KR960039263A - 구성요소, 특히 전기반도체 구성요소의 처리설비 또는 시스템내에서 사용하는 장치 - Google Patents

구성요소, 특히 전기반도체 구성요소의 처리설비 또는 시스템내에서 사용하는 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR960039263A
KR960039263A KR1019960010188A KR19960010188A KR960039263A KR 960039263 A KR960039263 A KR 960039263A KR 1019960010188 A KR1019960010188 A KR 1019960010188A KR 19960010188 A KR19960010188 A KR 19960010188A KR 960039263 A KR960039263 A KR 960039263A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
slide
component
axis
slides
tool
Prior art date
Application number
KR1019960010188A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100375955B1 (ko
Inventor
질너 게오르그
Original Assignee
카밀라 질너
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 카밀라 질너 filed Critical 카밀라 질너
Publication of KR960039263A publication Critical patent/KR960039263A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100375955B1 publication Critical patent/KR100375955B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
  • Electric Cable Installation (AREA)

Abstract

본 발명은 구성요소, 특히 전기반도체 구성요소를 처리하는 설비 또는 시스템내에 사용하는 장치로서, 구성요소를 안정하고, 구성요소를 잡고있는 적어도 하나의 공구를 진동시키는 수단이 제공되어 있는 장치의 새로운 구성에 관한 것이다. 이러한 장치는 완전한 기능을 발휘할 수 있는 조밀한 모듈로서 형성되어 있고, 이 모듈은 작업스테이션 또는 이와 같은 작업스테이션의 일부로서 전기반도체 구성요소를 처리하는 설비 또는 시스템내에 사용할 수 있다.

Description

구성요소, 특히 전기반도체 구성요소의 처리설비 또는 시스템내에서 사용하는 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 전기구성요소(SMD-반도체구성요소)의 전기 측정을 위한 측정스테이션을 도시한 확대도 및 단면도.

Claims (23)

  1. 구성요소, 특히 전기반도체 구성요소(2)를 처리하는 설비 또는 시스템내에 사용되고, 구성요소(2)를 인장하거나, 구성요소(2) 붙잡는 적어도 하나의 공구(61, 41, 42, 50)를 작동시키는 수단이 제공되어 있는 장치로서, 이 장치(1, 1a, 1b)가 완전히 가능할 수 있는 조밀한 구성단위로서 형성되어 있고, 케이스(17, 52)내에는 제1축방향(Y축)으로 적어도 하나의 출발위치와 하나의 작업위치사이를 이동할 수 있는 적어도 하나의 슬라이드(19, 20, 19a, 20a, 26, 27, 26b)가 제공되어 있고, 이러한 슬라이드가 구성부재(2)를 인장하거나, 공구를 작동시키는데 작용하고, 케이스(17)내에는 제1축방향(Y축)에 대하여 수직으로 뻗어있는 제2축방향(X축)으로 조종슬라이드(21, 21a)가 하나의 출발위치와 적어도 하나의 작업위치 사이를 이동할 수 있게 제공되어 있고, 조종슬라이드(21, 21a)에 슬라이드(19, 20, 19a, 20a, 26, 37, 26b)의 캠(35)이 그 강제조종을 위하여 맞물리는 조종커브(30-34, 36, 36′)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 케이스(17)내에는 적어도 2개의 슬라이드(19, 20, 19a, 20a, 26, 37)가 제공되어 있고, 그중 적어도 하나의 제1슬라이드가 구성부재(2)를 인장하고, 적어도 하나의 제2슬라이드가 공구를 작동시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 조종커브(30-34, 36, 36′)가 조종슬라이드(21, 21a)가 출발위치에서 작업위치로 이동할 때마다, 공구가 작동되기 전에, 먼저 구성요소(2)를 인장하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항 내지 제2항중 한항에 있어서, 조종슬라이드(21, 21a, 54)가 플런저와 같이 작동할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항 내지 제4항중 한항에 있어서, 제1슬라이드(26, 37)가 특히, 매트릭스로서 형성된 하나의 수용부(27, 40)와 협동함으로써 구성요소(2)를 이러한 수용부와 컨베이더(12)의 홀더(10)에 의하여 형성되는 하나의 반대면 사이에 끌어당기는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항 내지 제5항중 한항에 있어서, 그 상부측면에 의하여 홀더(10)에 유지되는 구성요소(2)가 매트릭스 또는 수용부(7, 27, 40)에 의하여 하측면에 인장되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항 내지 제6항중 한항에 있어서, 구성요소(2)가 장치(1, 1a)에 있는 벨트 컨베이어(12)에 의하여 축방향(Z축)방향으로 이동 할 수 있고, 조종 슬라이드(21, 21a)의 이동방향이 이러한 이동의 축방향(Z축)에 대하여 수직으로 놓여있는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항 내지 제7항중 한항에 있어서, 슬라이드(19, 20, 19a, 20a, 26, 37)의 이동과 조종슬라이드(21, 21a)의 이동방향(X축)이 하나의 공동평면내에 놓여있고, 이러한 평면이 구성요소(2)용 컨베이어(12)의 이동방향(Z축)에 대하여 수직방향으로 놓여있는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항 내지 제8항중 한항에 있어서, 조종슬라이드(21, 21a, 54)가 적어도 하나의 반동스프링(22)에 의하여 그 출발위치에 인장되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제1항 내지 제9항중 한항에 있어서, 조종슬라이드(21, 21a)를 작동시키는 외부구동장치(24)가 제공되어 있고, 이러한 구동장치에 예를 들면, 편심륜구동장치에 의하여 움직이는 회전레버(24)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제1항 내지 제10항중 한항에 있어서, 케이스(17)내로 밀려들어 갈 수 있는 플런저(23)가 제공되어 있고, 이러한 플런저를 거쳐 조종슬라이드(21, 21a)가 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제1항 내지 제11항중 한항에 있어서, 공구가 측정접점(6)인 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 각 층정접점이 판스프링 모양으로 형성되어 있고, 측정에 이용되는 자유단부(6')와 인장되는 단부(6")가 제공되어 있고, 각 층정접점(6)에는 제2슬라이드(19, 20)에 제공되어 있는 캠(8, 9)이 병렬되어 있고, 이러한 캠이 2개의 단부(6', 6")사이에서, 측정접점(6)이 출발위치에서 그 고유탄성에 의하여 작업위치로 이동할 수 있도록 측정접점에 작용하는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제13항에 있어서, 각 캠(8, 9)에 다수의 측정접점(6)이 병렬되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서, 하나의 측정접점쌍을 형성하는 적어도 2개의 측정접점들이 하나의 측정평면(E)의 양측으로 제공되어 있고, 평면의 일측면상에 있는 측정접점(6)에는 제2슬라이드(19)에 제공되어 있는 캠(8)이, 평면의 또다른 측면상에 있는 측정접점(6)에는 캠(9)이 또다른 제2슬라이드(20)에 병렬되어 있고, 2개의 슬라이드(19, 20)가 조종슬라이드(21)에 의하여 서로 반대방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제1항 내지 제15항중 한항에 있어서, 제2슬라이드(19, 20)가 모두 조종슬라이드(21)에 의하여 동기적으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제1항 내지 제16항중 한항에 있어서, 하나의 제1슬라이드(19, 20)에 제공되어 있는 하나의 캠(8, 9)에 의하여 다수의 측정접점(6)이 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제1항 내지 제17항중 한항에 있어서, 매트릭스 또는 이러한 매트릭스를 형성하는 수용부(27)가 스프링(28)에 의하여 구성요소(2)를 인장하는 위치에 잡아당겨져 있고, 제1슬라이드(26)가 작업위치에서 수용부(27)를 풀어주고, 출발위치에서는 인장스프링(28)의 작용으로 제자리에 머물러 있게 하는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제1항 내지 제18항중 한항에 있어서, 적어도 하나의 제1슬라이드(19a, 20a)에 벤딩공구(41, 42)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제1항 내지 제19항중 한항에 있어서, 구성요소(2)용 홀더(10)의 이동로 양측으로 2개의 제1슬라이드(19, 20; 19a, 20a)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제1항 내지 20항중 한항에 있어서, 제1 및 제2슬라이드용으로 하나의 공동조종슬라이드(21, 2a)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제1항 내지 제21항중 한항에 있어서, 홀더가 진공홀더, 집게, 자기홀더 등으로 되어있는 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제1항 내지 제22항중 한항에 있어서, 하나의 또다른 조종슬라이드(54)와 이러한 조종슬라이드에 의하여 축(Y축) 둘레를 전후로 선회하고, 조종홈(58)이 제공된 하나의 조종링(57)에 의하여, 공구 또는 조정공구를 형성하는 적어도 하나의 슬라이드를 조종하는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960010188A 1995-04-12 1996-04-04 소자,특히 반도체 소자를 처리하는 설비 또는 시스템에서 사용되는 장치 KR100375955B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19513812 1995-04-12
DE19513812.0 1995-04-12
DE19610462.9 1996-03-16
DE19610462A DE19610462C2 (de) 1995-04-12 1996-03-16 Vorrichtung oder Arbeitsstation zur Verwendung in einer Anlage zum Behandeln von elektrischen Bauelementen, insbesondere elektrischen Halbleiter-Bauelementen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960039263A true KR960039263A (ko) 1996-11-21
KR100375955B1 KR100375955B1 (ko) 2003-05-12

Family

ID=7759514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960010188A KR100375955B1 (ko) 1995-04-12 1996-04-04 소자,특히 반도체 소자를 처리하는 설비 또는 시스템에서 사용되는 장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100375955B1 (ko)
DE (1) DE19610462C2 (ko)
MY (1) MY119369A (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10027042B4 (de) * 2000-06-02 2005-07-14 Georg Rudolf Sillner Vorrichtung zum Messen, insbesondere Hochfrequenzmessen von elektrischen Bauelementen
DE10128121A1 (de) * 2001-06-09 2003-01-09 Georg Rudolf Sillner Vorrichtung zum elektrischen Prüfen oder Messen von elektrischen Bauelementen
CN116978847B (zh) * 2023-09-22 2023-12-12 山东汉旗科技有限公司 一种具有位置监测装置的晶圆载台

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4047780A (en) * 1976-04-07 1977-09-13 Cedrone Nicholas J Test contactor system for semiconductor device handling apparatus
DE4107387A1 (de) * 1991-03-08 1992-09-10 Protech Automation Gmbh Pruefvorrichtung fuer elektrische komponenten

Also Published As

Publication number Publication date
DE19610462C2 (de) 2000-02-03
DE19610462A1 (de) 1996-10-17
MY119369A (en) 2005-05-31
KR100375955B1 (ko) 2003-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2003029874A3 (en) Switching device, in particular for optical applications
JPH0276439U (ko)
KR940006897A (ko) 물체그룹화 장치
KR960039263A (ko) 구성요소, 특히 전기반도체 구성요소의 처리설비 또는 시스템내에서 사용하는 장치
EP0192102A3 (en) Improvements in devices for applying terminals and similar metal elements to conductors, lengths of elastic material and the like
EP0845935A3 (en) Circuit-component transferring apparatus
DE3375535D1 (en) Switching device, in particular for limit switches or press button limit switches
DE50212040D1 (de) Armlehne mit beweglicher Armauflage, insbesondere für Fahrzeuge
SE8803440D0 (sv) Anordning for overforing av foremal
EP0997379A3 (en) Conveying apparatus
KR920018792A (ko) 전기 스위치용 작동기
DE59007273D1 (de) Vorrichtung zum entnehmen von gegenständen aus einem formraum.
ATE44191T1 (de) Schalter mit schwenkbarem kontakttraeger.
EP0758133A3 (en) Precision double-pole single-throw switch assembly
DE69019130D1 (de) Vertikalbewegungsabhängige Stellvorrichtung für parallele Hilfsfeder.
ES2086423T3 (es) Dispositivo de conexion para un aparato de conmutacion.
JPH07171720A (ja) クリップ装着装置
RU2030140C1 (ru) Устройство для поверхностного монтажа изделий, преимущественно радиоэлементов
US2978548A (en) Sequential switch operator assemblies
JPH0481907A (ja) 微小位置決め装置
JPH11145582A (ja) プリント基板検査装置
SU1465258A1 (ru) Устройство дл контрол крайних положений подвижного узла
JPH1038782A (ja) ２次元移動ステージ
BR8107671A (pt) Dispositivo de contato
SU1457039A1 (ru) Устройство дл подготовки электрических проводов к монтажу

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee