KR960019562A - 프라즈마- 화학적 코팅 기법 - Google Patents
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Abstract
사용 : 프라즈마 기법에 있어서, 대체로 비임-프라즈마 방전에 의한 진공 그속 표면가공과 무기 필름들의 합성에 사용.
본 발명의 주제 : 사용단편과 고체 무기 물질을 포함하는 전송-위치선정 장치는 사용챔버 내부에 위치되고, 나중에 진공상태로 되며, 사용가스는 챔버 내부로 주입되어진다. 그리고 사용단편 표면 처리 영역에서, 증기스프레이는 정상 전자비임에 의한 고체 무기 물질 증착의 결과로서 형성되어진다. 최소한 하나의 별도로 정상 전자비임이 챔버 내부에 형성되어지고 사용단편 표면 처리 영역에 조준되어진다. 별도의 전자비임 축은 증기스프레이의 축을 가로지른다. 별도의 전자비임에 도입되어 증착되는 별도의 물질에 대한 설비가 제작되어진다. 그런 다음, 고체 물질 증기와 사용가스의 혼합물로서의 화학적으로 활성 입자는 사용단편 표면으로 향하여진다. 리본형태인 별도의 전자비임이 바람직하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 프라즈마-화학적 코팅 기법에 기초환 장치를 도시해 놓은 도면이다.
Claims (3)
- 사용단편과 고체 무기 물질의 사용챔버내 구비; 챔버의 진공화; 사용 가스의 챔버내 주입; 정상 전자비임에 의해 고체 무기 물질로부터 증착된 증기 스프레이의 사용단편 표면 처리 영역내 형성; 이와 달리 최소한 하나의 정상 별도의 전자비임을 형성시켜 사용단편 표면에 조준하는 것, 비임-프라즈마 방전 연소를 하는 증기스프레이를 가로지르는 이런 전자비임으로 이루어진 것을 특징으로 하는 프라즈마-화학적 코팅 기법.
- 제1항에 있어서, 별도의 고체 무기 물질이 별도의 정상 비임속으로 도입되어 그 안에서 증착되고 고체 무기 물질 증기와 사용가스의 혼합물 형태로 화학적으로 활성입자의 스프레이가 사용단편 표면으로 향해지는 것을 특징으로 하는 프라즈마-화학적 코팅 기법.
- 제1항에 있어서, 리본형태인 별도의 정상 전자비임이 형성되는 것을 특징으로 하는 프라즈마-화학적 코팅 기법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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