550℃의 고온으로 유지되는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계는 상기 용액을 고온에서 분사하거나, 또는 상기 용액을 분사하면서, 분사된 용액에 초음파 진동을 부여하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 원료용액으로부터 상기 도전막성분의 증기를 형성하는 단계에서 상기 용액을 분사시키기 위하여 고압의 혼합가스가 사용되며, 상기 혼합가스는 질소가스 대 산소가스의 혼합비가 1∼3 : 1 인 혼합 가스인 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 증기화된 도전막성분을 상기 예열된 유리기판에 형성하는 단계는 상기 원료용액을 용액 분사 장치에 주입하여 520℃의 고온으로 유지되고 있는 챔버에 분사하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 원료용액이 증착된 유리기판을 열처리하는 단계는 상기 유리기판의 예열 온도와 동일한 450∼550℃의 온도에서 5분 내지 4시간동안 처리하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 대규모의 유리기판을 고온으로 유지할 수 있는 챔버; 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성하기 위하여 원료용액을 상기 챔버 내부로 분사하는 용액 분사 수단; 및 상기 챔버에서 대규모의 유리기판에 저전기저항 투명 발열 도전막을 형성한 후 발생하는 폐증기를 포집하기 위한 폐증기 포집수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법.
- 제11항에 있어서, 상기 용액분사수단에 의하여 챔버 내부에 분사된 용액을 미세한 액적으로 형성시키기 위한 초음파 진동소자를 구비한 증기 발생수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950008068A KR0150720B1 (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 저전기저장 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950008068A KR0150720B1 (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 저전기저장 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960040087A true KR960040087A (ko) | 1996-11-25 |
KR0150720B1 KR0150720B1 (ko) | 1998-12-15 |
Family
ID=19411697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950008068A KR0150720B1 (ko) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 저전기저장 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR0150720B1 (ko) |
-
1995
- 1995-04-07 KR KR1019950008068A patent/KR0150720B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0150720B1 (ko) | 1998-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR970067726A (ko) | 프레온 가스의 처리 방법 및 처리 장치 | |
KR960036140A (ko) | 반도체 장치 제작 방법 | |
ES8101255A1 (es) | Procedimiento perfeccionado de produccion de frio y-o calor segun un ciclo de absorcion | |
DE69024938D1 (de) | Verfahren zur darstellung dampfförmiger reagenzien für die chemische abscheidung aus der dampfphase | |
KR960040087A (ko) | 저전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 | |
GB1134838A (en) | A method of treating glass articles | |
IT1274182B (it) | Procedimento per produrre un elettroco a gas | |
JPH01201048A (ja) | ガラス容器表面の改質方法 | |
KR860002550A (ko) | 카본블랙의 제조방법 | |
KR960040086A (ko) | 고전기저항 투명 발열 도전막의 제조방법 및 장치 | |
DE69715395D1 (de) | Verfahren zur herstellung von efonidipinhaltigen arzneimitteln | |
TW373105B (en) | 2-terminal nonlinear shape component and its fabricating method | |
KR950012505A (ko) | 기구부품 및 이 부품에 막을 형성하는 방법 | |
KR910009276A (ko) | 하르파고시드 함유 엑기스의 추출방법 | |
JP3660372B2 (ja) | 透明導電性薄膜の製造方法 | |
GB887755A (en) | An improved method of siliconising a vitreous surface | |
DE69109461D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von distickstoffpentoxid. | |
SU126612A1 (ru) | Способ получени полимерных хелатных соединений | |
KR900017175A (ko) | 반도체박막의 형성방법 | |
IDA et al. | Chemical reaction of carbonyl group on diamond surface with LiAlH4 | |
SU384541A1 (ru) | Способ изготовления электродов из двуокиси марганца | |
DD206269A1 (de) | Verfahren zum aufbringen von schichten in hohlkoerpern | |
Lee | Control of vector properties in vibrationally mediated photodissociation near asymmetric resonances | |
KR970015548A (ko) | 폴리테트라플루오르에틸렌으로부터 테트라플루오르에틸렌을 제조하기 위한 연속공정 | |
KR960019571A (ko) | 오존고압 산화방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20110615 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |