KR960015050B1 - 기판상의 필름특성 모니터장치 - Google Patents

기판상의 필름특성 모니터장치 Download PDF

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디. 맥콤 월터
에스. 리 그레고리
디. 세이브 리챠드
더블유. 루돌프 앤드류
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리비 오웬스 포드 캄퍼니
알란 제이. 밀러
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Abstract

내용없음.

Description

[발명의 명칭]
기판상의 필름특성 모니터장치
[도면의 간단한 설명]
제1도는 본 발명에 따른 온라인 반사율 모니터 시스템의 블럭도이다.
제2도는 제1도에 도시된 주사헤드의 확대시킨 블럭도이다.
제3도는 본 발명을 이용하여 얻은 b*의 값에 대한 전형적인 그래프이다.
제4도는 본 발명을 이용하여 얻은 반사율 값이 전형적인 그래프이다.
제5도는 본 발명을 이용하여 얻은 코팅두께 값의 전형적인 그래프이다.
[발명의 상세한 설명]
[기술분야]
본 발명은 기판 표면상에 있는 필름을 모니터하는 장치에 관한 것으로서, 특히 유리시트의 표면상에 있는 얇은 필름의 특성을 광학적으로 측정하는 장치에 관한 것이다.
[배경기술]
유리판에 방사되는 태양빛을 흡수 또는 반사시키기 위해 전형적으로 그 유리판에다 필름을 적용시킨다.
산업분야와 연구분야에서, 얇은 필름의 두께를 측정하는 도구가 많이 이용되고 있다.
이러한 목적용의 장치들이 다수 있다. 예로서, 표면윤곽 모니터는 기판에 필름이 완전히 에칭되어 있는 지점에서 그 표면상에 바늘을 추적시켜 굴곡의 상태를 측정한다.
이와 같은 표면에다 물리적인 접촉을 가하면 그 표면이 손상되므로 비접촉 측정방법이 많은 경우에 요구되는 바, 비접촉 측정방법으로는 필름표면에서부터 빛이 반사되는 것에 근거한 방법이 있다.
필름의 두께를 광학적으로 측정하는 방법으로는 두가지가 있다.
타원편광법으로 알려져 있는 제1방법은 입사면에 수직이고 평행한 편광을 위해 입사각과 주어진 파장에서 반사계수를 측정비교하는 것이다.
이런 방법에서는 계산이 상당히 복잡하고 그리고 필름의 두께가 제한된 범위 즉 0 내지 3,000Å 이내어야만 명확하게 측정을 할 수가 있다.
제2의 방법은 얇은 필름에서 공지된 간섭색으로 관측가능한 반사율에 의존하는 입사각 그리고/또는 파장에 근거한 것이다.
이러한 방법의 원리는 단순하지만 이 원리에 근거한 도구는 값이 비싸고 그리고 가장 간단한 도구를 사용하면 필름의 두께를 직접 읽지 못한다.
상기한 종래기술중 제2방법에서 사용되는 반사율 기술을 사용하여 투명한 시트물질이나 반투명한 시트물질의 두께를 측정하는 광학적인 두께 게이지가 미합중국 특허 제2,655,073호에 기술되어져 있다.
이 게이지는 견본 시트물질에서 나오는 빛을 표면이 평행하고 평평하여 회전가능한 광반사기에다 반사시킨다.
상기 반사기는 반사된 빛의 비임이 위상내에 있을때 간섭호를 형성시킨다.
평평한 광반사기는 반사된 비임의 통로에서 견본비임에서부터 빛의 비임이 위상에 있는 각도로 회전하여 거울에 표시한 간섭호를 형성시킨다. 반사기의 회전각도로 시트물질의 두께를 측정할 수 있다.
상기 특허는 반사된 비임이 위상내에 있을때 간섭호를 형성시키기 위해 유용하게 사용되는 광웨지의 사용에 관한 것을 기술하고 있는데, 여기서 광웨지의 두께는 견본의 두께와 일치한다.
[발명의 개시]
본 발명은 기판상에 있는 필름의 선정된 특성을 측정하는 장치를 제공하는 것으로서, 본 발명에 따른 장치는 기판의 표면에서부터 적당하게 떨어진 선형통로를 따라 이동하게 설치된 주사헤드, 상기 주사헤드에 부착된 광원, 기판의 표면을 밝히기 위해 광원에서부터 나오는 빛의 비임의 방향을 정하는 장치, 기판에서부터 반사된 빛의 비임이 적어도 일부를 수집하는 주사헤드에 부착된 수집장치, 상기 수집된 빛에 응답하여 빛의 비임의 적어도 두개의 다른 특성을 나타내는 출력신호를 발생시키는 장치, 그리고 기판의 표면에 형성된 필름의 적어도 한 특성을 측정하기 위해 상기 출력신호에 응답하는 구성되어져 있다.
특히, 본 발명은 b*, 필름측 반사율 그리고 코팅두께와 같은 그러한 유리리본의 특성을 주사하고 모니터하는 온라인 반사율 모니터에 관한 것이다.
상기에서 b*는 국제조명위원회(CTE : Commission Internationale de d'Eclairage)의 규정에 따라 색조와 채도 또는 색상을 나타내는 기호로서, 이의 값은 노란색(yellow)와 청색(blue)사이의 상태를 표시한다. 즉 이의 값이 +이면 노란색이 강하게 나타나는 것을 의미하고, -이면 청색이 강하게 나타나는 것을 의미한다.
주사헤드는 쵸프(chop)된 광원과 적분구를 포함하고 있고, 상기 쵸프된 광원은 시스템이 주변빛에 면역이 되게 하는데 유용하게 사용되어진다.
적분구는 유리리본의 표면에서부터 반사되는 빛이 Y와 Z값을 나타내는 신호를 발생시키기 위해 광학적으로 여과되는 검출기를 가지고 있다.
Y와 Z신호는 b*와 코팅두께의 값을 계산하는 컴퓨터에 입력되어진다. 3개의 채널장치는 b*, 코팅두께 그리고 반사율의 값을 추적한다.
입력데이타와 계산된 데이타는 통계데이타를 계산하고 그리고 떨어져 있는 다른 출력장치를 구동시키는 더 큰 컴퓨터로 보내지게 된다.
[발명의 구체적 실시예의 설명]
제1도에는 본 발명에 다른 온라인 반사율 모니터 시스템의 블럭도가 도시되어 있다.
공지된 부유방법에 의해 형성된 유리리본(1)과 같은 그러한 기판은 그것의 앞쪽 가장자리(11a)가 관측자의 눈에 보여지게 관측자쪽으로 이동하게 되어 있고, 그리고 그 유리의 위쪽으로 향하는 표면(1b)에는 상대적으로 얇은 필름이 피복되어져 있다.
유리리본(11)은 적당하게 떨어져 있고 수직으로 뻗어 있는 한쌍의 지지기둥(12) 사이를 지나간다.
전반적으로 수평으로 된 트랙(13)이 기둥(12) 사이에 뻗어 있고, 그것에는 주사헤드(14)가 설치되어 있다.
주사헤드(14)는 공지된 이동장치(도시되어 있지 않음)에 의해 유리리본(11)의 한쪽에서부터 다른쪽으로 트랙(13)을 따라 앞뒤로 구동되게 되어 있다.
후술하는 것과 같이 주사헤드(14)는 한쌍의 전기신호를 발생시켜 그 신호들을 출력선(15)(16)을 통해 한쌍의 모니터(17)(18)로 보낸다.
광모니터(17)(18)는 미합중국 캘리포니아 산타모니카에 있는 Eddy Company 제품인 모델 IM-101이다.
광모니터(17)(18)는 아나로그 출력신호를 발생시켜 그 신호들을 선(19)(20)을 통해 마이크로프로세서(21)에다 보낸다.
마이크로프로세서(21)는 아나로그 전기신호를 디지틀값으로 변환시켜 그 값을 유리리본(11)의 코팅두께와 b*에 관한 특성신호정보를 계산하는데 사용한다.
마이크로프로세서(21)에 의해 발생된 특성신호 데이타나 정보 신호는 선(22)을 통해 3채널 스트립챠트 레코더(23)와 같은 그러한 출력장치로 보내진다.
상기 레코더(23)는 유리리본(11)의 표면(11b)상의 측정이 행해지는 위치에 대한 반사율, 코팅두께 및 b*의 값을 작성한다.
마이크로프로세서(21)로부터 나오는 출력데이타는 선(24)을 통해 주 프레임제조처리 컴퓨터와 같은 그러한 컴퓨터(25)로 보내진다.
컴퓨터(25)는 제조처리 데이타를 수집하고 그리고 제조처리의 효율성을 평가하는데 도움이 되는 통계데이타를 계산할 수 있도록 그렇게 프로그램되어져 있다.
컴퓨터(25)는 플러터(27)를 구동시키기 위해 그것을 데이타를 선(26)을 통해 출력시킨다.
상기 플로터(27)는 예로서 품질관리소나 연구실에 설치될 수 있다. 컴퓨터(25)의 다른 선(28)은 제2플러터(29)에 연결되어 있고, 상기 제2플러터(29)는 모니터 목적용으로 유리리본 생산라인의 하트 엔트(hot end) 근처에 설치될 수 있다.
출력장치의 수와 형태는 그것들을 작동시키는 컴퓨터(25)의 용량에 의해서만 단지 제한되어진다.
제2도에는 주사헤드(14)가 좀더 상세히 도시되어 있다. 주사헤드(14)에는 광원(30)이 있고, 그 광원(30)은 전원소스(도시하지 않음)에 연결되어 있는 전선(31)을 통해 전원을 공급받는다.
광원(30)은 하우징(32)의 한쪽끝에 설치되어 있고, 빛의 비임(33)은 하우징의 다른쪽 끝에서부터 유리리본(11)의 상단표면(11b)쪽을 향해 방사되어진다.
하우징(32)에는 광원(30)에서 빛의 비임(33)이 방출될 때 그 비임을 차단시키는 역할을 하는 쵸퍼(chopper)(34)가 있다.
쵸퍼(34)는 선정된 간격과 선정된 속도로 일련의 빛의 펄스를 발생시킨다. 쵸퍼(34)로부터 방출된 빛의 펄스는 필터(35)를 통해 지나간다.
전형적으로 광원(30)은 태양빛과 가능한 유사하게 하기 위해 적생성분을 아주 많이 가지는 텅스텐 램프로 되어 있다.
청색필터(35)는 빛의 펄스가 하우징(32)의 출력단에 설치되어 있는 렌즈(36)에 의해 접속되기 전에 약간의 적색을 제거시키기 위해 유용하게 사용되어진다.
빛의 비임(33)은 선정된 각도로 유리리본(11)의 상단표면(11b)을 때리고 그리고 주사헤드(14)에 설치된 적분구(37)를 향해 빛의 비임(33a) 형태로 상기와 같은 선정된 각도로 반사되어진다.
상기의 선정된 각도는 일반적으로 45°이다. 적분구(37)에는 입구포트(38)가 있고, 그 입구포트(38)는 반사된 빛이 비임(33a)이 적분구(37)의 내부로 들어갈 수 있게 반사된 빛의 비임(33a)과 일직선으로 되어 있다.
적분구(37)의 직경은 약 4인치이고, 그리고 입구포트(38)의 직경은 약
Figure kpo00001
이다.
임구포트(38)의 크기는 유리리본(11)과 주사헤드(14) 사이의 각도와 거리의 범이 그리고 유용한 빛의 양에 의해 정해진다.
입구포트(37)의 내부에는 반사물질이 피복되어 있고, 그리고 그 적분구(37)의 벽에는 적어도 두개의 검출포트(39)(40)가 형성되어 있다.
각 검출포트는 적분구(37)내에서 반사되는 빛에 응답하는 광전지와 같은 그러한 검출기를 포함하고 그리고 빛의 강도를 나타내는 전기적인 출력신호를 발생시킨다.
예로서, 검출포트(39)에 있는 검출기(39a)의 출력은 선(41)에 연결되어 있고, 또 그 선(41)은 전치증폭기(42)를 통해 출력선(15)에 연결되어 있다.
전치증폭기(42)는 마이크로프로세서(21)가 뒤이은 처리를 할 수 있게 검출기 출력신호의 크기를 증폭시키는데 사용된다.
유사하게 검출기 포트(40)에 있는 검출기(40a)는 선(43)에 의해 전치증폭기(44)를 통해 출력선(16)에 연결되어 있다.
CIE(Commission Internationale de 1'Eclairage)는 색깔 측정용 표준장치로 공지된 스펙트럼 분배의 여러 발광체를 제정했다.
3자극색 측정은 3개의 다른색의 양을 조절하여 어떤 색을 재생시킬 수 있다는 사실에 근거한 것이다.
3자극색 스케일은 측정된 샘플로부터 반사된 전체 빛 대 완전한 분산기로부터 반사된 전체 빛의 비율을 나타내는 X, Y, Z시스템을 포함하고 있고, 이때 상기 두 빛은 표준관측기의 응답곡선과 발광체 H에 의해 그것의 파장과 파장이 곱해지게 된다.
1931 CIE 표준관측기 응답곡선은 파장 380nm 내지 750nm의 에너지를 재생시키기 위해 요구되는 빛의 3원색(녹색,노랑색 및 청색)의 양을 한정한다.
여기서 녹색곡선은 인간의 눈에 대한 표준광도 곡선이다.(x는 노랑색, y는 녹색 그리고 z는 청색이다.)
광전지에는 반사된 빛의 선정된 특성만을 검출하는 광필터가 있다. 예로서, 검출기 포트(39)에는 빛의 Z성분만을 얻기 위해 적분구(37) 내부에 있는 빛을 여과시키는 광필터(39b)가 있다.
필터(39b)를 단일의 필터 또는 2개 이상이 결합된 필터로 만들어 요구되는 결과를 얻을 수가 있다. 유사하게 검출기 포트(40)에는 적분구(37) 내부에 있는 빛의 Y성분만을 얻게 하는 필터(40b)가 있다.
적분구(37)의 내부에 있는 유용한 빛의 양이 요구되는 결과를 확실히 얻기에 충분하지 않을 경우 부가적인 검출기 포트, 광전지 그리고 필터를 적분구에 부가시켜 그것들을 전치증폭기(42)(44)중 연관되는 것에다 연결시켜 신호의 크기를 증가시킬 수 있다.
전형적으로 텅스텐 램프는 Z지역에서 유용한 에너지를 너무 작게 가지므로 적당한 신호레벨을 얻기 위해 두개의 광전기 검출기를 사용하여야 한다.
최근에 L, a, b 3자극 시스템이 많이 이용되고 있다.
L은 눈의 비선형 흑백응답의 수학적인 근사값을 나타낸다.
완전한 백색은 100으로 표시하고, 완전한 흑색은 0으로 표시한다.
a와 b의 값은 견본의 색조와 채도 또는 색상에 관계된다.
a의 +값은 적색성을 나타내고, -값은 녹색성을 나타낸다.
b에 대한 +값은 노란색성을 나타내고, -값은 청색성을 나타낸다.
1976 CIE L*, a*, b*스케일 또는 CIELAB 스케일은 CIE x, y, z 스케일과 하기의 관계식을 가진다.
L*=116(Y/YO)1/3-16
a*=500((X/XO)1/3-(Y/YO)1/3)
b*=200((Y/YO)1/3-(Z/ZO)1/3)
상기식에서, X/XO, Y/YO그리고 Z/ZO는 0.01보다 크고, 그리고 XO, YO, ZO는 공칭상 백색물체 색상자극에 색깔을 나타낸다.
광모니터(18)로부터 나오는 Y신호와 광모니터(17)로부터 나오는 Z신호는 아나로그형으로 되어 있고 그리고 마이크로프로세서(21)에 의해 디지틀형으로 변환되어진다.
마이크로프로세서(21)는 공식
b*=200((Y/YO)1/3-(Z/ZO)1/3)
로부터 b*값을 계산하도록 프로그램되어 있다.
YO와 ZO은 방정식에 대해 상수인 기준값이다.
b*에 대해 얻어진 값은 유리리본상의 값이 얻어지는 위치에 대해 그래프로 그려지게 된다.
위치값은 위치신호를 발생시켜 그것을 선(46)을 통해 마이크로프로세서(21)로 보낼 수 있게 연결된 위치센서(45)에서부터 얻어진다.
제3도에서, b*의 값은 종좌표를 따라 그려져 있고, 그리고 유리리본의 한쪽에 대한 주사헤드의 위치는 횡좌표를 따라 인치 단위로 그려져 있다.
주사헤드(14)의 이동속도와 유리리본(11)의 이동속도에 의존하여 제3도의 그래프는 유리리본의 종축에 직교하든지 또는 종축에 대해 선정된 각도로 되어 있는 선을 따라 값을 나타낸다.
제4도는 반사율에 관한 그래프로서, 종좌표는 반사율의 값을 나타내고 그리고 횡좌표는 주사헤드의 위치를 나타낸다.
반사율은 광모니터(18)로부터 얻어진 Y값이다. 상술한 것과 같이 텅스텐 광원은 햇빛과 유사한 빛을 얻기 위해 여과되어진다.
예로서, 적당한 필터 보정체가 있는 텅스텐램프로 소위 CIE 일루미넌트 C라고 불려지는 완전히 흐린 하늘과 같은 그러한 상태의 햇빛을 발생시킬 수 있다.
제5도는 종좌표는 코팅 두께의 값을 나타내고 그리고 횡좌표는 주사헤드의 위치를 나타낸다.
코팅두께는 Y와 Z의 값으로부터 계산될 수 있다. 그러나 요구되는 같은 마이크로프로세서(21)에 기억되어 미리 계산된 값으로 된 룩업테이블로부터 매우 빨리 그리고 아주 많이 정확하게 얻어질 수 있다.
기억된 값은 Y와 b*의 값에 관계가 있다.
제3-5도에 도시된 그래프는 플로터나 프린터(27)(29)와 같은 그래프 표시장치인 컴퓨터(25)의 출력장치에 의해 그려진다.
상기의 값은 그 값이 범위를 초과할 경우 제조공정을 수정시킬 수 있게 전자적으로 모니터될 수 있고 그리고/또는 퍼서넬을 작동시킴에 의해 모니터될 수 있다.
b*의 값이 너무 높으면 반사된 빛은 노란색을 너무 많이 띠게 되고, 그리고 b*의 값이 너무 작으면 반사된 빛은 청색을 너무 많이 띠게 된다.
이러한 측정은 빌딩에 사용되는 다층 유리의 색깔이 같아야만 되는 건축용 유리에 대해서는 극도로 중요하다.
a*의 값이 중요한 그러한 복합 유리의 경우에는 a*를 계산하기 위해 요구되는 빛의 X성분을 얻기 위해 적분구(37)에다 또다른 검출기를 설치할 수도 있다.
본 발명의 취지내에서 본 발명을 다양하게 변행시킬 수 있다.

Claims (33)

  1. 기판의 표면에서부터 적당하게 떨어진 선형통로를 따라 이동하게 설치된 주사헤드, 상기 주사헤드에 부착된 광원, 기판의 표면을 밝히기 위해 광원에서부터 나오는 빛의 비임의 방향을 정하는 장치, 기판에서부터 반사된 빛의 비임이 적어도 일부를 수집하는 주사헤드에 부착된 수집장치, 상기 수집된 빛에 응답하여 빛의 비임의 적어도 두개의 다른 특성을 나타내는 출력신호를 발생시키는 장치, 그리고 기판의 표면에 형성된 필름의 적어도 한 특성을 측정하기 위해 상기 출력신호에 응답하는 장치로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판상에 있는 필름의 선정된 특성을 측정하는 기판상의 필름특성 모니터 장치.
  2. 제1항에 있어서, 주사헤드는 기판의 표면위에 지지되는 트랙에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 기판은 유리리본이고, 그리고 트랙은 유리리본의 양쪽에 위치된 수직으로 뻗어 있는 한쌍의 지지체에 의해 그것의 양쪽끝이 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 기판은 그것의 종축에 평행한 통로를 따라 이동하는 물질로 된 리본으로 형성되어 있고, 그리고 선형 주사헤드 통로는 리본의 양쪽 측면사이에서 상기 종축에 수직으로 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 광원은 텅스텐 램프인 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 광원은 빛의 비임의 적색성분을 감소시키기 위해 필터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 광원은 빛의 비임을 일련의 빛의 펄스로 발생시키기 위해 쵸퍼장치를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 방향을 정하는 장치는 광원에서 나오는 빛을 빛의 비임으로 집중시키기 위해 렌즈를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항에 있어서, 수집장치는 속이 빈 공의 형태로 되어 있고, 벽에 형성되어서 기판 표면쪽을 향해 있는 입구포트를 가지는 적분구를 포함하고 있고, 표면에서부터 반사된 빛의 비임의 적어도 일부가 입구포트를 통해 적분구 속에 들어가 그 적분구에 수집되게 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 적분구의 벽의 내부표면에 빛반사물질이 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제9항에 있어서, 출력신호를 발생시키는 장치는 적분구의 벽에 형성된 검출기 포트와, 검출기 포트에 설치되어 있고 적분구에 수집된 빛에 응답하여 상기 출력신호중 하나를 발생시키는 광검출기를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제9항에 있어서, 출력신호를 발생시키는 장치는 적분구의 벽에 형성되어 있는 적어도 한쌍의 검출기 포트와, 검출기 포트에 설치되어 있고 적분구에 수집된 빛에 응답하여 각각 제1 및 제2의 출력신호를 발생시키는 제1 및 제2광검출기를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 출력신호를 발생시키는 장치는 적분구에 수집되어 있고 제1 및 제2광검출기에 의해 검출되는 빛을 여과시키기 위해 설치된 제1 및 제2광필터장치를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제13항에 있어서, 제1필터장치는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일의 Y성분값을 가지는 빛을 제1광검출기로 통과시키고 그리고 제1출력신호는 Y성분 빛의 강도를 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제15항에 있어서, 제2필터장치는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일의 Z성분값을 가지는 빛을 제2광검출기로 통과시키고 그리고 제2출력신호는 Z성분 빛의 강도를 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제1항에 있어서, 출력신호는 아나로그 형태로 되어 있고, 그리고 적어도 하나의 특성을 측정하는 장치는 상기 출력신호에 응답하여 아나로그 형태를 디지틀 형태로 변환시키고, 디지틀 형태로 된 출력신호를 처리하여 특성신호를 발생시키며 그리고 상기 특성신호에 응답하여 기판상에 있는 필름의 선정된 특성을 눈으로 볼 수 있게 표시하는 표시장치를 포함하고 있는 마이크로프로세서를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제16항에 있어서, 선정된 특성은 CIELAB 3자극 스케일상의 색조와 채도 또는 색상에서 노란색과 청색사이의 상태를 표시하는 b*값인 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제16항에 있어서, 선정된 특성은 반사율의 값인 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제16항에 있어서, 선정된 특성은 필름의 두께 값인 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 빛의 비임을 발생시키는 장치, 빛의 비임을 기판의 표면쪽으로 향하게 하는 방향을 정하는 장치, 벽에 입구포트가 형성되어 있고 기판의 표면에서부터 반사된 빛의 비임의 적어도 일부를 수집하는 속이 빈 적분구, 적분구에 수집된 빛에 응답하여 수집된 빛의 특성을 나타내는 출력신호와 수집된 빛의 다른 특성을 나타내는 다른 출력신호를 발생시키는 장치, 그리고 출력신호에 응답하여 기판의 표면에 형성된 필름의 특성을 측정하는 장치로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판표면상에 형성된 얇은 필름의 특성을 측정하는 기판상의 필름특성 모니터 장치.
  21. 제20항에 있어서, 빛의 비임을 발생시키는 장치는 방사에너지를 발생시키는 텅스텐 램프 소스, 방사 에너지로부터 나오는 빛의 비임을 일련의 빛의 펄스로 발생시키는 쵸퍼, 그리고 빛의 비임의 적색 성분을 감소시키는 필터장치를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제21항에 있어서, 방향을 정하는 장치는 빛의 비임을 선정된 각도로 기판의 표면에 접속시키는 렌즈를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제20항에 있어서, 출력신호를 발생시키는 장치는 벽에 형성된 검출기 포트, 검출기 포트와 연관되어 있고 상기 특성을 가지는 수집된 빛의 일부를 통과시키는 광필터, 그리고 광필터에 의해 통과된 빛에 응답하여 출력신호를 발생시키는 검출기 장치를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  24. 제23항에 있어서, 출력신호는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일상의 수집된 빛의 Y특성과 Z특성중 어느 하나를 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  25. 제20항에 있어서, 출력신호를 발생시키는 장치는 출력신호의 크기를 증가시키는 전치증폭기를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  26. 제20항에 있어서, 특성을 측정하는 장치는 출력신호에 응답하여 필름특성의 값을 나타내는 정보신호를 발생시키도록 프로그램된 마이크로프로세서와, 정보신호에 응답하여 필름특성의 값을 눈으로 볼 수 있게 표시하여 나타내는 출력장치를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  27. 제26항에 있어서, 출력신호는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일상의 수집된 빛의 Y성분의 값을 나타내고, 그리고 정보신호는 필름의 반사율 특성의 값을 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  28. 제26항에 있어서, 출력신호는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일상의 수집된 빛의 Y, Z성분의 값을 나타내는 한쌍의 신호이고, 그리고 정보신호는 CIELAB 3자극 스케일상의 필름의 색조와 채도 또는 색상에서 노란색과 청색사이의 상태를 표시하는 b*특성의 값을 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  29. 제26항에 있어서, 출력신호는 CIE X, Y, Z 3자극 스케일상의 수집된 빛의 Y, Z성분의 값을 나타내는 한쌍의 신호이고, 그리고 정보신호는 필름의 코팅두께의 값을 나타내는 것을 특징으로 하는 장치.
  30. 제26항에 있어서, 출력장치는 필름특성을 그래프로 표시하는 그래프 표시장치인 것을 특징으로 하는 장치.
  31. 제26항에 있어서, 특성을 측정하는 장치는 빛의 비임이 기판표면에서부터 반사되는 위치를 나타내는 위치신호를 발생시키는 위치센서를 포함하고, 그리고 출력장치는 정보신호와 위치신호에 응답하여 기판표면상의 관련되는 위치에 대해 탐지된 필름특성의 값을 눈으로 볼 수 있게 표시하는 것으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  32. 유리리본의 표면위에 위치된 트랙을 따라 이동할 수 있게 설치되어 있고 유리리본의 종축에 평행한 방향으로 이동되는 주사헤드, 트랙을 유리리본 위에다 지지시키는 장치, 주사헤드에 설치되어 있고 햇빛과 유사한 빛의 비임을 유리리본 표면상에 집중된 일련의 빛의 펄스로 발생시키는 장치, 주사헤드에 설치되어 있고 벽에 입구포트가 형성되어 있으며 유리리본 표면에서부터 반사된 빛의 비임이 적어도 일부를 수집하는 적분구, 적분구의 벽에 형성되어 있는 한쌍의 검출기 포트에 설치되어 있고 그리고 수집된 빛에 응답하여 CIE X, Y, Z 3자극 스케일상의 수집된 빛의 Y성분을 나타내는 제1출력신호와 Z성분을 나타내는 제2출력신호를 발생시키는 광학적으로 여과되는 한쌍의 검출기, 그리고 제1 및 제2신호에 응답하여 CIELAB 3자극 스케일상의 색조와 채도 또는 색상에서 노란색과 청색사이의 상태를 표시하는 b*, 반사율 그리고 유리리본 표면상에 있는 필름의 코팅두께 값중 어느 하나를 나타내는 적어도 하나의 정보신호를 발생시키는 마이크로프로세서로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리리본 기판상에 형성된 얇은 필름의 선정된 특성을 측정하는 기판상의 필름 특성모니터 장치.
  33. 제32항에 있어서, 빛의 비임이 유리리본의 표면에서부터 반사되는 위치를 나타내는 위치신호를 발생시키는 위치센서를 포함하고 있고, 상기 마이크로프로세서는 위치신호에 응답하여 빛의 비임이 반사되는 위치에 대해 탐지된 정보신호에 의해 나타나는 특성값을 눈으로 볼 수 있게 표시하는 것으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
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