KR960026095A - 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치 - Google Patents
반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 레티클의 회전 변위(rotation)뿐만 아니라 기울어짐(tilting)정도를 감지하여 정교하게 조정, 정렬함으로써 레티클의 회로 패턴을 충실하게 재현시킬 수 있도록 한 것인바, 이러한 본 발명은 레티클의 정렬마크에 측정광을 조사하여 반사된 빛의 인텐서티를 측정하고 각 정렬마크에서 반사되는 빛의 인텐서티 차이로 포커스를 감지하는 단계, 웨이퍼스테이지의 기준마크에 참조광을 조사하여 반사된 빛으로부터 측정된 인텐서티와 상기 측정광의 인턴서티를 비교하여 레티클의 틸트 정도를 검출하는 단계 및 상기 측정광과 참조광의 인텐서티 비교단계에서 검출된 틸트정도를 레티클 스테이지에 부착된 구동모터에 피드-백시켜 틸트된 레티클을 미세 정렬하는 단계를 포함하여 이루어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 레티클 보상장치의 구조 및 보상방법 설명도, 제2도는 본 발명에 사용되는 레티클의 평면도.
Claims (2)
- 레티클의 정렬마크에 측정광을 조사하여 반사된 빛의 인텐서티를 측정하고, 각각 정렬마크에서 반사되는 빛의 인텐서티 차이로 포커스를 감지하는 단계; 웨이퍼 스테이지의 기준마크에 참조광을 조사하여 반사된 빛으로부터 측정된 인텐서티와 상기 측정광의 인턴서티를 비교하여 레티클의 틸트 정도를 검출하는 단계; 및 상기 측정광과 참조광의 인텐서티 비교단계에서 검출된 틸트 정도를 레티클 스테이지에 부착된 구동모터에 피드-백시켜 틸트된 레티클을 미세 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법.
- 레티클의 정렬마크에 측정광을 조사하기 위한 조명계와, 상기 정렬마크에서 반사되는 빛의 경로를 변환시키기 위한 빔 스플리터와, 이 빔 스플리터로부터 입력된 빛의 인텐서티를 측정하는 센서로 구성되어, 각각의 정렬마크에서 반사되는 측정광의 인텐서티 차이로 포커싱을 감지하는 포커싱감지수단; 웨이퍼 스테이지의 기준마크에 참조광을 조사하기 위한 조명계와, 상기 기준마크에서 반사되는 빛의 경로를 변환시키기 위한 빔스플리터와, 이 빔 스플리터로부터 입력된 빛의 인텐서티를 측정하는 센서로 구성된 기준파발생수단; 상기 포커싱감지수단과 기준파발생수단의 센서에서 측정된 측정광의 인텐서티와 참조광의 인텐서티를 비교하여 레티클의 틸팅 정도를 검출하는 비교수단; 및 상기 비교수단의 검출신호를 받아 구동하면서 각 센서간 인텐서티가 같아지도록 레티클 스테이지를 이동시키는 구동수단을 구비하여 레티클의 기울어짐을 보상하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037790A KR960026095A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037790A KR960026095A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960026095A true KR960026095A (ko) | 1996-07-22 |
Family
ID=66769763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940037790A KR960026095A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 노광장비의 레티클 기울기 보상방법 및 그 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960026095A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101273800B1 (ko) * | 2006-02-02 | 2013-06-11 | 엘지전자 주식회사 | 마스크리스 노광기의 정렬장치 |
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1994
- 1994-12-28 KR KR1019940037790A patent/KR960026095A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101273800B1 (ko) * | 2006-02-02 | 2013-06-11 | 엘지전자 주식회사 | 마스크리스 노광기의 정렬장치 |
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