KR960031657A - 고압 Nd : YVO_4단결정 성장 장치 및 방법 - Google Patents

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KR960031657A KR1019950002077A KR19950002077A KR960031657A KR 960031657 A KR960031657 A KR 960031657A KR 1019950002077 A KR1019950002077 A KR 1019950002077A KR 19950002077 A KR19950002077 A KR 19950002077A KR 960031657 A KR960031657 A KR 960031657A
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한재용
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 레이저 발진 특성이 매우 우수한 것으로 알려진 Nd : YVO4단결정을 성장시키는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치 및 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치 및 방법은 성장로를 밀폐하여 성장로 내어 불활성 기체를 주입하여 그 기압을 1.2기압 정도로 유지시키면서 Nd : YVO4단결정을 성장시켜, V2O5및 산소의 분해, 휘발을 억제함으로써, 광학적 고품질의 YVO4단결정 또는 Nd : YVO4단결정을 성장시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치의 개략적구조도이다.

Claims (11)

  1. 밀폐된 결정 성장로; 상기 성장로 내부에 원료 용융을 위하여 설치된 도가니; 상기 도가니를 가열하기위한 가열 수단; 상기 성장로에 혼합 기체를 소정의 기압이 되도록 공급하기 위한 기체 혼합 수단; 상기 성장로로부터 배출되는 상기 혼합 기체의 양을 측정하기 위한 기체 유량계; 상기 성장로로부터 배출되는 상기 혼합기체의 압력을 측정하기 위한 기체 압력계를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 성장로는 그 내부의 기압이 1~1.2기압으로 유지되는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 도가니는 이리듐 도가니인 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이리듐 도가니는 직경 50㎜, 두께 1.5㎜인 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가열 수단은 고주파 가열 수단인 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기체 혼합 수단은 질소 또는 불활성 기체에 산소를 0.1~2% 섞은 것을 1000㏄ 정도 흘려주는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 장치.
  7. 도가니 내부에 Nd : YVO4단결정 성장용 원료를 주입하는 단계; 상기 성장로 내부에 혼합 기체를 주입하면서 소정의 기압으로 압력을 높이는 단계; 상기 원료가 주입된 도가니를 가열하여 상기 원료를 용융시키는 단계; 상기 용융된 원료에 종자 결정을 담가 소정의 시딩(seeding) 온도를 찾는 단계; 상기 시딩 온도에서 종자 결정을 소정의 회전수로 회전시키면서 소정의 속도로 인상시켜 소정의 직경이 되도록 결정을 성장시키는 단계; 상기 성장되는 결정이 소정의 직경으로 성장되도록 소정의 온도로 상기 도가니의 온도를 조절하는 단계; 상기 성장 결정이 소정의 길이로 성장하면 상기 결정을 상기 용융된 원료에서 분리시키고 상기 성장로의 온도를 상온까지 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 혼합 기체는 질소 또는 불활성 기체에 산소를 0.1~2% 썩는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 성장로의 기압을 높이는 단계는 상기 혼합 기체를 흘려주면서 1.2~2기압까지 높이는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 소정의 회전수는 10rpm이고, 상기 소정의 속도는 1~2㎜/hr인 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 온도 조절단계는 상기 결정이 직경 15~20㎜가 되도록 조절하는 것을 특징으로 하는 고압 Nd : YVO4단결정 성장 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950002077A 1995-02-06 1995-02-06 고압 Nd : YVO_4단결정 성장 장치 및 방법 KR960031657A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100320586B1 (ko) * 1999-10-21 2002-01-18 정세영 고압 결정성장장치

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KR100320586B1 (ko) * 1999-10-21 2002-01-18 정세영 고압 결정성장장치

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