KR960015819A - 고집적 미소커넥터 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
고집적 미소커넥터는 고집적 다수전극을 일대일로 동시, 개별 접속하기 위한 것으로, 실리콘 기판을 미세가공하여 접속하고자 하는 고집적 다수전극과 동일간격, 동일개수의 미소보 및 이들의 지지대 그리고 전극과 미소브와의 일대일 정렬을 위한 정렬기준구조물 등을 모두 입체형으로 제작한 실리콘 본체, 미소보의 보호 및 정렬을 용이하게 하기 위한 투명덮개를 각각 작성한 후 이를 실리콘 본체와 투명덮개 사이에 실리콘 이격판을 넣어 서로 접합, 연결시킨 것이다, 또한 투명덮개에는 미소보의 과다변형으로 인한 파손을 방지하기 위한 파손방지대가 설치되어 있고, 각 미소보 아래면에는 고집적 다수전극과의 일대일 접속을 위한 금속접점과 미소보파손여부를 진단항 수 있는 자체진단체가 설치되어 있으며, 이를 접점과 자체진단체는 일체형 실리콘 본체 아래면의 전극에 각각 연결되어 있어 실리콘 본체의 전극과 TAB으로 접촉된 유연전선을 통하여 외부와 연결된다. 고집적 미소커넥터를 접속하고자 하는 고집적 다수전극과 평행하게 정렬하여 접근시키면 각 전극과 미소보 끝의 금속접점이 서로 접촉하게 되고, 파손방지대에 의해 더이상 접근할 수 없을 때까지 고집적 미소커넥터를 다수 전극에 밀착시키면 미소보의 탄성에 의해 전극과 미소보 끝의 금속접점간의 접촉력이 증가하게 되어 각 전극마다 균일하고 안정된 전기적 접속을 이루게 된다. 한편 접속시 미소보의 파손여부는 자체진단체에 의해 항시 감시할 수 있게 하였다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명에 따른 고집적 미소커넥터의 일 실시예를 도시한 것으로, 고집적 미소커넥터를 이용하여 고집적 다수전극을 접속하기 위한 장치구성을 설명하는 사시도.
Claims (10)
- 접속하고자 하는 고집적 다수전극과 동일간격, 동일개수의 미소보와, 상기판 미소보의 바탕이 되는 미소보 지지대와, 고집적 다수전극과 상기한 미소보와의 일대일 정렬을 위한 정렬기준구조물과, 상기한 미소보의 끝 부분에 설치되어 전극과 접촉하는 금속접점과, 상기한 미소보의 파손여부를 판단할 수 있는 자체진단체와, 상기한 미소보 지지대상에 있으며 외부 계측시스템과 TAB 접속을 위한 접점용 전극과, 상기한 자제진단체와 연결된 한쌍의 자체진단용 전극과, 외부 계측시스템과 연결하는 유연전선과 상기한 접점용 전극 및 상기한 자체진단용 전극과의 TAB 접합시 사용하기 위한 정렬표시와, 상기한 금속접점과 상기한 접점용 전극을 상기한 미소보를 따라; 각각 일대일로 연결하는 금속배선과, 상기한 미소보 및-상기한 정렬기준구조물을 보호하고 상기한 정렬기준구조물과 외부의 TAB 정렬표시간의 정렬을 용이하게 하기 위한 투명덮개와, 상기한 투명덮개의 아래면 끝부분에 있으며 상기한 미소보의 과다변형을 방지하는 파손방지대와, 상기한 미소보 지지대와 상기한 투명덮개 사이를 연결하고 접합하기 위한 실리콘 이격판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터.
- 제1항에 있어서, 상기한 미소보와 상기한 미소보 지지대와 상기한 정렬기준구조물이 일체형 실리콘 본체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 실리콘 재질의 상기한 미소보를 스프링으로 사용하고, 상기한 미소보의 탄성변형의 조절을 통해 상기한 금속접점의 접촉력을 조절하는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥더.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 실리콘 이격간의 아래면에 실리콘 본체의 상기판 미소보지지대를, 윗면에 상기한 투명덮개를 각각 부착하여 일체형으로 구성함을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상하 양면으로 형성된 다수의 고집적 전극이나 상하 좌우로 반복배열된 다수의 고집적 전극에 접속할 수 있는 다수의 고집적 미소커넥터의 배열방법을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터.
- 양면가공된 (110) 방향면의 실리콘 기판의 윗면 일부를 비등방식각하여 각변이 (110) 결정면과 (111)결정면의 교차선으로된 육각형 방향표시물을 형성하는 단계와, 상기한 실리콘기판 양면에 열산화막을 기르는 단계와, 노광전사 및 화학적 식각 공정을 이용하여 상기한 실리콘기판 윗면의 상기한 열산화막 일부를 식각하여 미소보, 정렬기준구조물을 형성하기 위한 식각 방지층을 만드는 단계와, 가공된 상기한 열산화막 위에 티타늄 등의 금속박막을 크베이포레이션 또는 스푸터링 공정으로 형성한 후 패터닝하여 금속배선 및 자체진단체 이들의 접점용 전극 및 자체진단용 전극 그리고 정렬기호를 동시에 패터닝 또는 리프트-오프하는 단계와, 윗면에 감광재 또는 포리이미드 등의 두꺼운 부도체층을 도포한 후 금속접점 형성을 위하여 원하는 금속접점의 직경보다 각은 직경의 구멍을 패터닝 해내는 단계와, 상기한 실리콘 기판 전체를 니켈 전해욕조에 담그고 형성된 금속배선, 자체진단체 그리고 접점용 전극 및 자체진단용 전극을 사용하여 전해도금함으로서 니켈 금속접점등을 형성하는 단계와, 형성하있던 상기의 부도체용을 제거하고 형성한 상기의 산화막을 상기의 식각 방지층으로 하여 상기의 실리콘 기판의 노출부분을 KOH, EDP 등의 용액으로 상기의 실리콘 기판을 비등방 식각함으로서 미소보, 정렬기준 구조물 그리고 미소보지지대의 구조를 일체형으로 동시에 형성하는 단계와, 상기한 실리콘 기판의 식각공정이 완료된 후, 상기판 실리콘 기판 아래면의 열산화막을 제거하고 정수로 세척하여 실리콘 본체를 완성하는 단계와, 먼저 완성된 상기의 실리콘 본체의 미소보 지지대와 투명유리만 사이에 실리콘 이격관을 넣고 양극접합 혹은 접착제를 이용한 방식으로 접합한 후, 미소커넥터상의 자체진단용 전극, 접점용 전극과 유연전선을 TAB 공정으로 부착함으로서 외부의 검사 및 측정시스템과 미소커넥터간의 연결을 완성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터의 제조방법.
- 제6항에 있어서, 접촉대상체인 고집적 미소전극 및 전극기판의 현실적인 두께편차, 표면굴곡 오차, 상기한 미소보의 인장감도 그리고 안정된 전기적 접속을 위해 필요한 최소한의 접촉하중 등을 동시에 고려하여 상기판 미소보의 길이, 두께, 폭과 상기한 파손방지대의 높이 그리고 상기한 실리콘 이격판의 두께를 결정하는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터의 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기한 식각방지층을 만들때, 형성해둔 상기의 육각형 방향표시들을 이용하여 (110) 방향의 실리콘 기판면 상에서의 특징 (111)면의 방향과 미소보 길이방향을 일치시킴으로서 상기의 실리콘 본체가 형성되는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터의 제조방법.
- 제6항 또는 제8항에 있어서, 형성된 상기한 열산화막은 미소보를 형성하기 위한 식각방지층으로 이용됨과 동시에 이를 미소보에 설치될 금속접점, 금속배선, 자체진단체 등의 절연막으로 사용하는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터의 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기한 금속접점 형성시, 전해도금은 형성된 상기의 구멍의 아래부분 즉 금속도선 윗부분에서 부터 시작되어 상기의 구멍을 메우면서 올라오게 되고, 전해도금된 금속이 상기의 구멍을 완전히 메우고 난 후에도 전해도금을 계속하면 상기한 구멍의 입구에서의 전장분포 특성에 의해 접점 끝부분에 곡률이 형성되고, 그 이후 접점의 전기적 접속성 양상을 위해 니켈접점 끝에 금도금을 하여 금속접점을 완성하는 것을 특징으로 하는 고집적 미소커넥터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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