KR960025435U - 반도체 소자 제조장비의 웨이퍼 스테이지 - Google Patents
반도체 소자 제조장비의 웨이퍼 스테이지Info
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940038249U KR960025435U (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체 소자 제조장비의 웨이퍼 스테이지 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940038249U KR960025435U (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체 소자 제조장비의 웨이퍼 스테이지 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960025435U true KR960025435U (ko) | 1996-07-22 |
Family
ID=60853305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940038249U KR960025435U (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 반도체 소자 제조장비의 웨이퍼 스테이지 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960025435U (ko) |
-
1994
- 1994-12-30 KR KR2019940038249U patent/KR960025435U/ko not_active Application Discontinuation
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