KR960027001A - 압전 소자 재료 및 그 제조 방법 - Google Patents

압전 소자 재료 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR960027001A
KR960027001A KR1019940036898A KR19940036898A KR960027001A KR 960027001 A KR960027001 A KR 960027001A KR 1019940036898 A KR1019940036898 A KR 1019940036898A KR 19940036898 A KR19940036898 A KR 19940036898A KR 960027001 A KR960027001 A KR 960027001A
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오용수
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이형도
삼성전기 주식회사
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Abstract

본 발명은 압전 소자 재료 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 압전 필터, 압전 부저, 압전 진동자, 초음파 진동자, 압전 액츄에이터등에 응용할 수 있는 압전 소자 재료 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 압전 소자 재료 및 그 제조 방법은 일반식 Pb(Mg1/3Nb2/3)a(Ti)b(Zr)cO3(단, a=0.04~0.69, b=0.30~0.52, c=0.01~0.62, a+b+c=1)로 표시되는 고용체를 주성분으로 하고, Li2O 및 MnO2가 부성분으로 배합하여 압전 소자 재료를 제조함으로써, 저온에서의 소결이 가능하고, 더욱이 기계적 품질 계수Q가 높으면, 전기-기계 결합 계수 Kr이 향상되는 효과가 있으며, 이렇게 성형된 압전 재료는 압전 콘덴서, 압전 필터 및 압전 액츄에이터 등에 응용할 수 있는 탁월한 장점이 있다.

Description

압전 소자 재료 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (11)

  1. 일반식 Pb(Mg1/3Nb2/3)a(Ti)b(Zr)cO3(단, a=0.04~0.69, b=0.30~0.52, c=0.01~0.62, a+b+c=1)로 표시되는 고용체를 주성분으로 하고, Li2O 및 MnO2가 부성분으로 함유된 조성물로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주성분고용체는 부성분으로 각각 0.01~5.0중량%의 Li2O및 MnO2를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료.
  3. 제1항에 있어서, 상기 고용체는 Pb(Mg1/3Nb2/3)0.375Ti0.375Zr|0.25O3의 식으로 표시되는 조성물로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료.
  4. 일반식 Pb(Mg1/3Nb2/3)a(Ti)b(Zr)cO3(단, a=0.04~0.69, b=0.30~0.52, c=0.01~0.62, a+b+c=1)로 표시되는 고용체를 주성분으로 하고, Li2O 및 MnO2가 부성분으로 함유된 조성물로 이루어진 압전 소자 재료의 제조 방법에 있어서, 상기 조성물을 650~850℃에서 가소하는 단계; 상기 가소된 조성물을 분쇄하는 단계; 상기 분쇄된 조성물에 바인더를 첨가하여 성형하는 단계; 그리고 상기 성형된 조성물을 850~1250℃에서 소성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 주성분 고용체는 부성분으로 각각 0.01∼5.0중량%의 Li2O 및 MnO2를 함유시키는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 고용체는 Pb(Mg1/3Nb2/3)0.375TiO0.375O3의 식으로 표시되는 조성물로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 가소하는 단계는 750℃의 온도에서 2시간 동안 가소하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 분쇄하는 단계는 습식 분쇄하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  9. 제4항 또는 제8항에 있어서, 상기 분쇄하는 단계 바로 다음에 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  10. 제4항에 있어서, 상기 성형하는 단계는 1.5ton/cm2의 압력으로 직경20㎜, 두께 1㎜의 원판 상으로 가압성형하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
  11. 제4항에 있어서, 상기 소성하는 단계는 950∼1250℃의 온도에서 4시간 소성하는 것을 특징으로 하는 압전 소자 재료의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100754233B1 (ko) * 1999-06-19 2007-09-03 로베르트 보쉬 게엠베하 온도 보상기를 포함하는 압전 액추에이터

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KR100754233B1 (ko) * 1999-06-19 2007-09-03 로베르트 보쉬 게엠베하 온도 보상기를 포함하는 압전 액추에이터

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